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核心参数
曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 0
光源: 激光
光源波长: 405 nm
光强均匀性: 0
曝光面积: 100μm×100μm
激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料(光刻胶)实施变剂量曝光,显影后在抗蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓。激光直写系统的基本工作原理是由计算机控制高精度激光束扫描,在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形,从而把设计图形直接转移到掩模上。
● 我们的系统利用激光与材料的非线性相互作用,成功突破了光学衍射极限的限制,实现了纳米尺度的加工分辨力,最小的孔洞直径可达50nm。
● 我们的系统针对的不仅仅是光刻胶,我们可接受多受体材料:通过高精度的功率调制,可兼容包括金属薄膜、无机相变材料、光刻胶等多种受体材料。
● 可靠易用性:拥有强大的软件功能,支持标量刻写、矢量刻写等多种刻写模式,供用户根据不同的刻写场景而选择。还支持样品刻写后的在线分析,使用户一站式完成设计、刻写、分析等步骤,大大提高了工作效率。
激光波长:405 nm
特征尺寸:100 nm
激光功率:120mW 至300 mW(可选)
刻写范围:100μm×100μm 至 1500μm×1500 μm(可选)
产品描述:LDW-P系列是专门为科研团队和加工平台设计的小范围多功能光刻系统,根据压电平台的移动范围,分为P100、P200、P500、P1000、P1500等不同型号,具有结构紧凑、操作方便、维护简单、加工分辨率高、支持多种受体材料等特征,能广泛适用于各种微纳结构及器件制造、材料工艺探素和小规模生产。该系列产品还可根据用户特殊需求,提供定制设计和制造。
刻写范围:50mm×50mm 至 100mm×100 mm(可选)
产品描述:LDW-L系列是一款大面积、高精度、可套刻、超衍射极限加工的激光直写系统,可用于晶圆尺寸的大面积微纳加工,适用于各种微纳结构和器件制造、小批量微纳器件生产等。该系列包括L50、L100等不同型号,具有功能强大、维护简单、加工分辨率高、支持多种刻写模式、支持多种受体材料等特征。另外,本系统在设计之初保留了充足的物理空间和硬件资源,以满足后续功能升级换代的需求,使产品具有更长的生命周期。
企业名称
北京汇德信科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108000407037
成立日期
1999-05-07
注册资本
200
经营范围
科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118
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公司名称: 北京汇德信科技有限公司
公司地址: 北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118 联系人: 李先生 邮编: 100096 联系电话: 400-860-5168转0250
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