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400-860-5168转0702
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技术参数：
HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。
应用：
· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空涂覆/ 等离子刻蚀
· 沉积溅射
· 污染物研究
· 基本压力辨别
· 泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析
· 除气/烘烤/泵效能
· 反应室/过程气体污染物
特点：
· 简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构
· Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到最适宜的灵敏度
· 连续取样从10-4mbar至1mbar.
· 高灵敏度（最优可至5ppb），质量数可选至1000amu
· 软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究
· 稳定性好(24h之上，峰高变化小于±0.5%)
· MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
· 气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
· 自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警
Hiden过程质谱HPR30的工作原理介绍
过程质谱HPR30的使用方法?
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企业名称
北京英格海德分析技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108768489122U
成立日期
2004-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;企业管理咨询;经济贸易咨询;企业策划、设计;市场调查;承办展览展示活动;组织文化艺术交流活动(不含营业性演出);翻译服务;设计、制作、代理、发布广告;会议服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;仪器仪表维修;销售计算机、软件及辅助设备、工艺品、电子产品、家用电器、机械设备、五金交电(不含电动自行车)、通讯设备、建筑材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品).(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京英格海德分析技术有限公司
公司地址
北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室
客服电话
公司名称： 北京英格海德分析技术有限公司
公司地址： 北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室 联系人： 孙先生，郑先生 邮编： 100195 联系电话： 400-860-5168转0702
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