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科睿技术发展有限公司
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粉丝量 0
射频离子/原子源（可转换）
品牌：
产地：
英国
型号：
RF Ion/Atom
报价：
面议
产品介绍
器简介：
射频离子源：用于离子束沉积，离子束辅助沉积，MEMS
射频原子源：用于合成氧化物，氮化物，氢原子清洗
技术参数：
射频离子源
安装法兰口径：NW63CF，NW100CF
真空腔体内长度：290mm
真空腔体内端面直径：57mm, 96mm
兼容气体：O2, N2, H2, Ar
水冷
射频功率：30-600W
气体流量：8-10sccm
束流能量：0.1-1kev
电流密度：可大到5mA/cm2
射频原子源
安装法兰口径：NW35CF，NW63CF，NW100CF
真空腔体内长度：290mm
真空腔体内端面直径：34mm,57mm, 96mm
兼容气体：O2, N2, H2, CH4
水冷
射频功率：30-600W
气体流量：0.01-20sccm
主要特点：
无灯丝
安装容易，可方便地安装在已有系统上
工商信息
企业名称
科睿技术发展有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2006-10-06
注册资本
0
经营范围
科睿技术发展有限公司为您提供射频离子/原子源（可转换）RF Ion/Atom，nullRF Ion/Atom产地为英国，属于外延系统，除了射频离子/原子源（可转换）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多外延系统,科睿技术客服电话，售前、售后均可联系。
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