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磁控溅射系统

品牌:
产地: 美国
型号: NSC4000 NSC3000
样本: 下载
报价: 面议
产品介绍
仪器简介:
公司有多年半导体设备工艺和制造的经验,为客户提供稳定、高性价比的薄膜制备设备。
技术参数:
控制 PC(Lab View)
工艺腔直径 12x12钟罩、14x14x14金属腔
最大平台尺寸 8 、10
磁控管数量 3
最大磁控管直径 3
磁控板距离 8 、10
真空(Torr) E-6~E-7
平板冷却 25℃
最大加热温度 300℃、500℃、700℃
直流电压 1000V,1A
射频电源 300-600W 13.5MHZ
直流偏压 500V <100KHZ
射频偏压 300W 13.5MHZ
等离子清洗 300W 13.5MHZ
厚度控制 程序控制
主要特点:
另外还可以提供磁控溅射和热蒸发双系统。

详细信息请联系我们
工商信息

企业名称

仕嘉科技(北京)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108000485984

成立日期

1999-07-08

注册资本

200

经营范围

批发科学仪器及配件耗材(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);科学仪器的技术咨询;安装维修;技术支持;售后服务;科学仪器的研发。(该企业2007年7日11日前为内资企业,于2007年7月11日变更为外商投资企业;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)

联系方式
仕嘉科技(北京)有限公司为您提供磁控溅射系统NSC4000 NSC3000,nullNSC4000 NSC3000产地为美国,属于其他,除了磁控溅射系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其他,仕嘉科技客服电话,售前、售后均可联系。
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