Rigaku SE和Fraunhofer IISB科学家因开发新型SiC晶圆表征方法荣获Georg Waeber创新奖

Rigaku SE携手Fraunhofer IISB在德国埃尔兰根共同运营的X射线形貌技术专业中心创建了一种新型半导体材料表征方法，不仅成功开发了适用于工业领域的X射线形貌系统，而且采用缺陷检测和量化算法，实现了独特的碳化硅（SiC）材料表征方法。

日前，领导该开发工作的三位科学家——Fraunhofer IISB的Christian Kranert博士和Christian Reimann博士以及Rigaku Europe SE总裁Michael Hippler博士荣获微电子促进协会（Förderkreis für die Mikroelektronik e.V.）授予的2023年Georg Waeber创新奖。

Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科学家荣获2023年Georg Waeber创新奖

（Georg Waeber创新奖每年颁发一次，以表彰杰出的科学成就，着重强调微电子知识的进步及其在产业中的实际应用。2023年10月25日，Michael Hippler、Christian Reimann、Christian Kranert获得此奖项，该仪式于埃尔兰根Fraunhofer IISB举行。）

 2021年，Rigaku SE和Fraunhofer IISB在德国埃尔兰根建立了X射线形貌技术专业中心，旨在通过使用 Rigaku XRTmicron先进的X射线形貌设备帮助半导体行业改进和更好地了解晶圆质量和产量。在这里，该联合团队开发了一种无损、强大、可靠、高通量的新型检测方法，可以快速检测SiC衬底中所有相关的晶体缺陷。

 迄今为止，在制造SiC电子器件的早期阶段，特别是在衬底或晶体（通常称为“圆盘”）层面，还没有适用产业的计量方法。这项创新方法提供了一款采用缺陷检测和量化算法的X射线形貌系统，无需因为表征而对半导体衬底进行破坏性缺陷蚀刻和弃置。

Rigaku SE不到两年就成功建立了新业务，很好地体现出了这项创新的成功之处。现阶段，Rigaku SE总部位于日本，并已成为全球领先的供应商，其X射线形貌工具可用于制造SiC衬底及器件。微电子促进协会由工业公司、两家Fraunhofer研究所、埃尔朗根-纽伦堡大学的四位主席、纽伦堡工商会组成，其主要目标是促进科学与产业之间的顺利交流，Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科学家获得Georg Waeber创新奖更加印证了这一点。