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公司简介
资质荣誉
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核心参数
曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 100nm
光源: 光学积分器
光源波长: 340-450nm
光强均匀性: 圆形:±5%(标准型);±2.5%(高均匀型) 方形:±6%(标准型);±3.5%(高均匀型
曝光面积: 100-300mm
高准直紫外系统可以应用在微电子领域的光刻图形化过程,适合生产和科研应用领域。我们可提供从近紫外至深紫外波段的多种方案光源系统,最大支持12英寸面积(300mm)。
紫外光源系统使用了高性能的光学模组,包含:椭球反射器、热辐射过滤镜、多元件光学积分器和准直器系统。光学积分器的使用可以实现非相干光光照,大大降低由衍射效应引起的不利影响,使曝光系统能够在厚胶表面得到更精细结构。
光学曝光、光刻胶稳定化处理、图形反转、边胶修复、光固化。
高性能、高均匀性,光源系统
近、中、深紫外,不同波长光源可选
200W、350W、500W、1000W、2000W,不同功率可选
精确控制电功率或光强,高稳定性
曝光快门数字控制(0.1-999.9秒),最小控制精度0.1秒
高稳定性和免维护设计
光源辐照圆形或方形区域可选
非相干光消除衍射效应
Near UV系统
Deep UV系统
辐照面积
100-300mm
波长
340-450nm
220-260nm
240-275nm
254-325nm
功率
1000W,2000W,3500W
光强均匀性
圆形:±5%(标准型);±2.5%(高均匀型)
方形:±6%(标准型);±3.5%(高均匀型)
曝光控制
0.1-999.9 sec
企业名称
北京汇德信科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108000407037
成立日期
1999-05-07
注册资本
200
经营范围
科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118
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公司名称: 北京汇德信科技有限公司
公司地址: 北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118 联系人: 李先生 邮编: 100096 联系电话: 400-860-5168转0250
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