核心参数
仪器种类: 顺序扫描
产地类别: 进口
检出限: Cu:0.7ppb
重复性: RSD ≤0.5%
稳定性: RSD ≤1.0%
波长范围: 160nm-800nm
光学分辨率: 0.006nm(160-200nm)
GBCICP-AESQuantima/Integra的工作原理介绍
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解决方案|GBC Quantima 电感耦合等离子体发射光谱仪测定材料中的镓、铁、硫、钒、铜、钙、镁、铝、锌含量
电感耦合等离子体发射光谱法具有灵敏度高、检出限低、干扰、线性范围宽等优点,在冶金、环境、食品、农业等各行各业得到了广泛的应用。本文利用GBC Quantima 电感耦合等离子体发射光谱仪,建立了测定半导体生产工艺过程中溶液及材料中镓、铁、硫、钒、铜、钙、镁、铝、锌等元素含量的方法,供相关人员参考。
半导体
2022/12/23
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