核心参数
仪器种类: 激光闪点法
产地类别: 进口
外形尺寸(L×W×H): 0
精确度: ±9%
导热系数测试范围: 0
重复性: ±4.5%
物理特性薄膜表征系统,高度集成且易于使用的测量平台。
薄膜的物理性质不同于大块材料,因为由于尺寸较小和高纵横比使寄生表面效应更强!
增强表面散射的影响(a)
附加边界散射(b)
超薄层的量子约束(c)
LINSEIS薄膜物性分析仪是表征各种薄膜样品优异测量工具。它是一种易于使用的独立系统,使用正在申请专利的测量系统设计,可提供高质量的结果。
组件
基本设置包括一个可以轻松沉积样品的测量芯片,以及提供所需环境条件的测量室。 根据应用,该设置可与锁定放大器和/或强电磁铁一起使用。 测量通常在UHV下进行,并且在测量期间使用LN2和强力加热器将样品温度控制在-170°C和280°C之间。
预制测量芯片
该芯片将用于热导率测量的3 ω技术与用于测量电阻率和霍尔系数的4点Van-der-Pauw技术相结合。 赛贝克系数可以使用位于Van-der-Pauw电极附近的附加电阻温度计来测量。 为了便于样品制备,可以使用剥离箔掩模或金属阴影掩模。 该配置允许几乎同时表征通过PVD(例如热蒸发,溅射,MBE),CVD(例如ALD),旋涂,滴铸或喷墨打印制备的样品。
该系统的一大优点是在一次测量运行中同时确定各种物理特性。所有测量都采用相同(平面内)方向,并且具有很高的可比性。
基本测量单元 :
测量室,真空泵,带加热器的支架,电子颊侧装置,集成锁相放大器,3w方法分析软件,计算机和应用软件。可测以下物理参数:
• λ - 热传导系数 (稳态法/平面内方向)
• ρ - 电阻率
• σ - 电导率
• S - 赛贝克系数
• ε – 发射率
• Cp - 比热容
磁测量单元
可根据需求选择集成式电磁铁,可测物理参数如下:
• AH - 霍尔常数
• μ –迁移率
• n -载流子浓度
薄膜材料性能有别于块体材料之处
- 因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如:边界散射和量子限域效应
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结构改变对Mg2Sn薄膜热电性能的改善
采用磁控溅射法在氩气氛中制备了Mg-Sn薄膜(21≤at. % Sn≤42.5)。薄膜的结构和形态特征是组成的函数。随着薄膜中Sn含量的增加,Mg2Sn结构由稳定的面心立方结构转变为亚稳定的正交结构。讨论了在较广温度范围内(30-200 C),这种结构改变对温差电性能的影响。测量了薄膜载流子浓度和迁移率,以解释作为薄膜结构修饰函数的电子传输行为。当Sn含量为36at.%时,在200℃品质因数达到最大值ZT≅0.26。此时,立方和正交的Mg2Sn结构共存。在真空 (~10-4Pa)下,在不同温度(最高600℃)下进行退火处理,以确定薄膜结构和形态稳定性的极限。
电子/电气
2020/05/08
企业名称
林赛斯(上海)科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
1500000022019003080012
成立日期
2018-05-31
注册资本
500
经营范围
德国林赛斯热分析
公司地址
上海市浦东新区沪南路2655号三号楼二楼
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