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科睿技术发展有限公司
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离子束刻蚀系统
品牌：
产地：
美国
型号：
IBE
报价：
面议
核心参数
产地类别： 进口
热门推荐
产品介绍
仪器应用：
离子抛光
离子清洗
等离子体灰化
等离子体氧化、氮化
表面改性
反应刻蚀
生物医药
传感器
技术参数：
1，真空系统：
尺寸： 72英寸X 50英寸
真空泵：分子泵+机械泵
本底真空：1X10E-7Torr
2， 样品台：
样品大小：150mm
处理角度：0-180度
旋转速度：0-20RPM
冷却：水冷
3， 离子源
孔径：22厘米
栅格：2个，钼材质
激发：RF射频
电性中和：PBN
束流： 200-1000V， 0-1000mA
工作气体：Ar,Xe,N2,O2,CF4,SF6,CH4,C2H6
SIMS终点监测
主要特点：
RF or DC 离子源， 8-22厘米Gridded Kaufman离子源
单片样品传输腔
高效率高产量，低能量等离子体源
最大直径至150毫米样品表面处理
<3% 非均匀性
水冷，倾斜，旋转
操作简便，小型设备，皮实耐用
SIMS终点监测
全部电脑操作
反应离子刻蚀
单片样品台/三片行星式旋转样品台
工商信息
企业名称
科睿技术发展有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2006-10-06
注册资本
0
经营范围
科睿技术发展有限公司为您提供离子束刻蚀系统IBE，nullIBE产地为美国，属于进口镀膜机，除了离子束刻蚀系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多镀膜机,科睿技术客服电话，售前、售后均可联系。
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