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干式真空泵/多级罗茨真空泵

品牌： 樫山工业
产地： 日本
型号： KASHIYAMA
报价： ¥5万 - 10万

核心参数

仪器种类： 旋片泵

产品类型： 无油泵

产地类别： 进口

抽气速率： 1000L/min

最大真空度： 1Pa

外部尺寸： 210*250*410mm

重量： 25Kg

电机功率： 0

产品介绍

KASHIYAMA工业株式会社，成立于1946年，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。


KASHIYAMA工业的罗茨干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。


KASHIYAMA干式真空泵/多级罗茨真空泵可以轻松替代旋片/涡旋真空泵，其具有以下优势。


  •       ?  三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
           （注：只抽取空气与氮气的情况下 ）

  •      ? 设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

  •      ?  采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

  •      ?  采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。


KASHIYAMA干式真空泵/多级罗茨真空泵的应用领域包括半导体制造的苛刻工艺环境，刻蚀设备Metal-Etch，化学气相沉积镀膜设备,PECVD，LPCVD, MOCVD,ALD，真空镀膜、真空退火炉，真空等离子处理，扫描电镜、质谱仪、加速器等。


KASHIYAMA真空泵分为：

  •      NeoDry系列真空泵

  •      MU-P/H系列真空泵

  •      MU-X系列真空泵

  •      SDE-TX系列真空泵

  •      SDE-X系列真空泵

  •      SDE系列真空泵

  •      SDL系列真空泵


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 是
现场技术咨询： 无
免费培训： 无
免费仪器保养： 无
保内维修承诺： 无
报修承诺： 无
工商信息

企业名称

北京汇德信科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108000407037

成立日期

1999-05-07

注册资本

200

经营范围

科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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公司地址

北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118

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电子束曝光机 红外测温仪

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