MSP系列薄膜分析产品来自美国AST（Angstrom Sun ）公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。
特点：
· 基于视窗结构的软件，很容易操作；
· 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出最佳的性能及最长的正常运行时间；
· 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量；
· 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计；
· 在很小的尺寸范围内，最多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率；
· 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
· 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数；
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库
· 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；
· 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体；
· 能够应用于不同类型、不同厚度(最厚可测200mm)的基片测量；
· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
· 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量；
· 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用
系统配置：
· 型号：MSP500RTMF
· 双探测器系统：2048像素的CCD阵列用于UV-Vis，InGaAs阵列用于NIR
· 光源：高功率的DUV和可见光光源
· 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，手动调节移动范围为100mm×75mm
· 焦距：螺杆控制的自动调焦
· 物镜有着长焦点距离:4×、10×、15× 、50×(包括一个DUV物镜)
· 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
· 软件：带有全自动成像功能和2D/3D图形输出的TFProbe 2.2VM版本的软件。
· 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性尺寸
· 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器
· 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A
· 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)
· 重量：120磅总重
· 保修：一年的整机及零备件保修
规格：
· 波长范围：250nm到1700 nm
· 波长分辨率: UV-Vis为1nm；对于NIR为5nm
· 光斑尺寸：100?m (4x)、40?m (10x)、30?m (15x)、8?m (50x)
· 样品尺寸：标准150×150mm
· 基片尺寸：最多可至20mm厚
· 测量厚度范围: 2nm到50?m
· 测量时间：最快2毫秒
· 精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
· 重复性误差*：小于2
应用:
· 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
· 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
· 医学，生物薄膜及材料领域等
· 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
· 医药及医药中间设备等
· 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
· 半导体化合物
· 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
· 非晶体，纳米材料和结晶硅
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薄膜物性分析仪器系列（膜厚，光学参数，反射谱及颜色，膜面阻，等）
膜厚，光学参数：
SR100 薄膜分析仪
SR300 薄膜分析仪
SR500 薄膜分析仪
SE200BA 椭偏薄膜分析仪
SE200BM 椭偏薄膜分析仪
SE200-MSP 椭偏薄膜分析仪
SE300BM 椭偏薄膜分析仪
SE500BA 椭偏薄膜分析仪
MSP100 薄膜分析仪
MSP300 薄膜分析仪
MSP500 薄膜分析仪
uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块
膜面阻：
EddyCus®-TF lab 2020、
EddyCus®-TF lab 4040、
EddyCus®-TF map 2020SR、
EddyCus®-TF map Hybrid 、
EddyCus®-TF inline、
EddyCus®-TF lab Hybrid
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