关注
已关注
已认证
粉丝量 0
公司简介
资质荣誉
手机扫码查看
热门推荐
普发真空APA污染管理解决系统
牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备
XRD系列晶向定位
牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀
牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统
RTP-100快速退火炉为德国优尼坦公司生产,分为RTP-100/150/300多个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英12英寸的真空快速退火炉产品。
应用:
- 快速热退火 RTA;
- 快速热氧化 RTO;
- 扩散,接触退火;
- 化合物半导体退火;
- 氮化,硅化;
- 硒化,硫化;
- 石墨烯沉积,碳纳米管生长;
- 晶体化,致密化;
技术规格:
规格
RTP-100
RTP-150
最大样品基底直径
100mm (4英寸)
150mm (6英寸)
腔体尺寸
130mm直径 x 25mm
200mm直径 x 25mm
红外灯数量/最大功率
12支 / 30KW
18支 / 34KW
红外灯冷却方式
风扇
标准温度范围
室温 ~ 1200°C
室温 ~ 1000°C
选配高温版本范围
升温速度
0.1°C ~ 150°C/s
0.1°C ~ 100°C/s
温度控制
快速数字PID控制器
热电偶
K型
高温计
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
气体注入
石英视窗以下
清洗气路
标准配置
工艺气路方式/数量
MFC / 4路
真空获得系统
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
尺寸/重量
510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg
510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg
参考客户:
清华大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心等。
企业名称
科睿技术发展有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2006-10-06
注册资本
0
经营范围
手机版:
真空快速退火炉 (RTP)
沟通底价
提交后,商家将派代表为您专人服务
获取验证码
{{maxedution}}s后重新发送
X光电子能谱仪(XPS/ESCA) 气溶胶检测仪/系统 镀膜机
科睿技术发展有限公司 上海载德半导体技术有限公司
仪器信息网APP
展位手机站
产品介绍 工商信息