分离式干涉镜的激光干涉仪系统在测量线性、角度、直线度方面的优点分析

2008-03-16 13:41

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资料摘要：

本文研究了各种测量模式，并且详细阐述了干涉测量的优点，即激光器装在独立的三角架上，干涉光学镜为分离安装。本文还重点介绍了环境补偿系统对线性测量精度的影响的重要性。本文阐述了使用分离式干涉光学镜的激光干涉仪系统的优点是保证测量精度。相反，带内置线性干涉镜的电子标靶系统的优点是便携性和使用便捷。然而，电子标靶系统容易带来大量的附加误差来源，这使得该类系统的精度受到置疑。因为基于激光的干涉校准系统的主要评价指标应是精度和其测量结果的可重复性，因此当我们将电子标靶系统和完全采用干涉测量技术的类同与雷尼绍XL80 激光干涉仪系统进行评估和比较时，必须要对上述问题加以认真考虑

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