核心参数
产地类别: 国产
响应时间: <180秒
其它参数
产品简介
高精度痕量气体分析仪(TGA-323)是一款专为半导体行业空气分子污染分析(AMC)测量氯化氢(HCl)而设计的专业仪器,采用光腔衰荡光谱技术(CRDS),具有超高的灵敏度,其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准,非常适合连续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层,可以有效的减小氯化氢(HCl)分子在管道壁上的吸附,加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计,能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱(CRDS)与离子迁移谱(IMS)和离子色谱传统技术相比,具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势,该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性,是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
产品特点
(1)ppt级别的灵敏度、精度以及准确度
(2)免标定,低漂移
(3)响应时间快
(4)连续监测
(5)无耗材成本
应用领域
半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测
灵析光电在线气体分析仪TGA-323的工作原理介绍
在线气体分析仪TGA-323的使用方法?
灵析光电TGA-323多少钱一台?
在线气体分析仪TGA-323可以检测什么?
在线气体分析仪TGA-323使用的注意事项?
灵析光电TGA-323的说明书有吗?
灵析光电在线气体分析仪TGA-323的操作规程有吗?
灵析光电在线气体分析仪TGA-323报价含票含运吗?
灵析光电TGA-323有现货吗?
更多
企业名称
聚光科技(杭州)股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他股份有限公司(上市)
信用代码
91330000734500338C
成立日期
2002-01-04
注册资本
肆亿肆仟捌佰柒拾叁万柒仟陆佰元
经营范围
光机电一体化产品和相关软件的研究、开发、生产(凭许可证经营)、安装;销售自产产品及相关的技术咨询和服务;仪器仪表、机械设备、汽车的销售;机械、电气、仪表、电信和控制系统设备的运营维护及检修服务,计算机软件开发、销售、技术服务及系统集成;计算机自动控制及监视系统设计与安装;环保工程、机电工程、电子工程、消防设施工程、市政工程、水利水务工程、节能工程的设计、施工,园林植物种植、销售,生态修复工程、园林绿化工程、园林景观工程的设计、施工,园林养护,环保产品开发和相关技术服务,企业管理咨询,建筑劳务服务,从事进出口业务。(以上范围不含国家法律法规禁止限制及许可经营的项目)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
聚光科技(杭州)股份有限公司
公司地址
杭州市滨江区滨安路760号
客服电话