新年领跑先进测试服务——EAG添置新装备，凯来助力半导体等行业发展

上海凯来

2024/02/18 17:13

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Eurofins EAG实验室（EAG）近期宣布在其全球>2500台仪器中增加一套新设备——ImageGEO193激光剥蚀系统。该套系统安装在Syracuse锡拉丘兹的Purity Survey纯度检测实验室，将与三重四级杆电感耦合等离子体质谱仪联用，提供新的服务和更快的测试周期。

ImageGEO193是一套先进的193nm准分子激光剥蚀系统，相对于普通激光剥蚀系统，其产生的信号更稳定，可用于高精度元素浓度测量或同位素比值分析；并且在成像模式中imageGEO193可提供 1ms 的单峰分辨率，可实现每秒高达1000像素的成像。EAG实验室还同时引进了激光质谱成像的专用双同心进样器(DCI)和ESL最新激光剥蚀样品池TwoVol3，该样品池技术可提供快速的亚微米级分辨率成像。

ESL imageGEO193激光剥蚀系统

能够立即从新的LA-ICP-MS设备中受益的特定技术和行业包括半导体、锂电池、光伏太阳能、可穿戴和植入式医疗设备、工业涂料、薄膜、供应链完整性、采矿和考古学等。

100ppm金纳米颗粒液滴在晶圆上的高分辨率成像图：1µm光斑尺寸

High Resolution 100ppm Au Nanoparticle Droplet on Wafer: 1µm spot size

凯来

上海凯来仪器有限公司为美国ESL中国总代理，提供LA-ICPMS整体解决方案，包括仪器销售和售后应用服务等。上海凯来总部位于上海临港新片区海洋科技创业园，设有应用演示及服务实验室，客户定制产品及研发中心，专注于推广和研发前沿的元素分析测试解决方案。

凯来谱

上海凯来谱科技有限公司为上海凯来仪器有限公司旗下全资子公司，成立于2020年4月，专注提供激光剥蚀相关联用技术的应用开发和分析测试服务，立志成为该细分市场的隐形冠军，总部位于中国（上海）自由贸易试验区临港新片区，已获得CMA证书、高新技术企业资质及多项专利证书。目前已经在北京、武汉、成都、青岛多地建设实验室。

目前，除传统的地球化学测试服务、面扫描元素成像、单颗粒/单细胞分析外，凯来谱实验室在半导体材料方面开发了自己独有的解决方案，包括晶圆表面金属污染，高纯金属、靶材及高纯试剂痕量杂质等分析。我们提供多学科、解决问题的专业知识，提供多样化和独创性的分析技术，帮助客户加速创新、确保质量，并保护知识产权。

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