带有脉冲放电氦离子检测器（PDD）的气相色谱仪在高纯氨气分析中的应用

2013-02-25 20:01

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资料摘要：

介绍带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪检测高纯气体中的痕量杂质，并通过具体实例对高纯气体中杂质的定量分析时可能遇到的问题进行讨论。关键词脉冲放电氦离子;高纯氨;痕量杂质;定量分析

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