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Raith的ionLINE (TM)系统是将聚焦离子束和光刻系统完美结合的纳米加工系统。
它结合了不同的聚焦离子束技术,稳定性高,全自动控制,分辨率高,重复性高。
ionLINE 有着Raith研发的NanoFIB-TWO纳米加工离子枪,以及从Raith电子束曝光机系统里移植过来经过时间考验的激光干涉工作台和专业的曝光软件。
离子束曝光系统用很多方法手段,以不同的工艺步骤完善了纳米加工工艺:离子束曝光系统不再局限于基于光刻胶的曝光,更多地使用直接的图型化技术,如Milling、刻蚀或沉积,以及直接掩模包括硬掩模,注入或功能化。
ionLiNE真正的离子束光刻机
高精密和稳定的100mm激光干涉工作台,非破坏性的导航和大面积图型化
专利技术的NanoFIB-TWO离子枪,分辨率高,束斑非常有特点(束拖尾很小),精确的束偏转
久经考验的曝光控制软件,可精确控制离子束
ionLiNE发展高效的工艺
用直接研磨或样品功能化来减少纳米加工工艺的步骤
快速工艺开发,用实时工艺监测和三维载片台在线检查和优化工艺
可实现有挑战性的材料和先进的原型设计的工艺
高稳定性使真正器件的全自动批量加工工艺成为可能
适用各类技术改成——灵活的技术手段
FLEXposure图型化模式:提供了非常适宜的离子束技术和图型化策略
专业的设计和剂量控制支持二维薄层图型化或三维纳米加工
无需光刻胶直接图型化的能力可适用于三维/不平整样片或悬浮样片上的各种应用需求
ionLiNE除了可配备标准部件,如进料室、光学探测器、实时工艺监测和三维载片台外,还可增加额外的功能:
五通道或单通道气体注入系统,适用材料种类多,可实现定位沉积和气体辅助刻蚀
笛卡尔纳米操纵,可用于机械操纵,电学探针或信号测量
自动高度传感器,可实现大面积聚焦控制
固定束移动工作台FBMS和调制束移动工作台MBMS曝光模式,无拼接误差地处理长路径图形和周期性图型。
更多信息,请查看公司网站:
企业名称
北京汇德信科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108000407037
成立日期
1999-05-07
注册资本
200
经营范围
科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118
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公司名称: 北京汇德信科技有限公司
公司地址: 北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118 联系人: 李先生 邮编: 100096 联系电话: 400-860-5168转0250
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