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产地类别: 进口
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仪器简介:
全球专业的沉积设备制造商,为各个领域的客户提供完善的薄膜沉积解决方案:电子束蒸发系统、热蒸发系统、超高真空蒸发系统、分子束外延MBE、有机分子束沉积OMBD、等离子增强化学气相淀积系统PECVD/ICP Etcher、电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积、离子泵等
技术参数:
1.蒸镀源Cell&电源: ?有机金属沉积蒸镀Cell --最大温度: 500℃ --坩埚容积和材料: 2~200 cc and Quartz, Graphite,etc --包含Shutter and Cooling shroud (选件) --电源:15A, 20V --温度控制: PID control ?金属沉积蒸镀Cell --最大温度: 1,400℃(up to 1,800 ℃) --坩埚容积和材料: 2~120 cc and Al2O3, BN, PBN, etc ?包括shutter和Cooling shroud ?电源: 30A, 80V ?温度控制:ntrol : PID control 2.薄膜沉积控制: ?Cygnus and PC控制 --控制沉积参数 ----多达6源同时沉积 --石英晶体振荡器 ----一个, 两个或六个 ?膜厚测量 --石英晶体振荡器 ----一个, 两个或六个 3.真空室: ?圆柱形腔体 --直径: φ300 ~ 1,000 mm (Substrate : 1 inch to 370 ×400 mm) -- 高度: 300 ~ 700 mm ?方形腔体 --根据客户需求定制 4.真空泵和测量装置: ?低真空: 干泵和convectron真空规 ?高真空: 涡轮分子泵,低温泵和离子规 ?超高真空: 离子泵和离子规 5.控制系统:PLC, PC with Touch Screen
主要特点:
扩展功能: ?温度控制器:基底加热 ?He cooling 装置:基底冷却 ?LN2or CW 冷却系统 ?传递单元:样品传递在有机和金属处理时 ?带自动样品递送装置的Loadlock样品加载系统
企业名称
科睿技术发展有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2006-10-06
注册资本
0
经营范围
手机版:
有机分子束沉积系统
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