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单离子注入(SII)
核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
定位检测噪声： 针尖悬臂上的小孔小于50nm
样品尺寸： 扫描探针悬臂梁，扫描针尖及紧邻的小孔（50nm）
样品台移动范围： 针尖悬臂上的小孔小于50nm
Nano analytik公司成立于2010年4月，技术源自德国伊尔梅瑙科技大学，公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术，公司宗旨是让纳米分析技术简单化，在保证科研严谨性的同时提高科研效率。
Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针显微镜针尖的离子注入系统。该系统利用探针悬臂上紧邻针尖的小孔（小于 50nm）并结合扫描探针的精确定位，完成具有高度空间分辨率的单离子注入。应用此项技术可以制备纳米尺度的功能器件，例如可用于量子计算机的单电子晶体管。
单离子注入(SII)
技术特点：
精确定位定量离子注入
针尖悬臂上的小孔小于50nm
锥形电场稀释和准直离子束
横向电场形成离子闸门
应用领域：
功能材料定位掺杂
纳米尺度器件制备
固态量子计算机
工作原理示意图（纳米漏斗）
氮离子注入金刚石色心
场效应器件验证离子注入
扫描探针悬臂梁，扫描针尖及紧邻的小孔（50nm）
区域定位单离子注入 V.S. 随机掺杂
1.8nm单电子晶体管
2017年4月 欧盟科研项目
室温量子效应（库伦阻塞）
北京汇德信科技有限公司
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