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核心参数
电子枪种类: 冷场发射
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 1.0 nm @ 30 keV
放大倍数: 1~1,000,000 x
加速电压: 0.2~30 kV
背散射电子图像分辨率: 2.0 nm @ 30 keV (低真空模式)
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TESCAN CLARA 超高分辨场发射扫描电镜
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TESCAN LYRA3镓等离子双束FIB系统
基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒,LYRA3 FIB-SEM是一款SEM与FIB良好结合的一体化系统,能够满足高要求客户的需要。
新一代场发射扫描电子显微镜(LYRA3)给用户带来了新的技术优点,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,都使LYRA3保持着很高的性价比。
LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件,TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。
独特的大视野光路设计提供各种工作与显示模式
以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器”
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和优化电子束
全自动镜筒设置与对中
成像速度很快
3维电子束技术提供实时立体图像
可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术
高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术
可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率
装有两套差异泵的独特离子束装置使离子散射效应较更低
马达驱动高重复性光阑转换器
电子束遮没装置与法拉第筒作为标配
同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像
FIB的操作软件集成在SEM软件
软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数
微/纳米加工
离子束光刻
只需要很短的停机检修时间,就能使得电镜长期保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细,使得仪器的效率最大化,操作最简化。
自动设置和许多其他的自动化操作是设备的特点之一。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言 (Python)可进入操作软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。
多用户和多语言操作界面
图像管理与报告生成
内置的系统检查与系统诊断
网络操作与远程进入/诊断
模块化的软件结构
标准的软件模块包括:自动离子束控制、电子束写入基本版、同时的FIB/SEM成像、预定义FIB工作模式等软件工具
可选软件包括了:颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建等模块
电子束写入软件使聚焦离子束扫描电子显微镜成为能进行电子束曝光、电子束沉积、电子束刻蚀、离子束沉积、离子束减薄的强大工具
可选的3D Tomography软件提供使用FIB时的全自动连续SEM图像,三维重构与三维可视化
TESCAN LYRA3镓等离子双束FIB系统(GM)
高亮度肖特基发射可获取高分辨率、高电流和低噪声的图像
可选配超高分辨率的In-Beam二次电子探头
独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)可模拟和进行束斑优化
成像速度快
低电压下的电子束减速模式(Beam Deceleration Technology – BDT),可获得高分辨率(选配)
In-Beam背散射电子探头提供小工作距离下的BSE图像(选配),甚至适合铁磁性样品的分析
全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控
完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、背散射电子衍射仪(EBSD)
由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式真空泵,因而可以快速简单的得到干净的真空样品室。电子枪的真空由离子泵维持。
全自动设置的显微镜包括了电子光路设置和合轴功能
网络操作和内置远程控制/诊断软件为标配
3维电子束技术提供了实时立体图像
在低真空模式下样品室真空可达到500Pa,用于观测不导电样品
独特的离子差异泵(2个离子泵)使得离子散射效应非常低
聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器
聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒
在高束流下,选配的Cobra聚焦离子束提供了超高的分辨率和卓越的性能
FIB切割、信号采集、3维重构(断层摄影术),3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化
成熟的SEM/FIB/GIS操作软件,图片的获取、存档、处理和分析功能
LYRA3 GMH 装有马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室电镜,适用于在高真空模式下对导电样品的分析。
LYRA3 GMU 可变真空式SEM,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。
测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
根据实际配置和需求
配件:
二次电子探头
背散射电子探头
In-Beam SE
In-Beam BSE
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
TOP-SIMS
二次离子探头
等,各种配件可供选择
关于TESCAN
TESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno,是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司,有超过60年的电子显微镜研发和制造历史,是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者,也是行业领域的技术领导者。
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FIB小知识:FIB-SEM双束电镜的应用领域
FIB—SEM双束电镜应用领域: 1. 制备TEM样品 2. 截面抛光 3. 微纳米器件的制备及性能测量 4. 三维结构重构 5. 其他三维分析能力:3D EBSD, 3D EDS及SIMS
半导体
2017/11/20
TESCAN电镜应用之光电联用功能实例
扫描电镜拍摄的形貌和成分图都是灰度衬度,没有色彩信息。在很多时候,肉眼或者在其他仪器下观察到的图片是彩色的,同时又想在SEM下观察该彩色区域的形貌或者成分衬度,在TESCAN电镜的软件中标配有X-Positioner和选配的Coral模块,可以实现各种型号的设备同扫描电镜的联用,利用照片进行光学导航。
建材/家具
2017/11/22
FIB-SEM双束电镜应用之TOF-SIMS轻元素分析
FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能: 1.轻元素分析:元素分析范围从H开始; 2.痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度,几个ppm的轻元素都可以进行表征; 3.优秀的空间分辨率:由于离子束与样品的作用区域更小,空间分辨率可达10nm; 4.深度剖析:由于离子束可以逐层剥离样品,从而可以实现深度上对元素分布的表征。
能源/新能源
FIB-SEM双束电镜应用之样品的截面抛光
截面抛光是FIB主要用途之一。所谓截面抛光就是利用离子束将样品剖开观察内部的结构,从而分析样品内部的微观组织或缺陷。如下图所示,为了分析焊接界面处的产物,需要将焊接处剖开,从而可以对界面进行成份和晶体结构进行研究。
钢铁/金属
企业名称
泰思肯贸易(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310000400602589
成立日期
2009-07-27
注册资本
100
经营范围
泰思肯(中国)有限公司
公司地址
闵行区联航路1688号旭辉国际10号楼
客服电话
TESCAN AMBER X 高分辨氙离子源双束扫描电镜
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公司名称: 泰思肯(中国)有限公司
公司地址: 闵行区联航路1688号旭辉国际10号楼 联系人: 沈女士 邮编: 201112 联系电话: 400-831-3279
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