台阶仪

仪器简介：
KLA Tencor是世界上最著名的微电子和半导体领域设备供应商。目前年营业收入约为15亿美元，全球雇员5000多人。

KLA Tencor公司是KLA Instruments 公司和 Tencor Instruments公司于1997年合并的产物。

Tencor公司于1976年推出其第一个产品，Alpha-Step探针式台阶仪。从此，在随后的近三十年里，产品不断完善，更新（Alpha-Step IQ是Alpha-Step系列里的第八代产品），KT公司的台阶仪始终是行业里的旗帜合领先者，在全球拥有近60％以上的占有率。在很多领域，KT的台阶仪都是客户指定选择的唯一产品。



技术参数：
可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度；
可分析表面粗糙度
具有7.5Å (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率

主要特点：
Alpha-Step IQ是先进的探针台阶仪，集高测量精度、多功能性和经济性于一体。是试产线及材料分析等应用的理想选择。由于其具有7.5Å (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。是目前商业化仪器里（经过市场考验）最高精度的台阶仪。是成熟的产品。

Alpha-Step IQ采用天然金刚石（Diamond）作为探头，经久耐用。探针更换简便、快速。

Alpha-Step IQ软件具有保护测针以免发生损坏功能：
★无论何时只要测针下伸的时间超过 60 秒，但仍然没有开始扫描，测针将自动升起。
★当测针达到其测量范围的上限时，测针自动缩回，扫描终止。（备注：当测针达到其上限时，屏幕上的迹线停止上升，而变为水平。）
★为了安全起见，可以用程序设置升降器，使其仅可以降低到一个预设的限制。

Alpha-Step IQ探针扫描是双方向的，即可以从左向右，又可以从右向左。

Alpha-Step IQ为中国用户提供中文操作界面，配有官方（official）中文操作手册。

Alpha-Step IQ的软件是最友好的，功能最强大。

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