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HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。
应用：
· 等离子体/反应性离子蚀刻研究
· CVD / PVD / MOCVD
· 半导体晶片加工研究
· 真空、等离子体过程
· 活性物质定量分析
· HF，HCl，HBr，CFC 研究
主要特点：
· 加热的电抛光波纹管，快速偶合连接器
· 可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
· 高灵敏度至 5 ppb, 质量数可至2500 amu.
· 进样压力从 1 mtorr 至大气压
· 电容压力计，压力检测可不受分析物影响
· 稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
· 软件 MASsoft 控制
· 矩阵反演，归一化及单峰参考
Hiden过程质谱HPR-80的工作原理介绍
过程质谱HPR-80的使用方法?
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企业名称
北京英格海德分析技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108768489122U
成立日期
2004-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;企业管理咨询;经济贸易咨询;企业策划、设计;市场调查;承办展览展示活动;组织文化艺术交流活动(不含营业性演出);翻译服务;设计、制作、代理、发布广告;会议服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;仪器仪表维修;销售计算机、软件及辅助设备、工艺品、电子产品、家用电器、机械设备、五金交电(不含电动自行车)、通讯设备、建筑材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品).(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京英格海德分析技术有限公司
公司地址
北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室
客服电话
公司名称： 北京英格海德分析技术有限公司
公司地址： 北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室 联系人： 孙先生，郑先生 邮编： 100195 联系电话： 400-860-5168转0702
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