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涡轮分子泵的压缩比定义

压缩比通常是指泵的排气压力与进气压力的比值. 对于涡轮分子泵来说, 压缩比是指在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比. 压缩比的高低取决于几个因素, 最重要的因素是气体的类型和涡轮分子泵的设计. 压缩比越高, 在分子泵进气口得到的最终压力就越低, 也就是分子泵的极限压力越低.压缩比的定义压缩比通常是在泵内侧没有任何气流量时确定的, 这就是所谓的零吞吐量. 使用指数 “0” 对其进行识别, 在有关涡轮分子泵的文献和技术资料中, 压缩比往往被称为 K0. 实际上, 涡轮分子泵压缩比的测量是通过逐渐将气体引入前真空管道以增加前级压力同时测量随后产生的高真空压力来实现的.影响压缩比数值的因素: 气体类型和涡轮分子泵内部设计压缩比取决于几个因素. 最重要的因素是气体类型和涡轮分子泵的设计. 涡轮分子泵的抽吸作用是基于从高真空侧流动到前真空侧的气体粒子多于从前真空侧流动到高真空侧的气体粒子. 通过转子叶片快速旋转对目标粒子进行加速来实现的, 气体越轻, 其分子运动的速度就越快 ( 如下图 ):各种气体的分子质量和平均速度气体H2HeH2ON2空气ArCO2摩尔质量 g/mol241828294044平均速度 m/s17621246587471463394376马赫数5.33.71.81.41.41.21.1对于较轻的气体分子, 其向高真空侧的回流速度因此高于较重的气体分子. 由于存在较轻的气体分子, 因此高真空侧存在更多的气体粒子. 这里的压力会相对较高, 而压缩比较低 ( 如下图, 以上海伯东 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 举例 )上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵内部设计根据生产商的不同, 分子泵抽吸原理也会有所不同, 这些泵级被称为 “Holweck”, “Gaede” 或 “Siegbahn”级. 在极少数情况下还会使用侧槽泵级. Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列内置 Holweck 泵级, 与其他类型对比,如下图所示, Holweck 泵级能够更高效地把非常轻的气体抽入更高压力区, 具有高压缩比的涡轮分子泵比低压缩比的涡轮分子泵更能获得相对较低的极限压力.上海伯东 HiPace 系列涡轮分子泵技术规格型号进气口 DN压缩比极限真空 hPa抽速 l/sN2HeH2ArN2HeH2ArHiPace 10253X1063X1033X1022.5X1081063.711.5HiPace 8040 /631X10111.3X1071.4X1051X101167584866HiPace 3001001X10111X1089X1051X1011260255220255HiPace 700160>1X10113X10714X1051X1011685655555665HiPace 1200200>1X1082X1046X103>1X1081250130011001200HiPace 2300250>1X1083X1052X104>1X1081900200018501800极限真空为实验室理想值上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列获得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 认证. 特别适用于质谱分析, 电子显微术, 测量技术, 粒子加速和等离子体物理方面的应用. 除了用于分析, 真空工艺和半导体技术外, 还可用于真空镀膜, 研发以及工业领域.若您需要进一步的了解分子泵详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

应用实例

2022.05.19

上海伯东提供普发分子泵清洁, 保养和维修服务

上海伯东是德国普发 Pfeiffer 授权销售维修中心, 自 2002年以来, 已累计为超过 100, 000+ 家企业提供维修保养服务, 客户遍布工业, 科研, 镀膜和半导体行业, 维修中心使用 100 % Pfeiffer 原厂部件和原装进口检测设备对维修产品做全方面的性能测试, 上海伯东拥有完全的拆解, 维修能力, 提供快速, 高质量的维修保养服务. 伯东公司在上海, 台湾, 日本都设有维修服务据点.上海伯东提供普发分子泵清洁, 保养和维修服务以 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列举例, 分子泵采用复合轴承设计, 顶端是磁性轴承, 下端是机械轴承支撑 (最常用的材料是陶瓷). 这种陶瓷轴承是有寿命的, 因此要定期检测维护. 建议小抽速分子泵 HiPace 700 以下平均使用 17200 小时保养一次, HiPace 1200 以上大抽速分子泵四年保养一次. 如工艺较差, 这个时间还应缩短. 定期检测分子泵能够及时的发现问题, 延长分子泵的使用寿命, 避免因突然的故障停机导致的损失!普发分子泵常见问题1. 真空度正常, 分子泵可以达到全速, 但是噪音大故障原因: 前级泵问题, 系统漏气, 轴承问题, 转速限定建议: 分子泵运行超过3年, 可能内部陶瓷球轴承已磨损, 建议送修检测, 如果放任不管, 后续会磨损转子, 对泵体内部造成更严重的损伤        陶瓷轴承损伤                                              转子 Carbon 磨损2. 油棉污染: 油棉变黑, 发黄建议: 3-4年更换分子泵油棉. Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式, 可以给轴承降温, 减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承, 避免污染物附着在轴承上面, 有效延长分子泵的使用寿命.3. 分子泵无法启动: 用手拨动叶片, 叶片无法转动建议: 转子已完全卡死, 建议立刻送修上海伯东4. 分子泵异响:故障原因: 异物进入, 陶瓷轴承磨损或损坏, 转子动平衡问题, 前级泵返油; 工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时, 会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害建议: 立即停机送修检测              泵体内部Coating                                转子污染5. 分子泵无法达到全速, 真空度抽不下去建议: 请检查前级真空是否正常, 如果是分子泵组, 请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下, 无法解决问题建议立即送修检测6. 分子泵返油: 多数是由于前级泵返油导致, 建议立即送修检测7. 无法启动: 没有供电, 控制器没有响应, 没有收到启动信号, 转子卡死或轴承损坏8. 常见分子泵控制器报警    Err 006: 启动时间设定太短, 系统漏气或放气阀打开, 前级泵极限真空度问题    Err 021 / Err 108: 控制器问题    Err117: 控制器问题, 冷却问题, 系统漏气造成分子泵故障的原因还有很多, 发现问题并及时联络上海伯东进行检测, 可以快速解决分子泵问题上海伯东 Pfeiffer 分子泵维修保养型号包含:HiPace 系列: HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200, HiPace 2300 等.Hicube 系列: Hicube 80, Hicube 300, Hicube 700 等TMH TPH 系列: TMH 071, TMH 260, TMH 261, TMH 262, TMH 520, TMH 521, TMH 1001, TPH 1201, TPH 1501, TPH 2101, TPH 2301.特殊型号: TMH 071-015-002, TMH 071-010-005, TMH 261-250, splitflow 50, splitflow 80, splitflow 300 / 310分子泵配件: 电源: TPS 100, TPS 200, TPS 300, TPS 600, TPS 110, TPS 301, TPS 401, DCU 100, DCU 200 DCU 300, DUC 600, DCU 110, DCU 310, DCU 400, DCU 001, DCU 002控制器: TC 100, TC 600, TC 750, TCP 380, TCP 600, TCP 5000, TC 110, TC400, TC 1200, TC 110 PB, TC 400 PB, TC 1200 PB冷却单元, 通讯线, 连接阀等若您需要进一步的了解普发分子泵维修保养详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士上海伯东版权所有, 翻拷必究!

操作维护

2022.04.27

燃料电池储氢系统氦质谱检漏法

上海伯东燃料电池储氢系统氦质谱检漏法氢是一种易于储存, 运输和使用的能源载体. 在多种工业领域的脱碳, 以及在行驶距离长, 加油所需时间短的零排放出行中, 氢技术都发挥重要作用. 氢能作为一种清洁能源在燃料电池中的化学反应只产生水, 电和热. 已被广泛应用于燃料电池电动汽车 fcev 车载储氢系统, 氦质谱检漏法作为一种高灵敏度无损泄露测试技术, 满足燃料电池储氢系统的泄露测试需要.氦质谱检漏法可以实现快速可靠地测试双极板和燃料电池堆的泄漏对阳极循环泵和氢气喷射器等氢气回路部件进行整体和定量的高灵敏度泄漏测试 双极板: 真空技术用于对表面进行等离子体活化和溅射镀膜, 可以大幅提高金属双极板的耐腐蚀性能, 降低接触电阻. 在检漏极限和速度方面, 上海伯东推荐采用氦质谱检漏, 微流量空气检漏或两者结合的方式.燃料电池堆 (储氢罐): 燃料电池堆组装后, 泄漏检测对于后续生产流程至关重要. 可以通过整体微流测试方法或局部氦质谱检漏法, 可检查电池堆完整性, 包括单个电池机械损伤以及夹紧装置的均匀力度分布.氢回路组件: 在出行应用中, 必须将氢气泄漏减少到限度. 氢回路中的许多组件, 如喷射阀或循环泵, 都要经过泄漏测试. 这也适用于空气 / 氧气回路中的许多其他组件, 以及燃料电池和电力电子设备的冷却.燃料电池储氢系统氦质谱检漏案例单瓶压力 35 mpa, 泄漏浓度必须小于 6ppm, 采用上海伯东氦质谱检漏仪 asm 340 正压法,氢气模式, 检漏仪漏率值设定 1x10-6 mbal l/s 对整个供氢系统进行检漏, 包含加氢模块, 调压模块, 储氢模块 (高压气瓶和周边输氢管路), 以及后端电池反应堆.1. 检漏仪 asm 340 开机, 仅需3分钟进入工作状态2. 连接智能吸枪 lp 503, 按照界面提示, 设置漏率值 1x10-6 mbal l/s3. 开始检漏, 在怀疑有漏的地方用吸枪进行嗅探, 比如焊缝, 减压阀, 管路4. 如果有漏, 检漏仪时时发出声光报警, 协助客户定位定量漏点.上海伯东结合客户实际需要, 提供燃料电池储氢系统泄露检测方案, 产品包含检漏模块, 检漏系统和微流量空气泄露测试仪等. 若您需要进一步的了解 燃料电池储氢系统氦质谱检漏法 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 女士t: +86-21-5046-3511 ext 107              t: +886-3-567-9508 ext 161f: +86-21-5046-1490                            f: +886-3-567-0049m: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      m: +886-939-653-958qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.04.14

inTEST 热流仪车载芯片 / 车规级芯片高低温冲击测试

inTEST 热流仪车载芯片 / 车规级芯片高低温冲击测试不同于传统消费电子产品, 车规芯片前期的开发及验证期可能长达3年, 相关研发费用和时间成本高昂, 从而需要更快地响应不断变化的车辆架构和严苛的产品上市时间. 上海伯东美国 inTEST ThermoStream 热流仪满足汽车半导体行业更严格及更高效的测试要求, 可以对微控制单元 MCU, 传感器和存储器 DRAM 等车载芯片进行快速高低温冲击测试, 极大节约了客户研发成本!在车规级芯片可靠性测试方面, 上海伯东美国 inTEST 高低温测试机有着不同于传统高低温冲击试验箱的独特优势: 变温速率快, 每秒快速升温 / 降温18°C, 实时监测待测元件真实温度, 亦可随时调整冲击气流温度, 可针对 PCB 电路板上众多元器件中的某一单个IC, 单独进行高低温冲击, 而不影响周边其它器件.车规级芯片高低温测试案例: 上海伯东客户某半导体芯片设计公司自主研发车载芯片, 要求在温度范围 - 50 ℃~ 150 ℃ 时搭配模拟和混合信号测试仪, 在电工作下检查不同温度下所涉及到的元器件或模块各项功能是否正常. 经过伯东推荐使用 inTEST 高低温测试机 ATS-545, 测试温度范围 -75 至 +225°C, 输出气流量 4 至 18 scfm, 温度精度 ±1℃, 通过使用该设备, 大幅提高工作效率, 并能及时评估研发过程中的潜在问题, 使产品符合汽车安全的电子产品标准!车规级芯片高低温测试方法1. 将被测芯片或模块放置在测试治具上, 将 ATS-545 的玻璃罩压在相应治具上 ( 产品放在治具中 ).2. 设置需要测试的温度范围.3. 启动 ThermoStream ATS-545, 利用空压机将干燥洁净的空气通入高低温测试机内部制冷机进行低温处理, 然后空气经由管路到达加热头进行升温, 气流通过玻璃罩进入测试腔. 玻璃罩中的温度传感器可实时监测当前腔体内温度.4. 在汽车电子芯片测试平台下, 高低温测试机 ATS-545 快速升降温至要求的设定温度, 实时检测芯片在设定温度下的在电工作状态等相关参数, 对于产品分析, 工艺改进以及批次的定向品质追溯提供确实的数据依据.在芯片测试中, 可为测试计划确定相应的要求, 如温度循环实验, 不同等级的温变范围及温差循环数等. inTEST 热流仪可根据预先设定的温度范围, 实现快速的温度冲击, 如温度范围 -40℃~125℃, 可分别设置低温 -40℃, 常温 25℃ 及高温 125℃, 热流仪将按照先后顺序自动进行相应测试. 针对不同的测试应用, inTEST 可通过每秒快速升温或降温 18°C, 为车载模块或电路板中的某一单个器件提供精确且快速的环境温度.鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解车规级芯片高低温测试, 请参考以下联络方式上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究

应用实例

2022.04.13

Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻中极紫外光源技术

Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻中极紫外光源技术EUV 极紫外光刻技术越来越多地被用于支持 Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了反射板镀锡层清洁, Aston™ 过程质谱的实时氢气监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗!随着工艺几何尺寸的不断缩小, 半导体工艺制造商面临着新的挑战. 在先进的极紫外 EUV 光刻技术中, 13.5nm 波长的光源是通过二氧化碳 CO2 激光器蒸发熔融锡 Sn 液滴, 产生等离子体而产生的. 大批量生产的关键挑战包括控制蒸发锡再沉积的光学污染造成的缺陷.光源产生的一个副产品是 EUV 光源反射光学元件上的锡 Sn 碎片, 该反射光学元件聚焦等离子体发出的EUV光. 收集镜涂层表面上的锡沉积导致EUV镜的反射率降低. 镀锡厚度约为 1nm(只有几个原子层)会使收集镜反射率降低多达10%, 通常被视为收集镜寿命规范. 这种污染增加了提供足够的 EUV 功率以形成晶圆图案所需的时间, 因此降低了光刻产量, 并可能影响光刻图案的定义. 解决措施包括使用氢等离子体 (结合磁场) 以锡烷气体 SnH4 的形式化学去除锡, 然后从真空室有效排气, 并防止锡进一步再沉积.上海伯东 Aston™ 过程质谱提供解决方案Aston™ 过程质谱价值在于通过监测从 EUV 室中抽空所有锡原子的效率和优化氢气 H2 流量, 实现有效的终点检测. 通过减少气体流量, 可以降低每分钟 100标准升的高纯度氢气消耗量.在反射板清洁期间, 需要实现现场测量, 快速, 准确地测量锡 SnH4 端点, 确保以高效的方式清除锡沉积物, Aston™ 过程质谱仪可以测量 H2大气中 0.01-1 ppm 浓度下的 SnH4. 此外, Aston™ 可以监测EUV 工具前端的气体成分.Atonarp  Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)若您需要进一步的了解 Atonarp  Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究

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2022.04.07

Aston™ 过程质谱仪保护环境免受半导体有害气体排放污染

Aston 过程质谱仪保护环境免受半导体有害气体排放污染半导体和薄膜太阳能工艺使用并产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体必须以受控方式进行处理. 许多废料的处理受环境法规的规定,如美国 NESHAP 标准. 此规则规定的主要有害空气污染物包括但不限于五种化学品, 它们占有害空气污染物排放总量的90%以上 (盐酸 HCl, 氟化氢 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 二甲苯)美国环境保护局对混合空气毒物工艺通风孔 (有机和无机) 的排放限值为 14.22 PPM(按体积计算). 监测并销毁其他 PFC (全氟化碳气体) 和硅烷 SiH4 等自燃气体.问题减排面临着多重挑战. 需要监测来自减排系统的环境废气, 以确保符合法规要求, 需要一款具有高灵敏度, 实时, 现场计量, 且精度达到 PPM 级的质谱分析仪. 此外, 优化减排, 要求测量进入减排系统的污染物浓度的废工艺气体, 以便在减排燃烧气体消耗量的同时调节氮气稀释, 以确保有效和高效地销毁污染物. 天然气 (甲烷) 通常用于普通燃烧洗涤减排系统中的高温热气体分解, 优化其使用可降低减排过程成本和二氧化碳排放.上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供有害气体排放污染解决方案许多减排系统是“开环”运行的, 导致天然气和氮气消耗量较高. 此外, 通常不会对减排成功的分析数据进行监控和记录, 从而使公司承担环境监管责任. 使用 Atonarp 的 Aston 等离子体质谱仪, 可以根据进入的废气浓度和测量的排放气体数据, 记录日志, 对燃烧过程进行现场优化控制, 以记录环境合规. Aston 过程质谱仪能够承受严酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl )气体, 并能提供低至 PPB 水平的灵敏度. 通过快速, 准确的现场计量, 实现高效的减排气体监测和废气环境合规性.Atonarp  Aston™ 质谱分析仪技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)若您需要进一步的了解 Atonarp  Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究

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2022.03.30

怎样检测 PS 材质的细胞培养耗材 TC 处理效果

怎样检测 PS 材质的细胞培养耗材 TC 处理效果现阶段大部分一次性细胞培养耗材由聚苯乙烯 PS 原料加工而成, 这种材料本身是疏水性的, 而贴壁细胞需要贴附在耗材的表面才能生长. 为了提高产品的贴壁性能, 都会对培养耗材进行表面 TC 处理, 引入亲水团, 适应贴壁细胞的生长要求. 那么, 如何检测耗材的 TC处理效果呢?--------------------------------- TC 处理示意图 -------------------------------------未处理的聚苯乙烯表面是没有电荷的, 非亲水性的, 其细胞吸附与蛋白结合的能力非常差, 以至细胞吸附与生长非常弱及不稳定. 经过上海伯东 Europlasma 等离子机 TC 处理后的是带负电荷, 亲水性的聚苯乙烯表面, 其细胞吸附与蛋白结合的能力非常稳定, 适合用于细胞贴壁培养.检测细胞培养耗材的 TC 处理效果需要用到一种专业的仪器 --- 接触角测试仪. 接触角是指在一固体水平平面上滴一液滴, 固体表面上的固-液-气三相交界点处, 其气-液界面和固-液界面两切线把液相夹在其中时所成的角. 接触角测试仪,  主要用于测量液体对固体的接触角,  即液体对固体的浸润性, 可以测量各种液体对各种材料的接触角. 检测 TC 处理效果需要滴三滴纯净水在处理过的单片表面, 用接触角测量仪检测交汇角, 水滴与培养面的交汇角不能大于39度. Europlasma 等离子机可以实现接触角WCA以上是检测细胞工厂 TC 处理效果的方法及用到的仪器. 细胞能否贴壁关系到其后期的生长, 增殖, 优质的耗材可以为细胞提供更好的生长条件, 从而保证细胞培养工作的顺利进行. 若您需要进一步的了解 Europlasma 等离子机详细信息或讨论,请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                  台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士上海伯东版权所有, 翻拷必究!  

应用实例

2022.03.30

Aston™ 质谱分析仪保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响

Atonarp 质谱分析仪 Aston™ 半导体 CVD / ALD 应用上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 专为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供前所未有的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 可消除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston™ 质谱分析仪典型应用: 保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响真空泵是半导体加工厂中应用最广泛的设备之一. 它们对各种化学气相沉积工艺至关重要, 这些工艺在真空下运行, 以确保在较低的加工温度下获得均匀, 保形的沉积涂层. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半导体制造工艺中进行泵送时, 干泵可能会出现意外故障.灾难性故障电介质沉积冷凝液和苛刻的工艺气体 (如NF3) 可能会导致性能下降或突然失效模式, 包括沉积物突然吸入, 排气堵塞, 导致泵卡住的沉积以及泵部件的腐蚀性退化. 泵故障通常会对 10个甚至 100个在制品晶圆造成不可修复的损坏. 此外, 工具停机和清理可能会导致大量开支和收入损失.CVD 工艺过程中, 已污染的干泵上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供解决方案通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线产量.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和合格性 (分压), 可以模拟破坏性腐蚀或沉积物堆积. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以以高置信度预测干泵的预期运行寿命.在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.适用场景: 多个腔室连接到1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量!若您需要进一步的了解 Atonarp  Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究

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2022.03.30

上海伯东氦质谱检漏仪中压开关柜检漏

氦质谱检漏仪中压开关柜检漏 应用于电力行业的中压开关柜, 广泛使用在发电厂, 变电站, 地区电网和输电站中. 另外也适用于船舶, 高铁等行业. 中压开关柜是一种金属封闭开关设备, 它对中压开关以外的其他设备, 起到很好的绝缘性能, 避免电弧烧穿电力设备, 保障电力使用上的安全, 中压开关柜内部通过吸和开关控制电路.开关吸合器需要检漏 中压开关柜内部通过吸和开关控制电路, 吸合器内部真空环境, 如果有漏, 吸合开关就会失效, 造成通电终断, 导致事故发生. 因此需要进行检漏.上海伯东中压开关柜检漏客户案例: 某国际知名中压开关生产企业, 生产的中压空气绝缘开关柜产品系列采用真空开关技术, 其内部的吸和开关需要进行检漏, 漏率要求 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340.上海伯东推荐中压开关柜检漏用氦质谱检漏仪 ASM 340对氦气的最小检测漏率, 真空模式 5E-13 Pa m3/s检测气体: 4He, 3He, H2检测模式: 真空, 吸枪对氦气的抽气速度 2.5 l/s进气口最大压力 25 hPa前级泵抽速 15 m3/h结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解开关吸合器检漏, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 www.hakuto-vacuum.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究! 

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2022.03.22

上海伯东KRI 射频离子源典型应用 IBE 离子蚀刻

KRI 射频离子源典型应用 IBE 离子蚀刻 客户案例一: 上海伯东美国考夫曼 KRI 大口径射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等领域.作为蚀刻机的核心部件, KRI  射频离子源提供大尺寸, 高能量, 低浓度的离子束, 接受客户定制, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求!客户案例二: 射频离子源 RFICP 220 集成于半导体设备, 实现 8寸芯片蚀刻------------ 上海伯东美国 KRI 射频离子源 RFICP 220安装于蚀刻机中--------客户案例三:  KRI 射频离子源安装在日本 NS 离子蚀刻机中, 对应用于半导体后端的 6寸晶圆进行刻蚀Hakuto (NS) 离子蚀刻机技术规格:型号NS 7.5IBENS 10IBENS 20IBE-CNS 20IBE-J适用范围适用于科研院所,实验室研究适合小规模量产使用和实验室研究适合中等规模量产使用的离子刻蚀机适合大规模量产使用的离子刻蚀机基片尺寸Φ4 X 1片或Φ6 X 1片φ8 X 1片φ3 inch X 8片φ4 inch X 6片φ8 inch X 1片Φ4 inch X 12片φ5 inch X 10片φ6 inch X 8片离子源8cm 或 10cm考夫曼离子源10cm NS离子源20cm 考夫曼离子源20cm 考夫曼离子源上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 RFICP 系列, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的离子束, 通过栅极控制离子束的能量和方向, 单次工艺时间更长RFICP  系列提供完整的套装, 套装包含离子源, 电子供应器, 中和器, 电源控制等RFICP  系列离子源是制造精密薄膜和表面的有效工具, 有效改善靶材的致密性光透射,均匀性,附着力等上海伯东是美国考夫曼离子源 Kaufman & Robinson, Inc  中国总代理. 美国考夫曼公司离子源已广泛应用于离子溅射镀膜 IBSD. 考夫曼离子源可控制离子的强度及浓度, 使溅射时靶材被轰击出具有中和性材料分子而获得高致密, 高质量之薄膜. 考夫曼离子源可依客户溅射工艺条件选择 RFICP 射频电源式考夫曼离子源或是 KDC 直流电原式考夫曼离子源.若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式: 上海伯东:叶女士                  台湾伯东:王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                 F: +886-03-567-0049 M: +86 1391-883-7267                M: +886-939-653-958 qq:2821409400

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2022.03.17

KRI 射频离子源典型应用 LED-DBR 辅助镀膜

KRI 射频离子源典型应用 LED-DBR 辅助镀膜 上海伯东美国 KRI 射频离子源成功应用于 LED-DBR 离子辅助镀膜市场. 随着对镀膜品质要求的不断提升, 使用霍尔离子源辅助镀膜已经无法满足高端镀膜应用市场, 国内某知名 LED 制造商经过我司推荐采用射频离子源 RFICP 325 安装在 DBR 生产设备 1650 mm 蒸镀机中. 成功实现高端光学镜头镀膜并通过脱膜测试!上海伯东射频离子源客户案例: 国内某知名 LED 制造商1. 离子源应用: LED-DBR 镀膜生产2. 系统功能: 1650 mm 尺寸电子枪蒸镀镀膜机.3. 离子源: 采用美国 KRI 射频离子源 RFICP 325. 离子源 RFICP 325 提供的离子束 (不论是离子能量还是离子密度) 均是目前业界较高等级, 离子源 RFICP 325 特殊的栅极设计 E22 Grided 可以涵盖 1650 mm 尺寸的蒸镀机中大范围的载具 substrate holder, 无论是生产良率或是均匀性都可达到最高生产效能.4. 离子源功能: 通过射频离子源 RFICP 325 实现离子辅助镀膜 IBAD 及预清洁 Pre-clean 功能后, 所生产出的 LED-DBR 无论是亮度测试, 脱膜测试, 顶针测试, 光学特性等等… 都优于目前一般业界蒸镀机所搭配的离子源.上海伯东射频离子源安装案例: KRI RFICP 325 射频离子源安装于 1650 mm 尺寸电子枪蒸镀镀膜机.KRI 射频离子源测试案例: LED-DBR 脱膜测试.1. 在高倍显微镜下检视脱膜测试2. 测试结果--------- 使用其他品牌离子源---     ---------- 使用美国考夫曼 KRI RFICP 325 离子源 ----------------------从上图可以清楚看出, 使用其他品牌离子源, 样品存在崩边的问题; 使用上海伯东美国考夫曼离子源, 样品无崩边上海伯东美国射频离子源 KRI  RFICP 325 优点:高离子浓度, 高离子能量, 离子束涵盖面积广 镀膜均匀性佳, 提高镀膜品质 模块化设计, 保养快速方便 增加薄膜附着性, 增加光学膜后折射率 全自动控制设计, 操作简易 低耗材成本, 安装简易 上海伯东是美国考夫曼离子源 Kaufman & Robinson, Inc  中国总代理. 美国考夫曼公司离子源已广泛应用于离子溅射镀膜 IBSD. 考夫曼离子源可控制离子的强度及浓度, 使溅射时靶材被轰击出具有中和性材料分子而获得高致密, 高质量之薄膜. 考夫曼离子源可依客户溅射工艺条件选择 RFICP 射频电源式考夫曼离子源或是 KDC 直流电原式考夫曼离子源.若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式: 上海伯东:叶女士           台湾伯东:王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109   T: +886-03-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490        F: +886-03-567-0049 M: +86 1391-883-7267       M: +886-939-653-958 qq:2821409400

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2022.03.17

考夫曼离子源创始人 Dr. Harold Kaufman

考夫曼离子源创始人 dr. harold kaufman2016年, 美国 nasa 宇航局将 kri 创始人 dr.harold kaufman 博士列入格伦研究中心名人堂, 作为离子推进技术的开拓者, harold kaufman 博士被授予格伦研究中心名人堂的荣誉并被赞扬 “他发明了一种实验性航天硬件系统, 不仅在测试中得到了验证, 且现今广泛运用于太空飞行.” harold kaufman 博士发明的离子推进器是该中心有史以来影响力和影响深远的技术之一, 基于 harold kaufman 博士的研究基础, 格伦研究人员将继续改进这项技术, 开发下一代长时间太空飞行能力的推进器.考夫曼离子源创始人 harold kaufman 考夫曼博士于 1926年出生于美国爱荷华州奥多邦, 但在伊利诺伊州埃文斯顿长大.  二战期间, 他在海军接受了电气工程师培训. 然而, 战后, 他决定在西北大学攻读机械工程学位.1951年毕业后不久, 他加入了 naca lewis 研究中心, 最初致力于研究航空推进相关议题, 例如: 后燃器冷却和液态氢用于喷气发引擎中的实验使用. 60 年代 kaufman 博士发明了电子轰击离子推进器并以他的名字命名为考夫曼推进器. 1969 年美国航空航天学会 aiaa 授予他 james h. wyld 推进奖, 1970 年考夫曼推进器赢得了 ir 100 (前身研发 100 奖), 1971 年考夫曼博士获得美国宇航局杰出服务奖, 1974 年6月退休, harold kaufman 博士为 nasa 服务整整 23年!从 nasa 退休后, harold kaufman 博士并没有停止创新和研究, 他接受了加州大学物理系和机械工程系的教职, 重新回到研究领域.直到 1984年退休, 并成立 kaufman & robinson,inc 公司, 开始研发生产适合民用的霍尔离子源, 其研发的霍尔型离子源是目前工业上使用的大多数无栅级离子源的基础!广泛应用于离子清洗, 离子蚀刻, 离子注入和离子溅射等领域. 历经 40 年改良及发展考夫曼公司已取得 100多项专利, 提供各种型号的霍尔型离子源和考夫曼离子源.上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.1957年苏联发射人造卫星后, naca 成为新的 nasa 美国太空总署的一部分, 该中心进行了重组, 并专注于与太空相关的问题. 电力推进涉及离子推进器, 它产生带电等离子体并将其作为推力排出. 其实这个概念并不新鲜, 但在 1958年美国太空总署lewis 开始研究时, 它还没有得到证明.lewis 设计了这种推进器的任务应用, 开始建造真空测试设施, 并成立了电磁推进部门, 以探索一系列使用于太空飞行的多种电力推进.1958年, 考夫曼博士被重新分配到新的电磁推进部门. 他最初被指示使用 manfred von ardenne 的双电浆管设计推进器, 但他很快意识到这是不切实际的. 他开始研究自己的双电浆管, 它的原理相似, 但使用了不同的比例.考夫曼博士在接下来的一年里研究等离子体物理学和在低电压下产生高电流的方法, 在 lewis machine shop 反复试验后, 考夫曼决定自己设计推进器. 电子轰击推进器 (考夫曼推进器) 应运而生.考夫曼的引擎蒸发了液态汞, 然后被电子轰击以产生更多的电子和离子. 带负电的电场和带正电的屏幕将离子作为推力向后拉出引擎. 推进器在 lewis 真空设施中进行了广泛的测试, 得到了优异结果.1960年, 考夫曼和他的同事开始计划太空电动火箭试验 (sert i), 以在太空中测试推进器.  sert i 宇宙飞船于1964年7月发射, 还包括在 nasa marshall 太空飞行中心设计的另类推进器. 考夫曼的推进器运行了30多分钟, 但 marshall 引擎能启动. sert i 首次在太空中演示了电力推进。1964年, 考夫曼被任命为离子物理分部的负责人, 并开始计划对他的推进器 sert ii 进行第二次太空演示. sert ii 使用了两个太阳能汞离子轰击推进器. lewis 对推进器进行了一系列测试, 包括长期性能. 虽然 sert ii 于1970年2月初次发射任务没有达到预期能够持续6个月的时间, 但工程师们在 1973年重新启动引擎, 而后, 工程师们操作推进器长达八年并且能重新启动数百次.在此期间, 电磁推进部门不仅提高了考夫曼推进器的离子加速, 生成, 效率和预期寿命, 而且还开发了替代电动推进器. 考夫曼于  1968年被任命为该部门的副部长, 并在 1971年获得科罗拉多州立大学 (csu) 的博士学位.考夫曼博士和他的推进器在这一时期得到了广泛认可. 美国航空航天学 (aiaa) 于 1969年授予他 james h. wyld 推进奖, 其推进器于 1970年获得 ir 100奖 (r&d 100 奖的前身),而且考夫曼于 1971年获得 nasa 的杰出服务奖.nasa 的预算在 1960年代末和 1970年代初迅速减少, 特别是对于开发周期较长的项目, 例如电力推进. 电磁推进部门在 1972年的组织重组中解散. 考夫曼博士在新的宇宙飞船技术部门担任了两年的副部长, 电力推进只是其中几个部门之一, 并于 1974年6月退休, 在 nasa 服务长达23年.考夫曼博士随后接受了 csu 物理和机械工程系的教职, 并重新开始研究. 他后来说: “我很自豪, 当了 15 年的经理后, 我仍然有能力自己研究. ” 考夫曼博士任从 1978年职于物理系从 1984年退休.在他的学术生涯中, 考夫曼博士意识到其他人正在探索离子轰击技术的替代应用.  他接受了 ibm的邀请, 为薄膜应用调整电子束. 这项技术的发展让他兴奋不已. 他后来声称在研究的前两个月期间, 平均每周就能获得一项专利. 一位同事断言, 在 ibm公司中, 考夫曼博士拥有最多专利.考夫曼博士将他的离子源广泛应用于离子清洗, 离子蚀刻, 离子注入和离子溅射等领域. 历经 40 年改良及发展考夫曼公司已取得 100多项专利, 提供各种型号的霍尔型离子源和考夫曼离子源. 伯东公司是美国考夫曼离子源大中华地区总代理.从 csu退休后, 考夫曼博士成立了 kri, kaufman & robinson, inc. 以继续他的研究工作, 其中包括发明了霍尔离子源, 这是当今工业中使用的大多数无栅离子源的基础. 考夫曼博士目前是科罗拉多州柯林斯堡 csu 的名誉教授, 并经营 kaufman and robinson, inc.与此同时, 美国太空总署的研究人员继续研发并改善应用于太空推进的考夫曼推进器, 最后, 于 1990年代, nasa lewis 与喷气推进实验室合作开发出 nasa solar electric power technology application readiness ( nstar ) 推进器.  nasa 于1998年使用 nstar 推进器为其宇宙飞船 deep space i 提供动力. 这是第一艘使用离子推进器作为主要推进系统的宇宙飞船.nstar 还为宇宙飞船 2007 dawn 提供动力, 此宇宙飞船目前正在探索小行星带中的大型物体.  此后, 该中心开发了一个更强大的版本 -- 美国太空总署的进化氙气推进器 ( next ) . 这些应用都是源自考夫曼博士 1960年代初期的发明.考夫曼博士的离子推进器是 nasa 有史以来影响最深远的技术之一. 根植于考夫曼的工作, glenn 研究人员继续改进这项技术, 并开发新一代长效的宇航技术.2018年1月 harold kaufman 博士逝世, 纵观其一生, 不论是航空航天还是民用技术的实际应用, kaufman 博士从没有停止对离子技术的不断创新和发展, 他所创立的考夫曼公司已经取得 100项专利技术并继续秉承其对创新和质量的承诺, 不断前行! 参考链接:http://www.nasa.gov/feature/dr-harold-r-kaufman若您需要进一步的了解离子源, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶女士             台湾伯东: 王女士t: +86-21-5046-3511 ext 109       t: +886-3-567-9508 ext 161 f: +86-21-5046-1490            f: +886-3-567-0049 m: +86 1391-883-7267           m: +886-939-653-958上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.03.17

上海伯东 KRI 大尺寸射频离子源应用于 12英寸和8英寸金属蚀刻机中

上海伯东 KRI 射频离子源应用于 12英寸和8英寸金属蚀刻机中 上海伯东代理美国考夫曼 KRI 大口径射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等领域.作为蚀刻机的核心部件, KRI 射频离子源提供高能量, 低浓度的离子束, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求! 实现刻蚀过渡金属及非挥发性金属的需求, 可处理晶圆尺寸 300 mm, 适用于磁性存储器 MRAM 及磁传感器的研发及生产.KRI 射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 技术参数:型号RFICP 220RFICP 380Discharge 阳极RF 射频RF 射频离子束流>800 mA>1500 mA离子动能100-1200 V100-1200 V栅极直径20 cm Φ38 cm Φ大口径射频离子源离子束聚焦, 平行, 散射流量10-40 sccm5-50 sccm通气Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型压力长度30 cm39 cm直径41 cm59 cm中和器LFN 2000 1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解离子源或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东:叶女士                   台湾伯东:王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109           T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                  F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq:2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究! 

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2022.03.16

细胞培养耗材为什么需要 TC 表面处理

细胞培养耗材为什么需要 TC 表面处理 细胞的种类多样, 从培养方式上来看, 主要分为贴壁细胞和悬浮细胞两类. 悬浮细胞是指细胞生长不依赖支持物表面, 在培养液中呈悬浮状态生长, 如淋巴细胞. 贴壁细胞 adherent cells 是指细胞的生长必须有可以贴附的支持物表面, 依靠自身分泌的或培养基中提供的贴附因子才能在该表面上生长, 繁殖, 大部分动物细胞属于贴壁细胞.以前市面上细胞培养耗材多为玻璃材质, 玻璃具有亲水性, 所以表面不需要经过特殊处理. 但是在实际使用过程中存在清洁不干净, 易污染样本等缺点. 随着科技的快速发展, 各种高分子材料 (比如聚苯乙烯 PS) 逐步取代了玻璃材质, 成为细胞培养耗材的基本加工原料.聚苯乙烯为非晶态无规聚合物, 具有透明性, 其制品具有极高的透明度, 透光率可达 90%以上, 利于在显微镜下观察细胞培养状态, 另外其具有易着色, 加工流动性好, 刚性好及耐化学腐蚀性好等优点. 但是聚苯乙烯表面是憎水的, 为了确保贴壁细胞可以很好的贴附在耗材表面, 细胞培养耗材的表面需要经过特殊的改性处理, 在表面引入亲水因子, 以适应贴壁细胞的生长与繁殖, 这种处理被称为 TC 表面处理 Tissue Culture Treated. TC 处理适用于细胞培养皿, 细胞培养板, 细胞爬片, 细胞培养瓶等. 一般使用等离子表面处理设备实现细胞培养皿的 TC 表面处理.细胞培养皿经过 TC 表面处理后的特性1. 对产品表面预清洁: O2 等离子体可以吸附附着在产品表面的微小颗粒物及其他污染物, 通过真空泵把混合气体抽出真空腔, 达到预清洁的效果2. 减小产品表面张力, 使得产品的水接触角明显减小, 匹配合适的等离离子能量和浓度, 可以做到产品表面水接触角 WCA<10°. 3. O2 等离子体在产品表面发生化学反应, 产品表面可以增加很多功能性官能团, 包括羟基 (-OH ), 羧基 ( -COOH ), 羰基 ( -CO- ), 氢过氧基 (-OOH ) 等, 这些活性官能团在细胞培养过程中可以提高培养速度和活性.工艺设备:上海伯东 Europlasma 等离子表面处理机上海伯东 Europlasma 超过25年的经验在医用低压等离子活化和纳米涂层领域, 提高产品粘接, 印刷附着力, 表面湿润性等功能, 适用于医用导管, 人体植入医疗器械, 细胞培养耗材, 针座活化等.若您需要进一步的了解 Europlasma 超亲水纳米涂层详细信息或讨论,请参考以下联络方式: 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究! 

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2022.03.08

Atonarp 推出半导体排气检测诊断在线质谱仪Aston™

上海伯东代理日本 Atonarp 推出半导体排气监测用质谱分析仪  Aston™ 上海伯东日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 专为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供前所未有的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 可消除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成Atonarp  Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵 隔膜泵分子泵分子泵 隔膜泵分子泵分子泵 隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm) Aston™ 质谱分析仪 CVD 典型应用: Dry pump 干泵排气在线监测,诊断 在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防 PV-CVD 干泵的灾难性故障, 优化氮气吹扫成本.适用场景: 多个腔室连接到1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量!若您需要进一步的了解 Atonarp  Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式: 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究

新品

2022.03.03

上海伯东 Europlasma 超亲水纳米涂层应用于医用敷料

Europlasma 超亲水纳米涂层应用于医用敷料 医用敷料, 是包伤的用品,用以覆盖疮, 伤口或其他损害的医用材料. 医用敷料包括天然纱布, 合成纤维类敷料, 多聚膜类敷料, 发泡多聚类敷料, 水胶体类敷料, 藻酸盐敷料等.上海伯东 Europlasma 等离子机提供 Nanofics 10 超亲水纳米涂层是一种超薄 3D等离子体涂层, 厚度从5到50纳米. 水接触角 WCA在真空环境下用等离子法涂覆 Nanofics 10 亲水涂层, 具有以下优势:改善创伤面敷料的湿润性 与含银伤口敷料中的抗菌银离子协同作用 可以降低微生物对纤维或基质的粘附 亲水层改善滑动行为, 提供较低的机械创伤应力 涂层纤维或基质上的液体薄膜可以防止新形成的组织进入基质 Europlasma 超亲水纳米涂层适用医用敷料产品:膏药或外敷贴片 用于化妆品的纸巾, 湿巾等 用于生理液体 (如尿液或血液)的绷带, 敷料或吸附垫(如卫生巾, 卫生棉条)用于伤口护理的绷带或敷料等Europlasma 超过25年的经验在医用低压等离子活化和纳米涂层领域, 提高产品粘接, 印刷附着力, 表面湿润性等功能, 适用于锂电池隔膜, 针座活化, 人体植入和细胞培养瓶活化等.若您需要进一步的了解 Europlasma 超亲水纳米涂层详细信息或讨论,请参考以下联络方式: 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究! 

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2022.02.25

Europlasma 超亲水纳米涂层应用于人体植入医疗器械

Europlasma 超亲水纳米涂层应用于人体植入医疗器械 上海伯东 Europlasma 等离子机 Nanofics@10 纳米涂层工艺实现超亲水特性 WCA 从化学角度分析, 涂层表面有活性因子, 包括氧键, 氢键活性官能团, 有助于与水或溶液的相互作用, 在物体表面形成凝胶状表面.Europlasma 纳米亲水涂层特点;1. 高性价比单一涂层2. 定制化与可复制3. 可控制涂层的厚度, 均匀性与成分4. 多功能涂层功能(亲水, 疏水, 超疏水, 疏油等)5. 制成工艺温度不超过60℃, 涂层最高承受温度为 150-160℃ 6. 无溶剂全干燥工艺7. 涂层包含 C6氟化涂层和无卤素涂层 Europlasma 等离子机适用于人体植入产品: 1. 人造心脏瓣膜2. 人工晶体3. 人造血管4. 人造骨骼5. 人造关节6. 各种类型的插入型导管, 过滤器7. 各种手术应用的修复网格.    上海伯东 Europlasma 超亲水纳米涂层优势1. 减少植入物的细菌粘附, 从而减少感染的机会2. 减少植入物的生物刺激;3. 附着生物分子, 促进骨骼生长.组织生长或其他减少血液的黏附或阻塞4. 减少蛋白质粘附, 提高生物分析设备的效率;5. 可以控制药物的释放效率Europlasma 超过25年的经验在医用低压等离子活化和纳米涂层领域, 提高产品粘接, 印刷附着力, 表面湿润性等功能, 适用于锂电池隔膜, 针座活化, 人体植入和细胞培养瓶活化等.Europlasma 真空条件下, 通过在材料浅表面实现低压等离子表面聚合或者原子层沉积, 从而赋予材料新的功能, 不影响材料本身的性能, 对三维结构以及复杂形状的材料表面都可实现均匀性涂覆. Europlasma 等离子纳米涂层符合 REACH, RoHS, WEEE 标准.若您需要进一步的了解 Europlasma 超亲水纳米涂层详细信息或讨论,请联络上海伯东叶女士现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.02.16

Europlasma 超疏水纳米涂层应用于户外防护行业

Europlasma 超疏水纳米涂层应用于户外防护行业 在纺织品防水处理方面, 上海伯东代理比利时 Europlasma 等离子机涂覆超疏水纳米涂层, 广泛应用于户外运动服, 跑步装备, 游泳装备, 健走鞋等纺织品的防水处理.Europlasma 专利等离子体涂层技术 Nanofics@ 110/120 纺织品防水涂层性能测试 参考 AATCC-22-2010工艺类型功能涂层厚度防水等级Nanofics® 110水接触角 WCA > 110°, Oil>4疏水, 疏油50-500 nmIPX2 - IPX4Nanofics® 120水接触角 WCA > 120°, Oil>7疏水, 疏油50-500 nmIPX2 - IPX4Nanofics® S防水, 防汗1-5 µmIPX5 – IPX8Nanofics® SE防盐水, 耐腐蚀1-5 µmIPX5 – IPX8Europlasma 无卤素涂层技术 PlasmaGuard®, 纺织品无卤素防水涂层透气性能对比测试 满足欧盟 REACH Annex XVII 标准类型功能涂层厚度防水等级PlasmaGuard®防水 防汗水 防盐水, 无卤素1-5μmIPX5 - IPX8 上海伯东 Europlasma 等离子机户外防护超疏水纳米涂层案例 Europlasma 真空条件下, 通过在材料浅表面实现低压等离子表面聚合或者原子层沉积, 从而赋予材料新的功能, 不影响材料本身的性能, 对三维结构以及复杂形状的材料表面都可实现均匀性涂覆. Europlasma 等离子纳米涂层符合 REACH, RoHS, WEEE 标准.若您需要进一步的了解 Europlasma 超疏水纳米涂层详细信息或讨论,请参考以下联络方式: 上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.02.09

氦质谱检漏仪粉末冶金高速工具钢(钢包套)检漏

氦质谱检漏仪粉末冶金高速工具钢 (钢包套) 检漏 粉末冶金高速工具钢制备过程中, 钢包套需要抽真空后填充粉末, 然后高温压缩成型, 如果钢包套漏率不合格, 直接导致材料报废, 造成损失. 因此需要对钢包套进行泄漏检测, 氦质谱检漏仪吸枪模式下, 漏率要求10-5mbar l/s. 制备完成的工具钢应用于生活中各类钢产品的制造, 比如刀具.上海伯东钢包套检漏客户案例: 某生产粉末冶金高速工具钢公司, 使用氦质谱检漏仪 ASM 340 对工艺过程中的刚包套进行检漏. 正压模式下, 漏率 10-5mbar l/s. 1. 吸枪与检漏仪相连, 设定漏率值和检漏模式2. 钢包套冲入氦气, 使用检漏仪吸枪,对焊缝, 接头部位怀疑有漏的地方进行嗅探, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解钢包套检漏, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 www.hakuto-vacuum.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.01.24

上海伯东德国 Pfeiffer 真空产品在真空炉行业应用

上海伯东德国 Pfeiffer 真空产品在真空炉行业应用 待加工的工件在真空炉中加热, 此时通过真空泵建立低氧气体环境. 这种方式可以防止工件氧化. 真空炉广泛用于多种不同的工业应用, 例如刀具行业硬质合金生产中的真空烧结, 或电气行业真空开关室生产中的真空钎焊. 真空淬火则用于诸如汽车行业中制造齿轮所需的高合金钢.上海伯东德国 Pfeiffer 提供庞大的真空产品系列, 特别是针对真空炉的应用. 从抽真空炉所需的真空泵到真空测量设备, 从校准泵组到用于泄漏定位的氦质谱检漏仪, 应有尽有. 同时也提供组件和阀门让您能够一站式获得整套真空设备.上海伯东推荐适用于真空炉的真空泵系列产品 真空炉中的真空起到了保护气氛的作用, 以防止工件氧化. 真空烧结能够提升工件的表面质量. 由此大幅度减少对机械再加工的需求. 同时, 更大密度, 更低孔隙度和更高强度也使机械性能获得了优化. 在真空钎焊中, 钎缝强度的增进实现了接头质量的提高. 此外, 真空钎焊还可以确保工艺过程的高可重复性. 真空淬火在保证出色表面质量的同时, 将变形减小到最低水平. 这种工艺的另一个优势在于: 高表面质量允许在硬化后直接进行氮化处理.上海伯东推荐适用于真空炉定位泄漏检测的氦质谱检漏仪 如果泄漏率超过所需阈值, 则须定位并补漏,氦气检漏仪检测灵敏度高, 测试时间短且易于操作, 是泄漏定位的理想选择. 利用这种方法将冷冻干燥系统抽空. 使用喷枪从外部将氦气局部喷射到密封点, 焊缝和其他潜在的泄漏处. 在泄漏的情况下, 氦气流入抽空的真空室, 被泄漏探测器检测到并吸入.为了实现较短的响应时间, 泄漏探测器用于大型系统中, 部分流入现有的真空系统(参见泄漏检测图).Pfeiffer 真空提供的 ASM 340 检漏仪功能强大且通用设计.若您需要进一步的了解真空炉应用, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.01.21

上海伯东 Pfeiffer 双级旋片泵应用于奶制品冷冻干燥

上海伯东 Pfeiffer 双级旋片泵应用于奶制品冷冻干燥 冷冻干燥是利用冰晶升华的原理, 在高真空的环境下, 将已冻结了的食品物料的水分不经过冰的融化直接从固体冰升华为蒸汽, 一般真空干燥物料中的水分是在液态下转化为汽态而将食品干制. 冷冻干燥是干燥食品最温和的方法之一, 因其对产品本身的破坏极小. 上海伯东普发 Pfeiffer 累积数十年的冷冻干燥经验和深入的行业知识提供针对每个客户的解决方案.伯东 Pfeiffer 双级旋片泵用于奶制品冷冻干燥 使用冷冻干燥法处理的最著名产品之一就是粒状脱脂奶粉, 某马奶农场使用冷冻干燥机将马奶加工成奶粒. 这些奶粒即使经过长距离运输, 也不会造成营养价值的流失.马奶农场的冷冻干燥设备由圆形叠放的架子组成, 外面由钟形容器密封. 马奶直接从约 -34 ℃ 的制冷机中取出, 放置在这些架子上. 接着在气密的钟形玻璃容器内制造一个低真空环境. 通过使用德国 Pfeiffer Duo 10 M 磁耦合技术双级旋片泵提供真空环境. 一旦达到冷冻干燥所需的 1 hPa 左右压力, 系统就会对架子进行加热, 马奶中的水分就会升华 - 即转化为气体. 钟形玻璃容器和真空泵之间的一个大的电容使这些水蒸气在 60° C 下凝结. 整个冷冻干燥过程需要花费大约一天时间.由 Pfeiffer 旋片泵提供的真空环境确保了马奶的优良品质和有效存储, 完全满足客户对真空泵的要求 - 即可靠性和耐久性更高, 使用寿命更长!上海伯东德国 Pfeiffer DuoLine 系列双级旋片泵抽速范围 1.3 至 300 m3/h, 满足各类冷冻干燥应用.若您需要进一步的了解双级旋片真空泵, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2022.01.21

上海伯东 Pfeiffer 提供用于分析仪器的涡轮分子泵

上海伯东 Pfeiffer 提供用于分析仪器的涡轮分子泵 在使用真空技术组建实验室或分析系统时, 高灵敏度和绝对的可靠性至关重要. 实验室环境一般要求真空泵清洁, 占地面积小, 低振动, 低噪声等需要满足洁净室条件要求. 上海伯东 Pfeiffer 拥有广泛的产品组合, 为真空获得和真空测量提供众多的解决方案: 提供用于分析仪器的涡轮分子泵和配套无油干泵, 适用于集成在各类分析仪器中.推荐使用上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵和无油干泵类型系列极限真空度抽速范围分流式分子泵SplitFlow4X10-7 hPa53-285 l/s复合轴承涡轮分子泵HiPace10-2700 l/s多级罗茨泵ACP10-2 hPa15-40 m3/h涡旋干泵HiScroll10-2 hPa6-20 m3/h集成了 HiPace 的分析仪器, 分析周期会更短 上海伯东复合轴承涡轮分子泵 HiPace 系列转子设计使用成熟的复合轴承, 轴承由 Pfeiffer 真空在 30 多年前发明, 并不断发展至今. HiPace 系列分子泵抽速, 临界前级压力, 气流量以及小分子气体压缩比与友厂对比, 性能更优, 因此集成了 HiPace 的分析仪器, 分析周期会更短. 另外 HiPace 系列的涡轮分子泵也格外安静,而且振动可以降到最低.运行更安静. HiPace 系列还可承受诸如空气进入, 冷却故障或外部冲击之类的故障.若您需要进一步的了解涡轮分子泵详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

企业动态

2022.01.10

Europlasma 等离子机实现微流控芯片表面亲水, 疏水特性

Europlasma 等离子机实现微流控芯片表面亲水, 疏水特性 微流控芯片技术 Microfluidics devices 是把生物, 化学, 医学分析过程的样品制备, 反应, 分离, 检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上, 自动完成分析全过程. 由于它在生物, 化学, 医学等领域的巨大潜力, 已经发展成为一个生物, 化学, 医学, 流体, 电子, 材料, 机械等学科交叉的崭新研究领域.上海伯东 Europlasma 低温等离子涂层设备通过在微流控芯片表面涂覆涂层实现表面和内部微流道水滴角的改变, 来满足亲水, 疏水等不同需求, 水滴角范围是 WCA 10°-150°.类型市场功能涂层厚度防水等级Nanofics® 110电子, 医疗, 过滤水接触角 WCA > 110°, Oil>4疏水, 疏油50-500 nmIPX2 - IPX4Nanofics® 120电子, 医疗, 过滤水接触角 WCA > 120°, Oil>7疏水, 疏油50-500 nmIPX2 - IPX4Nanofics® S电子防水, 防汗1-5 µmIPX5 – IPX8Nanofics® SE电子防盐水, 耐腐蚀1-5 µmIPX5 – IPX8PlasmaGuard®运动. 户外, 电子防水 防汗水 防盐水, 无卤素1-5μmIPX5 - IPX8Nanofics® 10医疗, 活化, 过滤水接触角 WCA 5-50 nm亲水特性 WCA<10° Europlasma 亲水涂层特点:1. 提高微流控芯片的物理机械性能2. 提高芯片检测的稳定性和耐久性3. 提高芯片表面亲水性4. 提高蛋白亲和力, 降低微流通道的堵塞5. 涂层具有抗菌和生物相容性的特点, 满足 REACH, ROHS, USP, WEEE等标准6. 涂层厚度为 5-50nm, 不会改变芯片的原有特性7. 可以提供无卤素涂层, 满足最新的 REACH 法案的标准Europlasma 疏水涂层特点:1. 疏水涂层可以同时处理芯片表面和内部微流道2. 纳米涂层是一种超薄 3D等离子体涂层. 厚度从 5- 50nm 3. 可以降低微流芯片的表面张力4. 涂层具有抗菌和生物相容性的特点, 满足 REACH, ROHS, USP, WEEE 等标准5. 可以提供无卤素涂层,满足最新的 REACH法案的标准上海伯东 Europlasma 等离子机在真空条件下, 通过在材料浅表面实现低压等离子表面聚合或者原子层沉积, 从而赋予材料新的功能, 不影响材料本身的性能, 对三维结构以及复杂形状的材料表面都可实现均匀性涂覆. Europlasma 等离子涂层符合 REACH, RoHS, WEEE 标准. 若您需要进一步的了解 Europlasma 等离子机详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

应用实例

2022.01.10

上海伯东 Pfeiffer 提供适用于真空蒸馏工艺罗茨泵

化学工业是许多经济领域不可或缺的原材料供应商. 例如, 汽车行业, 机械工程, 塑料, 食品, 玻璃或建筑材料行业都依赖于化学工业生产的物质. 这些物质用于我们每天使用的无数成品中. 这些应用中的很大一部分都依赖于真空技术. 最重要的应用之一是真空蒸馏.真空蒸馏亦称 “减压蒸馏” , 是蒸馏方法之一. 在减压下进行, 一般用以分离在常压下加热至沸时易于分解或聚合的物质或与其他蒸馏方法 (如蒸汽蒸馏) 结合以降低蒸馏的温度. 一些化合物具有很高的沸点, 要使这类化合物沸腾, 最好是降低化合物沸腾时的压力而不是提高温度. 一但压力降低到化合物的蒸汽压(在一定的温度下), 化合物就开始沸腾, 蒸馏作用就可进行. 这项技术被称为真空蒸馏. 真空蒸馏适用于温和分离温度敏感型物质.上图: 用于蒸馏过程的三级 Pfeiffer 罗茨泵组 保持蒸发器中所需的精确真空度对于分离工艺的质量至关重要, 因此对真空控制系统和所用真空泵的质量提出了很高的要求. 上海伯东德国 Pfeiffer 罗茨泵组可以毫不费力地达到 10-3 hPa 的真空压力, 适用于薄膜和短程蒸馏工艺. Pfeiffer 真空以全面的产品系列为基础提供定制解决方案, 从而创建各种应用所需的真空条件. 特别是在需要低于 30 hPa 压力的化学工业应用中, Pfeiffer OktaLine 罗茨泵组已成为理想的解决方案. 根据所需的抽速和极限压力, 可组合成不同的泵组. 罗茨泵抽速 500 m3/h 至 8,000 m3/h, 在特殊情况下, 可提供抽速高达 25,000 m3/h 的罗茨泵.上海伯东风冷罗茨泵 OktaLine, 无需水冷, 具有过热保护装置型号Okta 250Okta 300Okta 500Okta 600Okta 1000Okta 2000Okta 4000Okta 6000Okta 8000Okta 18000抽速:m3/h2702904905801070206540506075800017850气冷罗茨泵 OktaLine G 可在大气压下启动, 清洁无油的工作环境型号Okta 500 GOkta 1500 GOkta 4000 GOkta 8000 G抽速 m3/h520150046008000防爆罗茨泵 OktaLine ATEX 气冷模式, 安全防爆设计型号Okta 500 ATEXOkta 1000 ATEXOkta 2000 ATEXOkta 4000 ATEX抽速 m3/h560118021554325上海伯东 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士,分机109 

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2021.12.20

上海伯东真空泵冷冻干燥行业应用

冻干过程需要良好的真空环境 冷冻干燥是利用冰晶升华的原理, 在高真空的环境下, 将已冻结了的食品物料的水分不经过冰的融化直接从固体冰升华为蒸汽,一般真空干燥物料中的水分是在液态下转化为汽态而将食品干制, 故冷冻干燥又称为冷冻升华干燥.与其他干燥工艺相比, 冷冻干燥具有更大的优势:1. 干燥后的物料保持原来的化学组成和物理性质 ( 如多孔结构, 胶体性质等 )2. 热量消耗比其他干燥方法少.目前冷冻干燥广泛运用于食品和药物成分的生产. 冷冻干燥是许多领域的既定工艺, 特别是在保存对温度或湿度敏感的产品方面, 对于许多食物, 冷冻干燥如今已成为标准的保存方法. 此外, 冻干法也被用来保存药用物品, 如药物和疫苗. 上海伯东普发 Pfeiffer 累积数十年的冷冻干燥经验和深入的行业知识提供针对每个客户的解决方案.真空泵在冻干过程中的重要性 对于冷冻干燥过程, 必须使压力低于所用溶剂 ( 例如水 )的三相点, 使物料中的水分不经过液相而直接升华为水汽. 在干燥过程中或在干燥室的调节过程中, 工作压力可高达 1X10-3 hPa, 而这种真空需要功能强大的真空泵才能够安全可靠地产生所需的最终压力. 上海伯东普发 Pfeiffer 提供适合冷冻干燥工艺的真空泵, 真空规, 校准泵站, 用于过程监测的气体分析质谱仪和用于定位泄漏的氦质谱检漏仪适用于冷冻干燥的真空系统 对于中小型实验室和小型冷冻干燥系统, 主要使用油封双级旋片泵. 由于其良好的极限真空 10-3 hPa, 坚固的结构和低投资成本, 已经经历了数十年的考验. 上海伯东代理普发 DuoLine 紧凑型旋片泵泵进一步发展了这一经过验证的方案. 由于干式密封技术的进一步发展(例如多级罗茨泵和涡旋泵), 也推荐使用 ACP 系列干式真空泵. 一个显著的优点是该设计中的润滑剂不会与抽送的气体和蒸汽直接接触. 使得干式密封泵具有更长的换油间隔.螺杆泵结合罗茨泵的真空系统主要用于制药行业和食品生产, 推荐使用上海伯东普发 Pfeiffer HeptaDry 螺杆真空泵和 OktaLine 罗茨泵. 或者使用旋片泵 Duoline. 得益于真空泵广泛的抽速范围和尺寸, 每台冻干机都可以找到合适的解决方案.冷冻干燥过程精确的真空测量 为了使冷冻干燥过程可靠且可重复地进行, 必须在干燥室内准确, 重复的测量真空度. 针对冻干中普遍存在的压力范围, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供各种类型真空计. 其中最大测量范围为 1 hPa 或 10 hPa 的电容真空计可为冷冻干燥提供适合的精度.Pfeiffer CLR 系列电容真空计, 专门用于蒸汽灭菌冻干机. 这些真空计被主动加热到160 °C, 减少了真空计内部冷凝的风险; 此外, 电子设备不在测量室附近, 避免被热蒸汽损坏.Pfeiffer 普发真空计提供模拟信号真空计 ActiveLine, 模块化真空计 ModulLine, 数字真空规 DigiLine, 手持真空计, 配套真空计显示器以及完全替代莱宝真空计 CenterLine 满足各类真空应用.真空计校准系统确保产品质量 为确保压力测量的准确性和重复性, 从而保证过程的长期稳定性, 有必要定期对真空计进行校准. 如果传感器被污染, 则测量信号可能会改变. 上海伯东普发 Pfeiffer 提供真空计的出厂校准和 DAkkS 校准. 根据高质量标准并按照相关的 ISO 3567 规定进行校准. 记录的测试条件和差异会记录在发布的校准证书中.如果客户有大量真空计正在使用, 则现场校准会更经济高效且更容易. 上海伯东普发 Pfeiffer 还为此提供了合适的解决方案:专门开发的基础和专业真空计校准泵站. 该系统包括一个集成的涡轮分子泵组, 提供精确零点调整所需的压力. 符合 ISO 3567 规定的真空室可确保在相同高度处的压力分布均匀和真空计的对称排列. 进气口和分子泵输入口也位于对称轴上. 使用这些校准系统和相应的参考真空计, 可以轻松进行校准.真空计基本校准系统1. 用于静态和动态校准2. 校准范围 1.013 – 10-4 hPa 3. 最多测试 5个高精度真空规用于冷冻干燥过程监测的气体分析仪 通过过程分析技术 PAT, 在冻干中使用质谱仪以保证质量并优化过程. 质谱分析仪可以记录整个生产过程. 凭借成熟的质谱仪技术, 上海伯东普发 Pfeiffer 气体分析仪 PrismaPro 可在硅油泄漏发生时对其进行检测, 从而保护有价值的批次免遭污染. 得益于其自身的高灵活性 ,质谱仪也可用来监测水蒸气浓度和其它存在的气体, 如氮气和氧气. 通过监测水蒸气含量, 可以更准确地确定主干燥过程及后续干燥过程的终点.残余气体分析仪 PrismaPro 1. 质量数 1-100, 1-200, 1-300 2. 电子倍增器 / 法拉第 C-SEM / Faraday (M) 3. 最大工作压力 F  5X10-4  hPa 4. 四极杆直径/长度:  6 / 125 mm可靠定位干燥系统漏点 要实现冷冻干燥过程所需的真空度, 需要保障干燥系统和所连接组件的良好密封性. 特别是在制药领域, 无菌冻干过程中不可有微生物进入系统. 上海伯东普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 坚固耐用, 抗破大气, 抗震性能极强, 有效降低由操作失误带来的风险性, 可反复使用数年仍保证高精度的检漏漏率.氦质谱检漏仪 ASM 340 1. 前级泵配备旋片泵抽速高达 15 m3/h 2. 分流式分子泵对氦气抽速 2.5 l/s 3. 对氦气的最小检测漏率:   真空模式:5E-13 Pa m3/s    吸枪模式:5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏律4. 丰富的可选配件,如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等上海伯东 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士

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2021.12.20

上海伯东美国 Gel-Pak 入围旧金山湾区科技创新奖决选

上海伯东美国 Gel-Pak 入围旧金山湾区科技创新奖决选Gel-Pak, 作为美国 Delphon 公司的成员, 是半导体, 光电子和医疗领域贵重器件运输, 存储载具的提供者. 上海伯东美国 Gel-Pak 开发的 LCS2 产品在旧金山湾区东湾科技创新奖初选中从 200多家参选产品中脱颖而出, 入选决选20强名单.LCS2 产品是 Gel-Pak 与 BAE 系统公司合作开发, 这个产品的研发是为了解决华夫盒 Waffle Pack 在运输芯片过程中频繁出现芯片的撒料现象, 这项产品的研发成功解决这个问题并为客户减少这方面的损失.GEL-PAK 华夫盒用盖 / 夹系统 LCS2™ 功能和优点1. 金色 ESD 级000防静电夹和盖 (SR 2. 集成的插页材料可选性: 行业标准的防静电特卫强纸或超纯静电耗散黑色聚苯乙烯3. 消除了在装入华夫盒时的人工放置和特卫强纸未对准和/或捏合的情况4. 不含硅5. 均匀密封每个单独的托盘袋6. 弥补常见的华夫盒盖 / 托盘翘曲情况, 这种情况会造成使芯片移位的空隙7. 节省与因芯片移位问题导致的良率损失, 返工劳动和 RMA 相关的大量成本LCS2 工作示意图 美国 Gel-Pak 成立于1980年, 主要生产一系列专有的基于凝胶和弹性体的设备载体和薄膜, 为在操作过程中必须避免损坏的应用提供解决方案. 独特的弹性体技术是其 Gel-Box™, Gel-Tray®, Gel-Slide®, E-Film™ 和获得专利的 Vacuum Release (VR) 产品的基础. 这些产品可在运输和过程中有效地固定器件. 美国 Gel-Pak 晶圆包装盒广泛应用于储存和运输半导体精密器件, 光电器件和其他精密器件等. 上海伯东是美国 Gel-Pak 芯片包装胶盒中国总代理.若您需要进一步的了解 Gel-Pak , 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2021.11.03

上海伯东美国 inTEST 热流仪集成电路 IC 芯片高低温冲击测试

nTEST 热流仪集成电路 IC 芯片高低温冲击测试 随着国家对半导体行业愈加重视, 国内各高校通过积极筹备半导体联合实验室等举措来推动集成电路的产业研究和人才教育的发展, 上海伯东美国 inTEST ThermoStream热流仪提供清洁干燥的冷热循环冲击气流, 可达到快速精测试温度, 适合模拟各种温度测试和调节的应用, 获得高校普遍认可, 已广泛参与集成电路研发重点项目的研究.inTEST 热流仪应用于集成电路科研项目案例: 国内某高校经过伯东推荐选用 inTEST 高低温测试机 ATS-545 用于研发高性能微处理器, 网络通信芯片, 功率器件, 蓝牙芯片等科研项目. 如工业级 ICU 芯片要求测试温度 -40℃ 至 110℃, 温变速率 -50℃ 至 125℃≤10s, 在带电情况下, 分别设置高温, 常温, 低温进行温度循环.  ATS-545-M温度范围 °C: -75 至 + 225(50 HZ)变温速率: -55至 +125°C                约 10 S 或更少              +125至 -55°C               约 10 S 或更少 输出气流量: 4 至 18 scfm温度精度: ±1℃ 通过美国NIST 校准 温度显示分辨率: ±0.1℃温度传感器: T或K型热电偶 独有防静电设计, 不需要 LN2 或 LCO2 冷却上海伯东美国 inTEST 热流仪通过每秒快速升温或降温 18°C, 对 PCB 电路板中的某一单个 IC (模块) 或整块集成电路提供精确且快速的环境温度. 与传统高低温试验箱不同的是 inTEST 高低温测试机可针对 PCB 电路板上众多元器件中的某一单个 IC (模块)可单独进行高低温冲击, 而不影响周边其它器件. 美国 inTEST Thermal Solutions 超过 50 年的热测系统研发专家, 产品包含 ThermoStream 热流仪, 又称热风罩, 实现芯片高低温冲击, 冷热冲击, Thermochuck, ThermoSpot 接触式高低温测试机和 Thermonics Chillers 制冷机. inTEST 已收购 Thermonics 和 Temptronic. 上海伯东是美国 inTEST 中国总代理.鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解 inTEST 热流仪, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2021.11.02

Europlasma 等离子表面亲水改性活化设备 CD 1200 PLC

Europlasma 等离子表面亲水改性活化设备 CD 1200 PLC上海伯东比利时 Europlasma 等离子表面处理设备 CD 1200 PLC, 使用 Nanofics@ 技术, 实现材料表面水接触角 WCAEuroplasma 等离子表面亲水改性设备 CD 1200 PLC 技术参数真空腔室材料: 铝 有效尺寸: 700 x 700 x 1200 mm.容积:490L舱门: 装有可视窗口 标准样品托盘: 8个    标准尺寸: 620 * 675 mm亲水涂层厚度 10-50 nm真空度测量皮拉尼真空计真空泵干式真空泵泵组, 抽速 480 立方米每小时频射发生器根据客户应用需求定制控制系统PLC 可实现下列功能1. 17 英寸触摸屏, 自动控制反应过程;2. 根据处理材料设定不同的处理工艺参数;3. 测定真空泵压力, 抽真空时间, 充气速度, 工作压力, 处理时间. 温度. 频射发生器输入电压等指标;4. 监测所有的运行指标, 保证各项参数在设定范围之内;5. 设定操作进入密码.6. 可定制 ERP, SAP 系统接口电源380V AC, 三相, 50Hz, 40A反应气体气体输入端口, 含气体流量控制器 (MFC), 最多可以 5个 MFC, 可多种工艺气体混合气体输入直径1/4英寸(6.45mm) 管道, 输入压力:1Bar尾气排放直径 28mm 输出端口, VOC 尾气处理装置性能急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE认证.Europlasma 等离子表面亲水改性设备适用于 针座活化 细胞培养瓶 / 皿 / 板活化, 48孔, 96孔深孔板等活化 人体植入, 医用辅料, 微流量芯片, 过滤装置等 高分子材料亲水细胞培养瓶表面活化案例1. 对产品表面预清洁: O2 等离子体可以吸附附着在产品表面的微小颗粒物及其他污染物, 通过真空泵把混合气体抽出真空腔, 达到预清洁的效果2. 减小产品表面张力, 使得产品的水接触角明显减小, 匹配合适的等离离子能量和浓度, 可以做到产品表面水接触角 WCA<10°, 3. O2 等离子体在产品表面发生化学反应, 产品表面可以增加很多功能性官能团, 包括羟基 (-OH ), 羧基 ( -COOH ), 羰基 ( -CO- ), 氢过氧基 (-OOH ) 等, 这些活性官能团在细胞培养过程中可以提高反应速度和活性.表面活化前, 水接触角较大, 液体团聚              表面活化后, 水接触角变小, 液体扩散使用上海伯东  Europlasma 表面活化处理后测试:1. 样品经过 CD 1200 PLC 处理完后, 立即测试, 表面水接触角 WCA <28°, 满足客户要求2. 之后每天测试一次被处理样品的水接触角, 并记录水接触角的变化曲线和衰减, 连续检测一个月3. 测试一个月后, 最终的样品表面水接触角 WCA <42°, 满足客户要求, 且远远小于其他活化工艺结果! 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 www.hakuto-vacuum.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2021.11.01

上海伯东 Pfeiffer 检漏仪 ASM 340 应用于六氟化硫密度表检漏

上海伯东 Pfeiffer 检漏仪 ASM 340 应用于六氟化硫密度表检漏22万伏高压变电站通过高压开关 (高压断路器) 进行开断和关合等控制, 其中六氟化硫 SF6 断路器通过内部充入绝缘气体六氟化硫进行绝缘, 断路器本身需要经过检漏, 确保六氟化硫不漏, 带电运行下, 为了双重安全考虑, 同时使用六氟化硫密度表监测 SF6 泄露情况. 因此需要对密度表本身进行无损泄漏检测.上海伯东六氟化硫密度表检漏客户案例: 某从事电力设备及控制系统集成公司, 使用氦质谱检漏仪 ASM 340 对其生产的六氟化硫密度表检漏. 根据密度表使用工况和规格, 采用氦质谱检漏仪正压或负压检漏 以负压模式举例, 漏率要求 10E-9mbar l/s. 1. 密度表与检漏仪进气口相连, 设定漏率值和检漏模式2. 使用喷枪, 喷扫密度表焊缝, 接头部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会实时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.电力行业相关检漏案例高压开关 (断路器检漏)ASM 390中压开关吸和开关检漏ASM 340变压器检漏ASM 340电控箱互感器检漏ASM 340气体绝缘组合电器检漏ASM 192鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪六氟化硫密度表检漏, 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶女士                                   台湾伯东: 王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958 qq: 2821409400 www.hakuto-vacuum.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2021.10.25

深孔板表面亲水改性,高分子材料表面亲水改性

Europlasma 等离子表面处理实现深孔板表面亲水改性 (高分子材料表面亲水改性)上海伯东 Europlasma 等离子表面处理设备可实现 PS等材质的细胞培养耗材表面水接触角 WCA <10° 的超亲水特性, 适用于各类细胞培养耗材的表面活化 Activation 和 Tissue culturetreated TC 处理, 实现高分子材料表面亲水改性, 细胞反应速度更快, 混合度更高等功能.48孔和96孔深孔板表面活化典型案例: 广州某从事高端生物耗材研发公司, 生产细胞培养瓶/皿, 免疫治疗等方面的高品质耗材及定制化服务. 客户的细胞培养耗材形状不规则, 并且尺寸变化较多. 在不影响产品本身特性的同时还要实现材料表面亲水要求. 使用原有的活化工艺无法实现, 最终采购上海伯东 Europlasma 等离子表面处理设备 CD 1200 PLC 实现高分子材料表面活化, 亲水改性功能.上海伯东 Europlasma  表面亲水处理工艺流程:1. 将深孔板依次放置在托盘上, 摆放于 CD 1200 PLC 的真空腔内, 运行真空系统, 把腔体真空度抽至目标真空度2. 真空度稳定后通入 O2 与 N2到真空腔, 并打开高能 RF 等离子发生器, 产生高能量高浓度的 O2 与N2等离子体3. O2 与 N2等离子体在产品表面发生各种物理和化学反应, 控制反应时间在设定范围内, 达到产品表面亲水改性和活化的效果.4. 工艺完成后关闭真空系统, 取出被处理过的产品, 再放置新一批的产品, 可以实现设备 24h 循环使用.通过使用上海伯东 Europlasma 表面活化实现功能:1. 对产品表面预清洁: O2 与 N2 等离子体可以吸附附着在产品表面的微小颗粒物及其他污染物, 通过真空泵把混合气体抽出真空腔, 达到预清洁的效果2. 减小产品表面张力, 使得产品的水接触角明显减小, 匹配合适的等离离子能量和浓度, 可以做到产品表面水接触角 WCA<10°, 3. O2 与 N2 等离子体在产品表面发生化学反应, 产品表面可以增加很多功能性官能团, 包括羟基 (-OH ), 羧基 ( -COOH ), 羰基 ( -CO- ), 氢过氧基 (-OOH ) 等, 这些活性官能团在细胞培养过程中可以提高反应速度和活性.表面活化前, 水接触角较大, 液体团聚       表面活化后, 水接触角变小, 液体扩散 若您需要进一步的了解 Europlasma 等离子表面处理设备详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士,分机109                现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士上海伯东版权所有, 翻拷必究!

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2021.10.21

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