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必达泰克：硅薄膜晶化率的拉曼检测分析

2017/11/08 20:15

阅读：207

应用领域：

半导体

发布时间：

2017/11/08

检测样品：

其他

检测项目：

晶化率的拉曼

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参考标准：

方案摘要：

利用必达泰克公司的i-Raman激光拉曼光谱仪来检测硅结晶过程中从非定型硅到多晶硅的晶化率，并获得了满意的效果

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