仪器信息网讯 2月26日，苏州高新区举办2022年重大项目推进会，深入贯彻市委、市政府关于统筹疫情防控与经济社会平稳有序运行的工作部署，全力以赴推动总投资358亿元的36个重大项目启动建设。高新区党工委书记毛伟出席会议并讲话，高新区党工委副书记、虎丘区区长宋长宝主持会议，区领导陆振华、高晓东、朱奚红、虞美华、周晓春、卢潮、吴旭翔及区各相关部门、各板块、各区属国有企业负责人，中建国际、中科科仪、百胜动力、君康医疗等开工企业代表参加活动。从规模看，项目平均投资额为近10亿元，超10亿元项目16个，整体投资规模大、项目质量高、带动能力强。从结构看，产业项目30个，总投资328.3亿元，占比超90%，包括中国建筑、天准科技、兆威机电、宝莱特等7家上市公司投资的产业项目。中科科仪高端仪器装备项目其中，中科科仪高端仪器装备项目一期总投资5亿元，占地面积50亩，建筑面积6.8万平方米，建设期2年，将全力打造“高端规模产业化基地”，加速推动磁悬浮分子泵等科技成果规模产业化，助力我国前沿科学研究和高端装备制造产业发展。规划年产10000台一体磁悬浮分子泵、150台扫描电镜、100台检漏充回设备以及500台检漏仪等，达产后预计年销售收入达7亿元。未来，该项目将形成“基础研究-应用开发-产业发展”的完整产业链。据介绍，苏州中科科仪技术发展有限公司专注于电子光学和真空技术，相关研发成果代表中国高端电子光学仪器和真空行业最高水平。

光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此，能生产高端光刻机的厂商非常少，到最先进的EUV光刻机就只剩下ASML。据ASML之前公布资料显示，ASML 是全世界唯一一家使用极紫外EUV光源的光刻机制造商。EUV光源波长只有13.5 nm（接近X射线水平），远大于DUV光刻机的193nm，目前用于台积电最先进的5 nm生产线。相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸，处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的最先进的SSA600/20型号前道光刻机采用了ArF准分子光源，即深紫外DUV光刻机，光刻分辨率只有90 nm。有消息称上海微电子即将于2021年，也就是几个月之后会交付首台国产的分辨率达28 nm的光刻机，目前国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。随着贸易战的愈演愈烈，美国对华为的打压也蔓延到了半导体领域，国内先进光刻机采购遭遇重大阻力。同时由于《瓦森纳协定》的限制，即使突破了技术，能够制造先进光刻机，其核心零部件的进口也可能会受到限制。针对于此，去年中科院院长白春礼接受采访时表示：“未来中科院将集结全院之力攻克光刻机、关键材料等重点技术，帮助国内科技企业摆脱被西方国家卡脖子的命运。”实际上此前我国已经对光刻机的零部件进行了大量的技术公关，去年小编也盘点了02专项中光刻机核心零部件研发进展【国产光刻机及关键核心零部件研发进展 】。而最近国内再次取得了新的技术进步，小编特对其进行盘点。中科院物理研究院国内第一台高能同步辐射光源设备问世6 月 28 日上午，由国家发展改革委立项支持、中国科学院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源（HEPS）完成了加速器设备电子枪的安装，这是 HEPS 首台安装的科研设备，是加速电子产生的源头。为 HEPS 提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台（PAPS）同期转入试运行，超导高频及低温、精密磁铁测量、X 射线光学检测等设备开机运转。接近光速运动着的电子或正电子在改变运动方向时放出的电磁波叫做辐射波，因为这一现象是在同步加速器上发现的，所以称为同步辐射。这种电子的自发辐射，强度高、覆盖的频谱范围广，可以任意选择所需要的波长且连续可调，因此成为一种科学研究的新光源。高能同步辐射光源将成为中国首个第四代同步加速器光源，它也将成为世界上仅有的几个此类装置之一。它将使用更先进的，被称为 “多弯消色差透镜” 的磁铁阵列，从而获得亮度更大的光束。同步辐射有可能被用作强X射线源和精细可调谐X射线源，进而用于衍射、光谱、成像以及其他用途,未来也可能用于光刻EUV光源的产生。国内首台光镜镀膜设备投用中科科仪旗下的中科科美也传来佳讯，其研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置于2021年6月28日正式投入使用。据了解，中科科仪推出的镜镀膜装置可满足大多数物理镜头对膜层制备的工艺需求。诸如聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜以及用于EUV光刻机当中的光镜头。与DUV不同，EUV用的是13.5nm的光波长，无法透过目前用的透镜材料，因此EUV系统为全反射。包括EUV的光罩（掩模）也是用反射结构。由于EUV光刻镜头是面向更高制程、更多数量的硅基晶体管芯片，EUV光刻机对镜头镜面光洁度的要求极高，即镜面光洁度不得超过50皮米。中科科仪投用的真空镀膜设备能够将膜厚精度控制在0.1纳米（100皮米）以内，实现高精度纳米量级万层镀膜工艺，适用于光刻机镜头的制备，一定程度上能够降低国产设备厂商在光刻镜头项目中面临的压力，加速国产半导体厂商在光刻镜头项目中的进展。上海微系统所实现片上亚纳米量级的超灵敏位移传感近日，中国科学院上海微系统所信息功能与材料国家重点实验室硅光子课题组研究员武爱民团队、深圳大学教授袁小聪、杜路平团队及英国伦敦国王学院教授Anatoly V. Zayats课题组合作，在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输特性实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。光学手段为精密位移测量提供了非接触的方案，可实现高灵敏度、高分辨率的位移检测，在纳米尺度位移传感、半导体技术及量子技术等领域具有重要应用。EUV光刻机由于光刻制程先进，其对对准精度的要求也非常高，而该工作利用纳米尺度的狭缝实现了布洛赫表面波的非对称传输，通过连续改变光与狭缝的相对位置，在实验上实现了对于位移的精确测量，灵敏度可达0.12 nm⁻¹，分辨率和量程达到8 nm和300 nm。该研究为纳米测量及超分辨显微提供了新的物理原理，并为超灵敏的位移测量提供了精巧的微型化方案。华卓精科双工件台可用于65nm以下制程此前，由北京华卓精科科技股份有限公司和清华大学联合研发的首台国产干式光刻机双工件台产品完成测试，移机交付整机单位进入光刻机联合调试阶段。工件台是光刻机产品平台的核心主体，搭载不同曝光光学系统和光源可形成全系列光刻机。华卓精科官网显示，其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。华卓精科作为我国在该领域的杰出代表企业，目前与清华大学的专业团队进行合作，共同研制出的双工件台，其技术水准完全可以与阿斯麦相提并论，实力不相上下，据了解，上海微电子制造的28nm光刻机，其中利用的就是华卓精科的双工件台。该双工件台的精度可以达到1.7nm，主要被应用在65nm以下的芯片制程，它的出现预示着我国在该领域技术的进步、打破西方国家的封锁，实现自主化生产。据业内媒体消息披露，上海微电子将于2022年前交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机。这意味着我国的先进光刻机已经实现了技术突破，但可以实现更高制程的EUV光刻机仍然任重而道远。而光刻机零部件的不断突破，为国产替代再填助力。“我们从古以来，就有埋头苦干的人，有拼命硬干的人，有为民请命的人，有舍身求法的人，……虽是等于为帝王将相作家谱的所谓"正史"，也往往掩不住他们的光耀，这就是中国的脊梁……”伴随着科研人员的“负重前行”，相信不久的将来必能继续传出好消息，完成半导体设备的拼图。扫描下方二维码，加入半导体行业交流群

在庆祝中国共产党百年华诞之际，由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源（HEPS）首台科研设备于6月28日上午安装，为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台（PAPS）启动试运行。其中，中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中，中科科美突破了多项先进制造技术：精密加工制造技术，实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标；大型真空系统超高真空获得技术，实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa；高精度直线运动控制技术，实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内；复杂镀膜工艺技术，实现高精度纳米量级万层镀膜工艺，膜厚精度控制在0.1纳米以内。经相关主管部门和院所专家委员会现场测试，高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平，填补了该领域内多项国内技术空白。直线式劳埃透镜镀制装置HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一，该项目于2019年6月29日开工建设，建设周期6.5年。建成时，HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一，为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中，为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。

      2021年5月26日，第十六届国际真空展在北京国家会议中心盛大开幕，本次大会由中国真空学会与中国通用机械真空设备行业协会共同举办，中国真空学会副理事长、北京中科科仪董事长张永明应邀出席了开幕式。     国际真空展是真空行业最具权威性和影响力的盛会，是洞悉真空行业技术发展和市场动态的最佳平台。作为中国尖端科学仪器设备和真空行业领导者，中科科仪联合控股公司中科科美和成都唯实重装登场，展出了代表中国分子泵最高技术水平的首台套产品——磁悬浮分子泵，以及仪器分子泵、大抽速涡轮分子泵、高灵敏氦质谱检漏仪、旋片泵、真空阀门等众多真空技术核心产品，和真空应用整体解决方案，受到了中国真空学会党委书记邓少芝、中国通用机械工业协会副会长张宗列等专家领导的一致肯定，并吸引了众多真空专业人士、客户和观众到展台参观交流。     在本次展会中，中科科仪充分发挥行业领军者作用，与业内人士分享最新的技术创新成果和产品应用前沿资讯。在展会学术论坛及技术交流会环节，中科科仪受邀做《磁悬浮分子泵在半导体行业的应用》和《5G产业链及真空应用》报告，讲述分子泵最新技术及在半导体、5G产业链等战略新兴产业的应用新趋势，分享真空行业对接国家“十四五”发展规划的探索与方向，为每一位与会者奉献了丰富的学术盛宴。     此外，中科科仪在展台首次采用新媒体在线直播互动形式，与广大线上及现场观众分享《分子泵及氦质谱检漏仪新品发布》、《分子泵真空行业应用》、《空间环境模拟设备及研制技术》、《真空配套产品及其应用》等技术创新与真空应用解决方案，通过生动有趣、深入浅出的讲解和互动问答抽奖环节让大家对真空技术有了更深的认识和理解，线上线下观众反响热烈。     通过本次展会，中科科仪见到了老朋友、结识了新朋友，在相互交流中分享了技术与知识、市场与应用，共同见证了真空行业的蓬勃发展。      未来，中科科仪将继续发挥真空行业领军者作用，紧抓战略发展机遇，加大核心技术攻关，聚力重大科技成果转化，培育壮大新兴产业，带领我国真空技术不断向前发展，推动国产真空产品在半导体等高端装备制造领域不断应用，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献！

2021年4月21日至23日，第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）在无锡举办。ACCSI定位为科学仪器行业高级别产业峰会，被业界誉为科学仪器行业的“达沃斯”论坛。中科科仪作为国内尖端科学仪器行业领军企业，受邀参加了本次年会，并在首届中国电镜产业化发展论坛中分享了中国电镜产业化历程。会上，中科科仪电镜事业部总经理孟祥良系统介绍了中科科仪电镜产业化历程。根据1963年我国《十年科技规划》要求，中科科仪（原中国科学院科学仪器厂）承接了试制高分辨率电子显微镜任务，在国家“自力更生、迎头赶上”的方针指导下，联合长春光机所等全国电镜领域的专家，于1965年研制成功我国第一台DX-2型透视电镜。从此，中科科仪在电子显微镜领域走上了长足的发展道路，分别于1975年研制成功我国第一台DX-3型扫描电镜且分辨率达到10nm、1985年研制成功KYKY-1000B扫描电镜分辨率达到6nm、1994年研制成功KYKY-2800B扫描电镜分辨率达到4.5nm、2010年研制成功KYKY-EM3900M型扫描电镜分辨率达到3nm，直至2014年研制成功我国首台场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100型扫描电镜分辨率达到1nm。中科科仪作为我国唯一一家坚持在电子显微镜领域持续耕耘50余年的企业，经历、见证了我国电子显微镜的发展历程，并始终代表着我国扫描电子显微镜技术发展的最高水平。（KYKY-EM8100场发射枪扫描电子显微镜）扫描电子显微镜作为一种高端电子光学仪器，被广泛应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业制造，是科技日报列出的35项“卡脖子”关键技术之一。中科科仪场发射枪扫描电子显微镜的研制成功，打破了国外的技术垄断，填补了国内空白，使得我国成为继美国、德国、日本和捷克之外第五个掌握该项技术的国家，为我国前沿科学研究和战略新兴产业高端装备的自主可控提供了重要支撑。

3月17日， 一年一度的SEMICON China国际半导体展在上海新国际博览中心盛大开幕。北京中科科仪股份有限公司作为集成电路装备核心零部件领先供应商携多款产品参加了本次展会，向业内专家和广大客户展示了半导体设备国产化解决方案。01芯片制程关键工艺装备核心零部件——磁悬浮分子泵作为国内真空行业的领军者，中科科仪承担了国家科技部重大科学设备开发专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项中“磁浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，经过技术攻关，2011年成功开发出我国第一台磁悬浮分子泵。目前，北京中科科仪股份有限公司磁悬浮分子泵经过技术迭代，产品稳定性、可靠性得到了大幅提升，已在高端镀膜、第三代半导体材料制备领域实现了批量销售，并在芯片制造核心工艺如刻蚀、离子注入设备中实现了长期无故障运行，为我国集成电路装备核心零部件国产化提供了有效解决方案。02芯片量测及缺陷检测设备——场发射枪扫描电子显微镜作为国内尖端科学仪器领军者，中科科仪自1975年开发出我国第一台电子扫描显微镜开始，累计在电子光学领域耕耘了四十多年，开发出多款扫描电子显微镜，是国内唯一一家规模产业化研制销售扫描电子显微镜的供应商，积累了深厚的技术功底和广泛的客户群体。中科科仪最新推出的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，达到国际一流技术水平，具有完成自主知识产权。场发射枪扫描电子显微镜的推出，打破了国外技术垄断，解决了我国半导体等高端装备制造领域检测设备依赖进口的“卡脖子”问题，在芯片量测、缺陷检测、工艺研究等方面有着广泛的应用。本次SEMICON China国际半导体展近1100家展商参加，覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料供应商等全产业链，并组织了先进材料、先进制造、先进封装等多个技术论坛，是全球规模最大的半导体盛会，为国内外同行搭建了探讨前沿技术和行业发展趋势的交流平台，为中国半导体产业的持续健康发展做出了不可或缺的贡献。而中科科仪作为半导体设备供应商也凭借着自身多年来在真空和电子光学领域的技术积淀，以国家队、国家人的使命担当，以攻坚克难、敢为人先的气魄，不断突破关键核心技术，为我国科技自立自强做出应有的贡献！

近日，中科科仪通过网络直播方式发布了ZQJ-2300系列新品氦质谱检漏仪。该系列检漏仪共计三款，其中台式ZQJ-2300检漏仪适用于实验室检漏，车式ZQJ-2300检漏仪适用于工业检漏，ZQJ-2300K检漏仪适用于生产线快节拍检漏。此三款检漏仪汇聚了众多关键创新技术，最大程度提高了可靠性、智能性与便捷性，可为您生产活动保驾护航。一流配置  铸造卓越品质ZQJ-2300氦质谱检漏仪拥有国际一流品质的真空部件配置，包括中科科仪自主研发的前级耐压可达1000Pa检漏仪专用分子泵，德国进口皮拉尼与电磁阀。在检漏仪的“心脏”质谱室中，采用新型氧化钇灯丝，可保证10万次检漏性能依然稳定，有效延长了检漏无故障周期。ZQJ-2300检漏仪具有自动、手动两种校准模式，提供精检、粗检、吸枪三种工作模式，同时具有真空保护功能与防污染设计，是集一流硬件配置与强大软件设计相结合的旗舰检漏仪产品。 智能设计  简约而不简单ZQJ-2300氦质谱检漏仪拥有优良的人机交互界面，在直观的数码管显示基础上，通过丰富的液晶屏菜单进行校准、调零、报废点、防污染等参数设置，操作简易。该款检漏仪还拥有创新的时钟功能，可记录关键零部件如分子泵、机械泵、灯丝等的使用时间，既方便查看，又便于及时对检漏仪关键部件进行维护保养。此外，ZQJ-2300检漏仪也可以记录每一次运行的间隔时间，并自动调整仪器的启动时间，以便获得最佳的运行状态。系统可为操作人员、工艺工程师和维护人员配置不同的安全级别，方便仪器的使用和维护。台式ZQJ-2300检漏仪采用简约的集成化工业设计，体积仅为500×354×397mm，重量仅为39.5kg，可方便放入家用汽车后备箱，便于客户携带外出检漏。同时，该款检漏仪可搭配小车，配置大抽速前级泵及旁抽泵，或配置无油干泵，可广泛应用于各种工业检漏领域。 强大清氦能力  专为产线设计ZQJ-2300K快节拍检漏仪是一款针对电子元器件、锂电池生产线等对检漏节拍要求较高领域的专用型检漏仪。这款检漏仪采用独特的双分子泵气路设计和优异的软件控制系统，使得检漏口对氦气抽速达到3.5L/s，可快速清除工件本底。该指标明显高于国际主流品牌，经测试，在同等条件下检漏节拍提升30%，大大缩短检测时间，提高了整体产线的工作效率。中科科仪具有近50年的真空检漏技术经验，相继推出ZQJ-230系列、ZQJ-530系列、ZQJ-2000系列、ZQJ-3000系列、ZQJ-2300系列等多种型号检漏仪，为航空航天、电力电子、空调制冷、半导体生产等诸多领域提供了先进的检漏解决方案，满足各领域客户的不同需求。

新型冠状病毒疫情出现以来，大家的防疫意识普遍增强。尤其是口罩，成了出行防护的标配。看着与日俱增的新增病例，盘算着自己手中不多的口罩，面对着口罩购买的囧境，小编也不禁一声叹息。很多读者都在问：经过日常消毒的口罩，还能重复使用吗？小编这就带你一起寻找答案！口罩是如何阻隔病毒的？不管是普通医用口罩、医用外科口罩还是医用防护口罩，之所以能够有效的阻隔病毒，关键在于口罩中的一种关键材料：熔喷无纺布。 熔喷无纺布是一种超细纤维无纺布，纤维细度为0.5～1.0um，这种纤维材料带有持久的静电，可依靠静电效应捕集微细尘埃，具有高过滤效率和低过滤阻力的优点，不仅对0.005～1mm的固体尘粒有很好的过滤效果，还对大气中的气溶胶、细菌、香烟烟雾、各种花粉等均有很好的阻截效果。Question那么问题来了：日常的家庭消毒方法，如酒精浸泡和沸水高温消毒法，会对熔喷无纺布的纤维结构造成破坏或使其溶解吗？小编依次进行了实验，并通过KYKY场发射枪扫描电镜对结果进行了观测，我们一起来看看吧！科学实验我们选用了N95医用防护口罩（左一）、普通医用口罩（左二）和3M颗粒物防护口罩（右一）作为本次实验样品。从过滤效果看：N95医用防护口罩＞3M颗粒物防护口罩＞普通医用口罩。对照组：使用KYKY场发射枪扫描电镜观测三种口罩的熔喷无纺布过滤层，样品未经过任何处理。组图1：放大倍数为200倍时，对照组的过滤层纤维结构图实验组1：对三种口罩进行酒精浸泡一小时，晾干后取出过滤层，使用KYKY场发射枪扫描电镜进行观测；实验组2：对三种口罩进行沸水煮10分钟，晾干后取出过滤层，使用KYKY场发射枪扫描电镜进行观测。观测结果对比图如下。N95医用防护口罩：组图2：实验组N95医用口罩的过滤层纤维结构图普通医用口罩：组图3：实验组普通医用口罩的过滤层纤维结构图3M颗粒物防护口罩：组图4：实验组3M颗粒物防护口罩的过滤层纤维结构图实验结论通过以上的电镜图片我们可以看到，熔喷无纺布的纤维虽然非常细，但并不是那么脆弱，即使用酒精浸泡1小时，或是用沸水煮10分钟，仍然能保持原有结构，纤维也没有出现断裂、变形或被腐蚀的现象。那么有读者肯定会问：口罩过滤不是靠静电吸附吗？喷洒酒精使静电中和，口罩不就失效了吗？科普时间到：首先，静电中和并不代表口罩失效，因为口罩的过滤原理是靠静电吸附、重力沉积、惯性沉积、扩散沉积效应和直接捕获这五种方式共同作用来实现的。静电吸附对1um以内的颗粒或气溶胶有很好的过滤效果，而1um以上的过滤主要靠其他机理。所以，即使静电被中和了，你的口罩也不会完全失效！在这里小编要给大家划重点了！虽然日常消毒方法不会破坏口罩过滤层的纤维结构，但并不能证明口罩的病毒过滤能力没有下降。在口罩数量不足的情况下，可以适当消毒，少次数的重复利用。但如果你身处疫区，或是周围人群已经明确存在感染者，那么一定不要吝惜口罩！口罩小贴士最后给大家分享一个鉴别普通医用一次性口罩真伪的小tips：大家如果对买到的医用一次性口罩真伪有疑虑，可以将中间的过滤层撕下来，用打火机点火测试。如果过滤层不易点着，恭喜你口罩是真的；如果过滤层很容易就点着了，那你买到的就是用普通纸材料替代熔喷无纺布的假口罩。希望这篇文章可以帮到各位读者朋友们。大家一定要注意防护，做好隔离。等到春暖花开时，大家再相见！【中科科仪供稿】

  国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目顺利通过科技部验收12月6日，由北京中科科仪股份有限公司承担的国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目技术综合验收会在北京外国专家大厦召开，科技部专家组成员、项目牵头单位、合作和应用单位代表参加了本次会议。会上，验收专家组现场听取了中科科仪项目负责人张永明所做的完成情况汇报，观看了项目视频，听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员对项目完成情况给予高度评价，一致建议通过验收。中科科仪多年来一直致力于电子显微镜产品的研制开发与技术升级，1975年中科科仪研制成功的我国第一台dx-3型扫描电子显微镜分辨率达到10nm；1985年与美国amary公司合作开发的kyky-1000b扫描电子显微镜分辨率达到6nm；直至今天kyky-em8100型场发射枪扫描电子显微镜分辨率达到了1nm。此次参与验收的场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑，提升高端科学仪器研制水平，促进精密制造业发展，满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率指标分别达到和优于3nm@1kv和1nm@30kv，达到国际一流水平，极大促进了我国电子光学仪器产业的发展，使我国扫描电镜实现台阶式飞越，有效解决当前“卡脖子”问题，打破了国外产品垄断局面，促进国家、民族工业发展。极大推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平。                                   

　　仪器信息网讯 2019年12月6日，由北京中科科仪股份有限公司承担的国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目技术综合验收会在北京外国专家大厦召开，科技部专家组成员、项目牵头单位、合作和应用单位代表参加了本次会议。　　会上，验收专家组现场听取了中科科仪项目完成情况汇报，观看了项目视频，听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员对项目完成情况给予高度评价，一致建议通过验收。　　场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑，提升高端科学仪器研制水平，促进精密制造业发展，满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV，达到国际一流水平，极大促进了我国电子光学仪器产业的发展，使我国扫描电镜实现台阶式飞越，有效解决当前“卡脖子”问题，打破了国外产品垄断局面，促进国家、民族工业发展。极大推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平。

近日，仪器信息网公布了中国科学仪器市场“仪器创新活力指数”TOP30排行榜，中科科仪入选榜单。“仪器创新活力指数” 汇总了2008年以来1162家企业所发布的6585台仪器新产品统计记录，并结合仪器信息网中国科学仪器行业年度“优秀新产品”和“绿色仪器”评选结果编制而成。本文对中科科仪的创新活力情况进行条分缕析，用仪器信息网大数据，带您领略中科科仪的创新“硬核”。中国科学仪器行业“优秀新产品”评选活动由仪器信息网发起，旨在将在中国仪器市场上推出的、创新性比较突出的国内外仪器产品全面、公正、客观的展现给广大的国内用户。评选活动自2006年启动以来，已经成功举办了十三届。根据仪器信息网历史大数据分析，截至目前，中科科仪共在仪器信息网“新品首发栏目”发布新品6台，其中有3台进入当年“科学仪器优秀新产品”入围名单，3台成功入选“科学仪器优秀新产品”名单。——新品介绍中科科仪申报2018年“新品首发”栏目产品名录 产品名称所属分类上市时间KYKY ZQJ-2300氦质谱检漏仪质谱2018年5月中科科仪入围2015-2017年“科学仪器优秀新产品”仪器名录产品名称所属分类上市时间KYKY-EM8100F FEG SEM 热场发射扫描电镜（入选）电子显微镜2017年12月KYKY-EM8000F场发射枪扫描电子显微镜（入选）电子显微镜2015年1月★KYKY-EM8100F FEG SEM 热场发射扫描电镜：                                    KYKY-EM8100F FEG SEM热场发射扫描电镜采用Schottky肖特基场发射电子枪，亮度高，单色性好，电子束斑小，寿命长，实现了国产低压模式参数的突破。KYKY-EM8100F的电子束加速镜筒，束流稳定度高，色散小，适宜于长时间的各种精确分析；低加速电压不导电样品可以直接观测，无需喷金。仪器操作简便，配有轨迹球操作台，亦可使用鼠标完成所有的电镜操作并配有大行程样品台，电子束曝光，选配冷冻台，拉伸台，纳米操作手，兼容大部分国产或者进口配件。★KYKY-EM8000F场发射枪扫描电子显微镜：KYKY-EM8000F场发射枪扫描电子显微镜采用Schottky肖特基场发射电子枪，亮度高，单色性好，电子束斑小，寿命长，在低加速电压下能保持较好的亮度和较高的分辨率。KYKY-EM8100F束流稳定度高，色散小，适宜于长时间的各种精确分析；低加速电压不导电样品可以直接观测，无需喷金。仪器操作简便，仅使用鼠标即可完成所有的电镜操作。 ——企业简介：北京中科科仪股份有限公司前身为中国科学院北京科学仪器研制中心（原中国科学院科学仪器厂），始建于1958年，是中国科学院第一家由事业单位整体转改制企业。50余年的发展历程中中科科仪在电子光学、离子光学、真空物理等技术工程领域承担过多项重要科研及支撑公关项目，多次荣获国家、科学院等相关部门奖励，成功研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台氦质谱检漏仪等。中科科仪产品主要有：系列分子泵、离子泵等高真空获得产品；系列氦质谱检漏仪等真空检测产品；超高真空环境模拟设备、镀膜生产线等真空应用设备；扫描电子显微镜等分析仪器。（注：中国科学仪器市场“仪器创新活力指数”TOP30排行榜其他入选企业及完整榜单详情将于近期在仪器信息网新品首发栏目陆续公布，敬请期待！）

    8月17日至19日，2018年中国真空学会学术年会在长春隆重召开，年会由中国真空学会主办，东北师范大学承办。    本届学术年会旨在加强真空科学与技术研究成果的普及和应用，为中国真空科学学术交流提供平台，促进真空科学与技术人才的成长。    中科科仪作为中国真空学会常务理事会成员赞助并参加了此次盛会，展出了代表国际一流水平的真空获得设备和检漏设备，欢迎真空行业各位同仁莅临指导。地址：吉林省长春市东北师范大学校内

　　仪器信息网讯 2018年7月25日，在中美贸易战打响背景下，又值北京中科科仪股份有限公司(以下简称“中科科仪”)创建60周年，中国仪器仪表行业协会专家代表一行走进我国真空行业领军者，国内第一台扫描电子显微镜、第一台立式涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪、第一台磁悬浮分子泵的诞生地——中科科仪，中科科仪高层领导接待了走访一行人员。大家就科学仪器领域核心技术、中国制造企业突围之路、中科科仪未来发展规划等进行了一一探讨。仪器信息网作为受邀媒体，参与并报道本次活动。座谈交流　　(左前至左后：中国仪器仪表行业协会分析仪器分会副秘书长 张耀华，中国仪器仪表行业协会高级顾问 朱明凯，中国仪器仪表行业协会高级顾问 闫增序，仪器信息网傅晔；右前至右后：中科科仪党委副书记 李昕，中科科仪党委书记、董事长 张永明，中科科仪执行董事兼总裁 陈静，中科科仪副总裁 余才林)　　企业发展之60年历史——第一阶段，中国科学院科学仪器厂。1958年，中国科学院科学仪器厂成立，期间，为“两弹一星”、“正负电子对撞机”和航天事业发展做出重要贡献。 1971年，成功研制ZHP-4G型高灵敏度氦质谱探漏仪，1975年，成功研制中国第一台DX-3型扫描式电子显微镜荣获国家年度科学大会一等奖，1977年，成功研制中国第一台FB-450型立式涡轮分子泵，1987年，成功研制我国第一台圆盘型牵引级涡轮分子泵FF150/500。1985年，实施经营体制改革，探索企业化发展道路。陈静向走访一行人员介绍中科科仪发展历程　　第二阶段，中国科学院北京科学仪器研制中心。1991年，更名为中国科学院北京科学仪器研制中心。期间，加速市场化进程，加大产品开发力度和市场拓展，在科研、航天、军工、核工业领域和国际贸易方面取得市场突破。1993年，研制成功我国第一台分子泵式ZHP-30型氦质谱检漏仪。1993年，研制成功KYKY-EM3000型扫描电子显微镜，1994年，研制成功KYKY-EM2800型扫描电子显微镜均获得当年度BCEIA金奖。中科科仪展览室一角　　第三阶段，北京中科科仪技术发展有限责任公司。2000年，成为中科院第一家事业单位整体转改制企业。期间，不断调整定位和未来发展方向，建立健全现代企业制度，明确以市场为导向，完善营销布局，逐步树立核心产品国内市场第一的地位，发展成为集科学仪器研发、制造、销售和服务为一体的高新技术企业。　　第四阶段，北京中科科仪股份有限公司。2011年，整体变更为股份有限公司。公司秉承“创新科学仪器，发展一流企业”的使命，致力于发展成为一家具有全球视野，在科学仪器特别是真空领域范围内领先、具有国际竞争力的产业集团。2013年，成功研制出国内第一台磁悬浮分子泵，2014年，成功研制出我国第一台场发射枪扫描电子显微镜，均填补了国内空白，无论是对科仪还是在我国真空获得和高端科学仪器产业均具有里程碑意义。　　企业发展之当下——经过60年的发展，中科科仪已发展成为包含中关村总部、昌平分部、成都唯实、中科科美等的国家级高新技术企业。产品主要包括四大系列：系列分子泵、离子泵等超高真空获得产品;系列氦质谱检漏仪等真空检测产品;扫描电子显微镜等分析仪器;超高真空环境模拟设备、镀膜生产线等真空应用设备。产品广泛应用于基础科学研究、高新技术产业、高端装备制造、新能源材料、节能环保等领域。　　精益制造方面，中科科仪拥有中国最先进真空产品制造工厂——中科科仪昌平分部。总面积12000平方米，年设计产量为分子泵10000台，检漏仪1000台。加工能力、检测能力方面，昌平分部配置了多套先进机加工、检测设备，为先进真空产品的精密加工提供可靠保障。参观先进机加工设备装配车间一角　　制造能力方面，则配置了全面的装配、检测线，及分子泵超净间，其中分子泵超净间达到10万级等级，年产能10000台，为中国最大的分子泵装配洁净间。分子泵超净间一角　　技术创新方面，多个新产品研发及产品扩展代表了国家最高水平，如国内首台磁悬浮分子泵、最高转速仪器专用分子泵、国内首台检漏仪、国内首台深紫外激光光发射电子显微镜、国内首台场发射枪扫描电子显微镜等。参观PEEM工程化样机　　其中，国家重大科学仪器设备开发专项“深紫外激光光发射电子显微镜工程化”，已完成四台不同功能PEEM工程化样机的研制，应用于物理所磁学、中科大表面催化、电子所阴极研究。瞄准国际前沿科技，为物理、化学、材料等领域前沿热点问题的研究提供尖端科学设备。参观中科科仪场发射枪扫描电子显微镜　　国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发与工程化”，完成国内首台自主研发场发射枪扫描电镜的研制，成功推向市场。电镜图像分辨率效果显著，在1KV和 30KV下，分别达到和优于3.0nm和1.0nm 的项目关键性指标。参观磁悬浮分子泵系列产品　　国家科技重大专项 “磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目的磁悬浮分子泵是世界上最先进的真空获得设备，集真空技术、电子学、材料学、精密机械、智能控制等多学科为一体的高新技术产品。该产品填补了国内该领域空白，摆脱了设备长期依赖国外进口，极大的提升了自主创新能力。　　在最后谈到企业的发展时，张永明表示，中共中央总书记习近平在7月13日下午主持召开中央财经委员会第二次会议发表的重要讲话中，讲到“要加强软硬基础设施建设，完善科研平台开放制度，完善国家科技资源库，培育一批尖端科学仪器制造企业，加强知识产权保护和产权激励。”这必将为国产科学仪器企业带来福音，中科科仪也将会践行中科院“率先行动”计划，落实国科控股“联动纲要”，加快推进尖端科学仪器装备行业的战略布局。中国仪器仪表行业协会专家对中科科仪的60年取得的稳步发展表示了认可，并对下一阶段的发展提出建议。同时，大家也对中美贸易战背景下科学仪器领域核心技术的发展、中国制造企业如何突围等进行了深入探讨。

4月24日至25日，由中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所与中粉网联合举办的“2018低维碳纳米材料制备及应用技术交流会”在江苏省苏州市召开，中科科仪作为主赞助商之一参加了此次盛会。金刚石、石墨、碳纳米管等低维碳纳米材料因其突出的力学、电学和化学性能，在新材料领域有着巨大的前景，引发了国内外各大高校科研院所持续的研究热潮。交流会上，中科科仪电镜事业部精心策划，秉承公司“创新科学仪器，发展一流企业”的理念，针对研究所高校用户，重点推出代表国内最高技术水平的KYKY-EM8100F场发射扫描电镜；针对寻求大规模低成本生产的企业用户，重点推出KYKY-EM6200钨灯丝扫描电镜。两款产品均得到了现场新老客户的广泛关注与好评，彰显了科仪的品牌形象和影响力。

 2018年4月15日第十二届中国科学仪器发展年会(ACCSI 2018)在江苏省常州市香格里拉大酒店隆重召开。中科科仪股份有限公司凭借首台国产具有低压功能的热场发射扫描电镜荣获2017年度科学仪器行业最受关注仪器”/2017年度科学仪器行业优秀新品 双项桂冠。

  1月26日，北京中科科仪股份有限公司在西安隆重举办了西安销售公司开业庆典仪式。来自西部地区各大重点高校、研究所、航空航天单位客户以及真空行业、陕西省真空学会代表莅临了本次庆典现场，中科科仪总裁陈静出席。开业仪式由中科科仪总裁助理余才林主持。在开业仪式上，首先，陈静发表了致辞，她对西安销售公司的成立表示祝贺，向长期以来关心和支持中科科仪发展的各界朋友致以衷心的感谢。她表示，西安作为中国古都，不仅有着辉煌而又悠久的历史文明，也是现代中国重要的工业、科研城市，而今国家的“一带一路”战略又将这个历史名城推向了世界之巅，西安销售公司的成立也是积极响应新格局下大时代的需求，是中科科仪落实战略规划的又一重大举措，从而掀开中科科仪发展的新篇章。随后，由陈静总裁与嘉宾代表一起为西安销售公司进行剪彩，并由陈静总裁与陕西四达全轴承有限公司副总经理申建军共同揭牌，将庆典活动推向了高潮。中科科仪西安销售公司成立，将为西北、西南广大客户提供更加完善周到、专业便捷的服务。我们将秉承科仪“求真务实、诚信负责”的价值观，以“创新科学仪器、发展一流企业”为使命，与西部各界朋友携手并进，共筑美好未来！ 

仪器信息网讯 2017年10月10日，第十七届北京分析测试学术报告会暨展览会(BCEIA 2017)在北京国家会议中心开幕。中科科仪（KYKY）携四款分子泵亮相BCEIA2017。仪器信息网编辑借此机会对中科科仪区域销售经理进行了采访。　　众所周知，我国高端分析仪器市场长期被国外企业所垄断，尤其是质谱分析仪器领域，国内企业起步一般比较晚，而且具备研发能力的分析仪器厂商也往往会采用国外企业提供的关键零部件，比如说分子泵......当然，不具备核心技术就缺少竞争力。长此以往，这将阻碍我们国家的科技水平提升与相关工业产业的发展。　　有鉴于此，中科科仪很早就推出了国内首台涡轮分子泵，并且不断革新技术与产品，解决了很多科研中的实际问题。在分析仪器领域，中科科仪目前已经和一批国内先进的质谱分析仪器厂商合作，打破了国外企业对于分子泵的垄断，推动了高端分析仪器的国产化进程。　　这次BCEIA展会上中科科仪展出了四款分子泵，最小的抽速是25L/s，最大抽速到300L/s。最小的口径是40mm，最大的口径是100mm。中科科仪分子泵型号分别以这两个参数命名。FF-40/25型仪器专用分子泵FF-100/300型仪器专用分子泵FF-63/80型仪器专用分子泵FF-100/150型仪器专用分子泵　　据介绍，这四款专用分子泵几乎能够满足国内大多数质谱分析仪器对于真空度的要求。并且根据与国内分析仪器厂商合作的应用实验验证，结果显示：中科科仪仪器分子泵替换某国外品牌后，仪器灵敏度等关键指标均满足要求，目前单台无故障运行已超过两年。综合多家用户反馈数据，平均无故障运行时间（MTBF）已达6万小时。此外最重要的一点，它们在这种极端的情况下还能保持抽速的稳定性。　　目前，中科科仪的分子泵已经广泛地应用在科学仪器行业，包括为数不多的国产质谱联用仪，中科科仪也利用FF-40/25型仪器专用分子泵开发了氦质谱检漏仪，FF-63/80型仪器专用分子泵也经常会被设计添加一些新的功能模块，然后应用到很多行业内，比如：半导体镀膜、真空绝热、真空检漏、等离子体清洗等领域。一体化分子泵系列产品简介中科科仪分子泵发展历程1977年：研制成功国内第一台立式F-160/450涡轮分子泵，通过科学院鉴定。1983年：研制成功F-100/110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负电子对撞机。1986年：研制成功FF-160/500复合型分子泵。1993年：研制成功F-250/1500涡轮分子泵，研制成功F-100/150检漏仪用涡轮分子泵。1999年：研制成功F-400/3500涡轮分子泵，并通过省部级鉴定。2000年：研制成功FF-160/620复合分子泵进入市场。2002年：研制成功FF-200/1200复合分子泵。2005年：研制成功FF-160/700任意角度安装分子泵，并通过国家省部级鉴定。2006年：研制成功FF-200/1300任意角度安装分子泵，并通过省部级鉴定。研制成功FF-250/1600型复合分子泵；研制成功FD-II控制器。2008年：研制成功FF-160/500G型抗冲击专用分子泵；研制成功FF-100/110型任意角度安装分子泵；研制成功FD-II型自动识别控制器；承担国家“02重大专项”——磁悬浮分子泵的研发任务。2010年：研制成功FF-250/1600B型复合分子泵；研制成功FF-250/2000型复合分子泵。2011年：研制成功国家“02重大专项”成果CXF-250/2300型磁悬浮分子泵工程样机,并首次亮相十一五重大科技成果展。2012年：研制成功FF-160/700F、FF-200/1300F、FF-200/1300N型复合分子泵；研制成功FF-200/1200G型抗冲击分子泵。2013年:CXF-200/1400、CXF-250/2300型磁悬浮分子泵实现量产，在第12届国际真空展上正式推出，并进入半导体行业。2015年：国内首家推出FF-40/25、FF-63/80、FF-100/150、FF-100/300系列一体化分子泵，并进入分析仪器行业。2016年：研制成功CXF-320/3000型磁悬浮分子泵。

由西北有色金属研究院牵头承办的2017新材料国际发展趋势高层论坛于2017年11.10-12日在西安临潼悦椿温泉酒店举行。北京中科科仪股份有限公司作为赞助商携新型国产热场发射扫描电子显微镜EM8100F助力论坛。 论坛邀请了国内外知名华人材料科学家，在纳米材料，石墨烯材料，能原电池材料，超导材料与技术，核材料，先进钛合金材料，新建高分子材料，材料界面表征，复合材料，材料基因组，3D打印材料，先进材料制备技术等新材料领域做出了精彩的报告。

作为耐火材料领域最前沿、最专业的盛会之一，2017年9月3日氧化铝在陶瓷耐火领域应用及创新技术论坛于淄博先进陶瓷产业园盛大召开。北京中科科仪股份有限公司——国内扫描电子显微镜领军品牌，作为会议的主要赞助商之一参加了此次盛会。在会议中，中科科仪应用工程师做了“扫描电子显微镜在氧化铝粉末行业中的应用”的报告，介绍了中科科仪的发展历程，举例分析了扫描电子显微镜在氧化铝等粉末行业中的应用，并且与参会代表进行了深入的沟通。清华大学盖国胜教授举例说明了扫描电子显微镜在粉末行业中至关重要要的作用，对中科科仪的扫描电子显微镜给出了高度好评，并倡导大家支持国产，得到与会代表的广泛认同，大大的提升了中科科仪的品牌形象。

作为我国玻璃界科技工作者学术交流的年度盛会，2017年全国玻璃科学技术年会于2017年8月27～29日在秦皇岛市首旅京伦酒店举办。北京中科科仪股份有限公司作为国内扫描电镜、分子泵、真空检漏行业的领军品牌，紧抓会议主题“引领玻璃行业集成创新，促进产学研用协同发展”，对扫描电镜、光发射电子显微镜、真空泵、检漏仪等产品在玻璃行业中的应用进行了推广。在会议过程中应用工程师孙雪做了学术报告“扫描电镜在镀膜玻璃中的应用”，报告介绍了中科科仪的发展历程，举例分析了扫描电镜在玻璃行业中的应用，与各参会代表进行了技术交流。报告后还与燕山大学刘世民教授进行了更深入的沟通。在会议过程中还发放了企业产品样本，受到了大量客户的关注，彰显了企业的品牌力量。

中国最大锂电展，第九届中国（上海）国际锂电工业展览会（CNIBF2017）于2017年8月23～25日在上海新国际博览中心举办。      北京中科科仪股份有限公司作为国内扫描电镜唯一供应商、真空检漏行业的领军品牌，针对此次展会，秉承“助力中国制造”的理念，针对锂电池原材料供应商如正负极材料、隔膜、极片等，重点展出了场发射扫描电镜KYKY-EM8000F、钨灯丝扫描电镜KYKY-EM6900；针对锂电池封装，重点展示了氦质谱检漏仪ZQJ-3000为核心的真空检漏解决方案，受到了大量客户的关注与好评，彰显了科仪的品牌形象和影响力。

       9月21日至24日，以“科技创新·军民融合·开放合作”为主题的第四届中国（绵阳）科技城国际科技博览会在四川绵阳举行。中科科仪作为中科院的重要企业代表，携子公司中科科美，由公司总裁助理余才林带队参加此次大会。       博览会上，中科科仪展示了“十二五”期间重大的科技创新成果——磁悬浮分子泵、仪器用分子泵、高端氦质谱检漏仪、场发射扫描电镜和空间环境模拟试验系统等，各项成果均在各行业内取得了里程碑式的突破，技术水平国内领先，引起了国内外知名学者、专家、行业协会等的广泛关注，中科院白春礼院长、张亚平副院长，国科控股吴乐斌董事长等领导亲临中科科仪展区参观指导。              通过此次博览会，有力展示了中科院属企业的科技创新能力，进一步加强了与绵阳市企业、大学、院所等单位的科技合作，提升了中科科仪的品牌影响力，为进一步开拓市场奠定基础。

    8月22日至26日，被誉为世界真空行业奥林匹克的第20届国际真空大会（IVC-20）及展览会在韩国釜山BEXCO举行。中科科仪作为中国真空行业的领军企业，由公司总裁陈静带队参加此次真空届的盛会。       会上，中科科仪主要展出了代表真空前沿技术的磁悬浮分子泵、可检漏率达到-13的高端氦质谱检漏仪等新产品、新技术。展会期间，多位业内知名学者、专家及企业前来做了深入交流沟通，对产品、市场及相关合作提出了很多意见和建议，表达了合作意向。       此次参展，也为中科科仪拓展亚洲乃至全球市场积累了国际资源，奠定了基础。

          为深入贯彻公司2016年“抢抓机遇，精准发力，协同进取，确保发展”工作指导方针，稳固北京地区高校科研市场，促进与客户之间的沟通交流，11月18日，中科科仪北京销售公司和市场部在中关村总部联合举办了2016年度中科科仪北京地区用户交流会。       此次用户会吸引了20余家单位40余人参加。会上，首先由公司总裁助理赵海标致欢迎词，随后，北京销售公司总经理朱信浩做了公司介绍，研发中心副主任李赏博士及张彦海工程师、电镜事业部李文龙工程师分别详细讲解了新款仪器泵、磁悬浮泵、ZQJ-3000检漏仪、扫描电镜。与会人员对新产品表现出浓厚的兴趣，现场进行了深入交流探讨，气氛十分热烈，当场落实订单及线索若干。       此次用户会，北京销售公司团队与市场部、昌平工厂、研发部、电镜事业部、总裁办等各部门分工明确、默契配合，从会前策划、会中活动及会后总结方方面面体现了精益求精、协同进取的精神风貌。用户会的成功举办，也为下一步业务拓展奠定了良好的基础。

成果名称FF-63/70、FF-100/300脂润滑复合分子泵单位名称北京中科科仪股份有限公司联系人朱国精联系邮箱zhugj@kyky.com.cn成果成熟度□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产合作方式□技术转让 □技术入股 □合作开发   √其他成果简介：           本项目产品为基于分析仪器行业应用的小型脂润滑复合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300两个型号。所涉及的关键技术主要有：      1）涡轮级叶片、牵引级圆盘型螺旋槽气体输运特性分析；      2）整体式涡轮转子的强度校核及高速铣削加工工艺；      3）高速转子轴系动力学特性分析及减振结构设计；      4）高速直流电机及驱动控制系统设计；      其中，整体式涡轮转子高速铣削加工、高速直流电机及驱动技术达到国际一流水平。      项目产品主要应用于各类质谱分析仪器，为仪器正常工作提供必要的高真空环境，产品主要创新点如下：      1）分子泵体积小、转速高，对氦气、氢气等小分子气体有较高的压缩比；      2）采用整体复合型涡轮转子，并通过HSM600高速铣加工中心规模化生产，提高产品一致性和可靠性，同时较好的控制成本；      3）对高速轴系设计轴向、径向相结合的复合减振方案，保证高速转子稳定运行。      产品主要性能指标如下      FF-63/70     FF-100/300      抽速 > 60 L/s > 250 L/s      极限压力   < 5E-5 Pa  < 3E-5 Pa      转速 ≥    50700 转/分钟 ≥ 42000 转/分钟      振动值  < 0.1um < 0.1um应用前景：      项目产品为脂润滑复合型涡轮分子泵，主要为各类仪器和真空平台提供所需洁净的高真空环境，产品主要应用于质谱分析、表面科学、激光、薄膜沉积、实验室科研等领域。      据统计，2010年我国进口分子泵8000多台，其中40%用于各类分析仪器，并以每年20%的速度增长，而该领域分子泵长期被国外厂家垄断。本项目产品目前已实现销售27台，其中部分应用实现了对国外产品的替换。知识产权及项目获奖情况：      本项目产品完全自主研发，拥有完全自主知识产权。      暂无申请专利。

　　仪器信息网讯 2015年10月27日，第十六届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA 2015)在北京国家会议中心隆重开幕。本次展会特别展示了由中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施成果——国内首台自主研发的肖特基场发射枪扫描电镜产品KYKY-EM8000F。肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F　　在《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施过程中，中科科仪突破了30kV场发射电子枪、低像差物镜设计与制造等关键技术，实现国产场发射枪扫描电镜零的突破，并且产品的分辨率优于1.5nm@30kV。KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜的研制成功，是我国电子光学研究水平的集中体现，将成为我国电子光学领域的重要成果，对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。　　在KYKY-EM8000F展示期间，科技部、中国分析测试协会的相关领导对于该产品都给予了极大的关注，并提出了相应的指导意见。　　科技部侯建国副部长、张泽院士、吴学梯司长、吴波尔原司长、原科技平台中心副主任张渝英等一行人来到中科科仪展台前参观，详细了了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的研制过程，对国内首台场发射扫描电镜的研制成功表示祝贺，勉励中科科仪在将来的产品开发中取得更大成绩。　　BCEIA2015大会主席、国务院参事、科技部原副部长刘燕华先生等一行人也特地来到中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项展台参观，详细了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的情况，祝贺中科科仪在电镜开发方面取得的进展，强调一定要爱护好中科科仪这个国产电镜的唯一品牌，指出产品开发要以市场为导向，以服务用户为目标，注重产业化，把科学仪器自主创新摆在突出位置。　　同时在本次展会上，KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜还在31家单位申报的41个项目中脱颖而出，荣获了“BCEIA 金奖”。“BCEIA金奖”颁奖现场　　据中科科仪电镜部孙占峰研究员介绍，KYKY-EM8000F的销售台数已超过5台。首台产品于2014年11月21日正式交付给中国科学院大学，同年12月10日，双方共建了中国科学院大学—北京中科科仪股份有限公司“电子显微技术”联合实验室，为KYKY-EM8000F的应用研究搭建了平台。　　中国科学院大学在该仪器上已经开展了“国家自然基金”课题(51272281)以及“中国科学院科研装备项目”(yz201356)的材料形貌研究，对材料的观测尺度涵盖了微米级到纳米级，分析了掺杂碳材料的形貌演化规律，发现了碳材料的生长奇异现象。获得的图像显示了在碳沉积过程中掺杂金属前驱体，会使金刚石发生纳米化;在生长驱动力增大的条件下，无定形碳会发生分叉和交叉生长，这种现象在以往的碳材料研究中从未报道过。中科科仪电镜部孙占峰研究员　　另外据介绍，《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目在新应用方法或解决方案、样品前处理设备、可拓展仪器应用领域的关键部件和数据库等方面也进行了卓有成效的研究，如进行了场发射枪扫描电镜在半导体集成电路的检测技术研究;建立了超过100万兆的秀丽隐杆线虫连续切片扫描电镜成像原始数据库;编制了环境空气-大气粒子(PM2.5)形貌观测与无机元素分析等行业标准建议稿;成功开发了连续超薄切片收集装置和微操作装置等样品前处理和功能拓展装置等。　　通过该项目的实施，中科科仪和合作单位已申请并受理国家发明专利11项，软件著作权2项，发表相关论文2篇，起草相关行业标准建议稿2项;形成了场发射枪扫描电镜的技术资料1套，建立了包括院士、教授、高级工程师在内、覆盖国内扫描电镜研制和应用优势单位的人才队伍，培养了满足国家重大需求的高精尖仪器和电子显微学专业人才，这将为相关电子光学仪器的开发和应用提供有力的技术支撑。编辑：秦丽娟

        2014年4月，中科科仪相继在成都、江油、广州、厦门等地召开了新品发布会，来自周边地区各相关行业的用户代表累计超过100余人参加了会议。       通过四地用户会的宣传，对中科科仪当前新推出的磁悬浮分子泵、分析仪器专用分子泵和新型扫描电子显微镜等产品进行了推介，引起了用户的广泛兴趣和高度评价，同时，与会人员就真空、电镜设备应用及行业热点问题进行了充分的沟通和交流。       通过用户会，中科科仪在向客户展现科仪最新产品的同时，也使客户对科仪的服务有了更为深入的了解，会议务实高效、气氛活跃，取得了圆满成功。 

        3月28日，中科科仪在陕西省西安市召开了2014年中科科仪真空及电镜产品发布会，来自陕西及周边地区高校、真空镀膜、设备制造等行业的用户代表参加了此次会议。        会上，中科科仪技术人员就新推出的磁悬浮分子泵、分析仪器专用分子泵、新型扫描电子显微镜产品进行了详细介绍，引起了到会用户的广泛兴趣及高度评价。随后，与会人员就真空设备使用及行业热点进行了充分的沟通交流，大家对科仪公司产品及服务有了更深入的了解。会议现场气氛热烈，务实高效，取得圆满成功。 

国家重大科学仪器设备开发专项"场发射枪扫描电子显微镜开发和应用"项目启动会在中科科仪召开2014年3月10日，国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目启动会在北京中科科仪股份有限公司召开。科技部条财司副司长吴学梯，中科院条财局相关领导出席会议，项目牵头单位中科科仪董事长张永明、公司总裁陈静、项目技术专家委员会、用户委员会、监理组及合作单位等共29人参加了本项目启动会。启动会上，吴学梯做了重要讲话。他介绍了国家重大科学仪器设备开发专项的设立背景和目标定位，强调要实现科学仪器设备自主创新，形成可市场化、具有商业价值、稳定可靠的科学仪器。他指出，开发专项的研发决策、投入、组织、转化等各项工作，要以企业为主体，相关项目参与单位要加强协作，承担单位要严格进行项目经费管理。随后，中科科仪王大千博士围绕项目重要性与前景、目标与考核指标、项目方案、运行管理机制及产业策划方案等方面对项目作了汇报；项目合作单位北京大学电镜室徐军副主任对“场发射电子源开发和应用”子任务进展情况作了汇报。与会专家对项目方案及取得的进展给予了高度评价，并围绕研发工作中的难点、可能出现的问题、项目风险评估等展开了热烈的讨论，提出了详细具体的指导意见和建议。最后，张永明做了总结发言。他对与会领导、专家对项目的支持和精心指导表示诚挚的感谢，他表示在科技部、科学院各级领导的大力支持下，在各合作单位的密切配合下将全力推进，加强对电子光学类人才的培养、引进，建立平台化基础，促进我国电子光学仪器产业的发展，确保项目完成预期目标。 

   12月12-15日，中科科仪受邀参加了在珠海市暨南大学珠海校区召开的广东省真空学会2013年学术年会。此次会议的主题是真空前瞻性技术与应用，包括真空装备与新技术、表面技术、薄膜技术、光伏技术、平板显示技术、纳米材料、半导体照明、触摸屏技术及应用等热门议题，吸引了真空领域众多从事科研、教学、开发、生产的专家、学者、技术人员以及九十余家企事业单位参加本次大会。此次学术年会上，公司研发中心副主任范斌做了题为《磁悬浮分子泵研究进展及分子泵新技术》的专题报告，向与会人员介绍了磁悬浮分子泵、系列抗冲击分子泵、仪器用分子泵等产品的技术创新情况。此外，公司还通过滚动视频、展台、论文广告等多种形式进行了全方位的宣传，有效提升了与会人员尤其是珠三角地区客户对公司品牌的认知，以及对公司产品、服务的认可，得到了会议举办方及客户代表的一致好评，会议取得圆满成功。