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当前位置: 科睿技术 > 外延系统 > 磁控溅射源/靶枪(1英寸/2英寸/3英寸)

磁控溅射源/靶枪(1英寸/2英寸/3英寸)

品牌:
产地: 美国
型号: Titan
报价: 面议
产品介绍

技术参数:
我们提供多种口径的圆形平面靶枪,尺寸1", 2" and 3". 以及矩形靶枪
安装法兰口径:NW63CF,NW100CF
真空腔体内长度范围:150-400mm
真空腔体内端面直径:60-96
靶材直径: 1", 2" and 3"
靶材最大厚度:4-6mm
冷却:水冷

特点:
100%超高真空(UHV)应用
独有的放射性沉积模式
在线Z轴驱动及倾斜
水冷时不会存在水汽
平衡靶和非平衡靶设计
高强度磁体应用于磁性材料

应用领域:
PVD沉积
金属涂层
纳米结构薄膜
多层镀层
反应溅射
射频溅射,直流溅射,脉冲直流溅射
硬质涂层



工商信息

企业名称

科睿技术发展有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

成立日期

2006-10-06

注册资本

0

经营范围

科睿技术发展有限公司为您提供null外延系统Titan,nullTitan产地为美国,属于外延系统,除了磁控溅射源/靶枪(1英寸/2英寸/3英寸)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多外延系统,科睿技术客服电话,售前、售后均可联系。
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