核心参数
产地类别: 进口
衬底尺寸: 50 – 200 mm /单片 最大可沉积直径150 mm基片,竖直放置,10-25片/批次(根据工艺) 156 mm x 156 mm 太阳能硅片 3D 复杂表面衬底(使用Showerhead喷洒淋浴模式效果更佳) 粉末与颗粒(配备扩散增强器) 多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
工艺温度: 50 – 500 °C, 可选更高温度(真空腔体外壁不用任何冷却方式即可保持温度低于60 °C)
前驱体数: 液态、固态、气态、臭氧源 4根独立源管线,最多加载6个前驱体源 对蒸汽压低的前驱体(1mbar~10mbar),用氮气等载气导入前驱体瓶内引出
重量: 350kg
尺寸(W x H x D): 取决于选件 最小146 cm x 146 cm x 84 cm 最大189 cm x 206 cm x 111 cm
均匀性: AI2O3 (batch)-0.13 %
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