核心参数
产地类别: 进口
椭圆偏振光谱仪主要用于准确测量薄膜厚度,光学常数,薄膜表面粗糙度以及其他的物理,化学,光学性能。美国AST公司设计和制造适合不同应用的高品质椭圆偏振光谱系统,其产品具有强大的分析功能软件TFProbe3.0,可以帮助研发或实验人员迅速地获得薄膜的厚度,表面粗糙度,合金成分和介电常数等数据。
产品特点:
易于安装
基于视窗结构的软件,很容易操作
先进的光学设计,以确保能发挥出好的系统性能
能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度
高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内
基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
zui多可测量12层薄膜的厚度及折射率
能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数
系统配备大量的光学常数数据及数据库
对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析
三种不同水平的用户控制模式:专家模式、系统服务模式及初级用户模式
灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试
健全的一键按钮(Turn-key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案
用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量
系统有着全自动的计算功能及初始化功能
无需外部的光学器件,系统从样品测量信号中,直接就可以对样品进行准确的校准
可调节高度及倾斜度
能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求
2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
可用于微观区域选项的数字成像工具
对整个小区域可进行反射测量的整体式反射计
系统配置:
型号:SE200BA-MSP-M300
探测器:阵列探测器
光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
指示角度变化:可编程设定,自动可调
平台:ρ-θ配置的自动成像
软件:TFProbe 3.2版本的软件
整合了SE和MSP系列的优点
计算机:Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,6A
保修:一年的整机及零备件保修
基本参数:
波长范围:250nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:1mm至5mm可变
入射角范围:10到90度
入射角变化分辨率:0.01度
数字成像像素:130万
有效放大倍数:1200×
长物镜工作距离:12mm
MSP光速尺寸:2-500μm可调
样品尺寸:zui大直径为300mm
基板尺寸:zui多可至20毫米厚
测量厚度范围*:0nm〜10μm
测量时间:约1秒/位置点
精度*:优于0.25%
重复性误差*:小于1 Ǻ
产品可选项:
用于反射的光度测量或透射测量
用于测量小区域的微小光斑
高分辨率数字摄像头
用于MSP的超长物镜
X-Y成像平台(X-Y模式,取代ρ-θ模式)
加热/致冷平台
样品垂直安装角度计
波长可扩展到远DUV或IR范围
扫描单色仪的配置
应用领域: 
玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
医学,生物薄膜及材料领域等
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
医药,中间设备
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半导体化合物
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
非晶体,纳米材料和结晶硅
详情关注:北京燕京电子有限公司
企业名称
微纳立方科技(北京)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105031497843
成立日期
2021-07-19
注册资本
500
经营范围
技术咨询、技术转让、技术推广、技术服务、技术开发;软件开发;计算机系统服务;数据处理;基础软件服务;应用软件服务(不含医用软件);技术进出口、代理进出口、货物进出口;维修计算机;租赁计算机;销售电子产品、仪器仪表、计算机、软件及辅助设备。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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公司地址
朝阳区酒仙桥东路9号A2-西七层
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