核心参数
产地类别: 国产
旋转速度: 0~10000RPM可调
旋转精度: 0.1S
最大加速度: 10-50000RPM/S(空载)
基片直径: 8英寸
腔体直径: 8英寸
Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
图片
简介
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。
规格参数
项目 | 参数 |
基板zui大直径 | 8英寸 |
转速 | 0~10000RPM可调 |
转速控制精度 | 1RPM |
加速度 | 10-50000RPM/S(空载) |
程序 | 可编程100组100步程序 |
运转zui大时长 | 3000S |
时间设置精度 | 0.1S |
显示 | 7”全彩触摸屏 |
机体材料 | HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖 |
功能图解
SC100D 外形尺寸
应用系统
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
匀胶机 SC100D的工作原理介绍
匀胶机 SC100D的使用方法?
SC100D多少钱一台?
匀胶机 SC100D可以检测什么?
匀胶机 SC100D使用的注意事项?
SC100D的说明书有吗?
匀胶机 SC100D的操作规程有吗?
匀胶机 SC100D报价含票含运吗?
SC100D有现货吗?
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企业名称
微纳立方科技(北京)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105031497843
成立日期
2021-07-19
注册资本
500
经营范围
技术咨询、技术转让、技术推广、技术服务、技术开发;软件开发;计算机系统服务;数据处理;基础软件服务;应用软件服务(不含医用软件);技术进出口、代理进出口、货物进出口;维修计算机;租赁计算机;销售电子产品、仪器仪表、计算机、软件及辅助设备。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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朝阳区酒仙桥东路9号A2-西七层
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