产品介绍:
反应舱:
材料:铝
有效尺寸:400 x 400 x 400mm
容积:64升
舱门:装有可视窗口
托盘:4个。尺寸:305 x 360 x 40mm
真空度测量:
皮拉尼真空计(利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的,而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关)
真空泵:
旋片式真空泵;30m3 每小时;含真空泵油。
频射发生器:
0~600w可调,100KHZ发生器
控制系统:
触摸屏操作,PLC控制系统
PLC可实现下列功能:
1、自动控制反应过程;
 2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程;
 3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;
 4、监测所有的运行指标,保证在设定范围之内;
 5、 设定操作、维护密码。
电源:
380V AC、三相、50Hz、40A.
反应气体:
一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC);根据用户需要,可扩展
气体输入:
直径1/4英寸(0.645厘米)管道;输入压力:1Bar.
尾气排放:
直径28mm 输出端口。
安全性能:
急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证。
可选件:
300 m3/小时 的机械增压泵
频射发生器:2.45GHZ, 13.56MHZ
多个气体输入管道。
根据客户工艺要求制作的软件程序
根据客户要求制作的托盘。
辊轮式载料系统。
N2 Purge.
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企业名称
微纳立方科技(北京)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105031497843
成立日期
2021-07-19
注册资本
500
经营范围
技术咨询、技术转让、技术推广、技术服务、技术开发;软件开发;计算机系统服务;数据处理;基础软件服务;应用软件服务(不含医用软件);技术进出口、代理进出口、货物进出口;维修计算机;租赁计算机;销售电子产品、仪器仪表、计算机、软件及辅助设备。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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