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等离子体理论及其应用研究

2007-09-25 09:15

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资料摘要:

等离子体理论及其应用研究 1、等离子体化学理论 等离子体是高度电离的气体,它由电子、离子、原子及分子组成混合气体,整个体系的正负电荷相等而呈中性,具有与一般气体不相同的性质,其内电子、离子、甚至中性粒子一般都具有较高的能量,所进行的各种化学反应,都是在高激发态下进行的,完全不同于经典的化学反应。这样使等离子体内的原子或分子的本性通常都发生改变,如惰性气体也会变得化学活泼性很强,能生成XeF6和O2F2等。等离子体内部粒子的质量相差很大,各粒子的运动情况也会有明显的差别,由于它是高度电离的气体,不能发生普通反应,它能导电,但在磁场作用下的运动情况也与普通气体不同。所以它被列为除固体、液体、气体以外的第四种物态,称为等离子体,等离子体的英文名称是“Plasma”这是1927所朗缪尔(Langmir)在研究低压下汞蒸气放电现象时,给这样一种导电气体所起的名字。它源于希腊方Pllaso,原是“形成”之意。朗缪尔认为可以用这一名词代表由电子、离子和中性原子所共同形成的物质。根据气体解离程度的不同,等离子体又可分为高温等离子体(复合时可产生很高的温度,通常可达几万到几千万度)和低温等离子体(复合时可产生几百度到几万度温度)。低温等离子体又可分热等离子体(温度在几千度到几万度)和冷等离子体(温度一般在几百度)。地球上等离子体只能在实验条件下产生,气体放电是最常用的人工产生等离子体的方法,还可以用微波加热、激光加热、高能粒子轰击方法产生等离子体。例如氘气在温度高到105K时,就形成电子和氘核组成的等离子体,这时的气压可高达常压的1360倍。然而等离子体在自然界却是大量存在的,宇宙中绝大多数(或99%以上的物质,都是以等离子状态存在的)。恒星和星际空间的物质,绝大部分呈等离子状态,地球上的一些自然现象,如电离层,极光、闪电等都和等离子体有关,研究天体物理的许多问题如星系结构,恒星表面现象,太阳风等也都与等离子体有关。等离子体理论涉及到物理学、气体动力学、电磁学、化学等学科,现已成为一门新兴的交叉学科。 2、等离子体理论的应用 等离子体理论是一个新兴领域,各种人工产生的等离子体可用于等离子体切割(即以高温高速的等离子体弧为热源切割高熔点金属或非金属),等离子喷涂(利用等离子体的高温使金属熔化,然后以高速喷涂在器件上,形成牢固的薄膜),受控热核聚变反应(在高温下实行核聚变反应),聚合反应以及材料制备、化合物制备、科学实验等,现已被广泛应用于原子能、钢铁、冶金、半导体、陶瓷、塑料机械加工等方面,把这新理论用于化学反应,不仅能合成许多无机化合物和有机化合物,而且还能合成采用通常方法难以合成或不能合成的一些化合物(如氟化氙),显示了独特的优越性。等离子体化学反应与已实现工业化的一些高温化学反应、光化学反应、催化反应、放射或辐射化学反应相比具有较高的效率和良好的选择性。例如几乎所有的氧化物、硫化物及氯化物在热等离子体的高温条件下都会发生分解,象锆英石ZJSO4能分解成二氧化锆,是优异的耐火材料(熔点2973K),可用在陶瓷、搪瓷等的着色剂。流程短、耗电少、成本低、无三废。四氯化钛被氧化成二氧化钛,粉粒细、成本低、已取代传统工艺。在有机合成反应及有机聚合反应中,应用冷等离子体的电子温度高,体系温度低的特点,还可能引起环状化合物的环收缩、环扩大、环开裂、有机化合物中的原子或小集团的脱离(如H、CO、CO2等),本文仅就采用等离子体理论合成无机化合物、化学气相沉积、高分子材料变性及等离子体聚合反应作了研究。

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等离子清洗器是一种小型化、快速、非破坏性并无化学污染的台式射频气体放电超清洗设备,主要用于需要表面超清洗的许多领域中,它也被用于一些材料表面化学改性。等离子清洗器清洗介质采用惰性气体,有效避免了其它清洗方法使用液体清洗介质对被清洗物所带来的二次污染。 对某些特殊用途的材料,在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性,并使这些材料得到了消毒。等离子清洗器广泛应用于光学材料、半导体工业、生物芯片、生物医学、牙科、高分子科学等各个方面。 详细资料请见全文。

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