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核心参数
产地类别: 进口
产品简介:
锇等离子镀膜机 (OPC) 是一种基于直流辉光放电的等离子镀膜设备。OPC 采用了全新的四氧化锇气体 PCVD方式获得锇膜。不同于传统的溅射和蒸镀,OPC 很好地解决了薄膜的颗粒及热损伤问题。
OPC 可以实现自动化操作,用于给 SEM、FE-SEM 样品镀导电薄膜或是给 TEM 样品镀支持膜。镀膜厚度从几纳米到几百纳米,甚至是 1 纳米以下的超薄膜。
OPC60A 标准型
可自动生长锇膜
阴极样品台尺寸:直径 60mm,以下任选其一:兼容直径 10mmSEM 样品托,7 孔位兼容直径 15mmSEM 样品托,4 孔位兼容直径 36mmSEM 样品托,1 孔位
OPC80T 高配型
可自动生长锇膜和萘膜
可同时容纳 2 个直径 10mm 的 SEM 样品托,2 个直径 15mm 的 样品托,以及 1 个直径 32mm 的样品托
锇存储器
锇存储器带观察窗,可确定锇的剩余量。
存储器可单独取下并密封(冷冻保存),可保存较长时间,安全性很高。
应用:
SEM、FE-SEM 样品镀导电膜
TEM(FIB)样品镀保护膜
AFM 样品镀保护膜
STM 样品镀保护膜以及导电膜
TEM 样品镀支持膜
产品特点:
设备性能
自动化控制,镀膜时只需设定薄膜厚度,镀膜过程自动完成
锇存储器可拆卸:具有密封式结构,可冷冻保存
镀膜时间短:只需几秒钟膜厚就可以达到纳米级
装有互锁回路:一但 OsO4 气体进入腔体,真空不达标,腔体就无法打开
锇导电薄膜性能
无颗粒:用 OPC 镀的锇导电金属膜是完全无定形的
锇膜均匀性极高
无热损伤:相比于热蒸镀和离子溅射,OPC 对样品没有热损伤
无电子损伤:锇膜硬度高、熔点高,不会因强电子束流受损伤
无污染:样品在阴极,表面只有锇阳离子,可以保证无污染
等离子体聚合萘膜性能
坚韧性:薄膜具有坚韧性,可承受 FIB 中的镓离子
抗热性
绝缘性
无颗粒
高均匀性
无热损伤
无电子损伤
产品参数:
型号
OPC80T
OPC60A
反应腔
钢化玻璃腔体: 160mm(OD)x105mm(H)
钢化玻璃腔体: 120mm(OD)x73mm(H)
镀膜厚度
几纳米到几十纳米
兼容SEM样品托
可同时容纳2个直径10mm,2个直径15mm,以及1个直径32mm的SEM样品托
可容纳7个直径10mm,或4个直径15mm,或1个直径32mm的SEM样品托
镀膜种类
锇(OsO4)
萘(C10H8)
带观察窗,可拆卸,可密封、冷冻保存
萘存储器
可拆卸, 带观察窗
—
气体导入
OsO4安瓿瓶在OsO4存储器中被打开,OsO4升华之后进入反应腔体。
C10H8保存在C10H8存储器中,升华之后进入反应腔体.
电源
AC100V 2A 200W(50/60Hz)
外部尺寸
450(w)x410(D)x390(H)mm
450(w)x350(D)x330(H)mm
重量
约30kg
约20kg
企业名称
北京汇德信科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108000407037
成立日期
1999-05-07
注册资本
200
经营范围
科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118
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锇等离子镀膜机 (OPC)
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公司名称: 北京汇德信科技有限公司
公司地址: 北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118 联系人: 李先生 邮编: 100096 联系电话: 400-860-5168转0250
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