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核心参数
仪器种类： 溅射离子泵
产品类型： 无油泵
仪器简介：
溅射离子泵是一种获得清洁超高真空的真空获得设备，它具有清洁、真空度高、无噪声、无振动、操作方便等优点。离子泵工作是封闭系统，不需要有连续工作的前级真空系统。
溅射离子泵是无油超高真空机组的主泵，可应用于高能粒子加速器，受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空的工业设备中。
技术参数：
1.型号 2L-100 3L-100
2.入口法兰 CF150 CF150
3.抽速(升/秒) 氮气 120 110
氩气 1.2 24
4.启动压强(Pa) ≤5×10-4 ≤5×10-4
5.极限压强(Pa) ≤7×10-8 ≤7×10-8
6.烘烤(℃) 带磁铁温度 200 200
不带磁铁 300 300
7.工作电压(KV) +7 -5
8.抽气单元(个) 4 4
9.重量(kg) 30 30
10.加热罩 无 无
主要特点：
1.清洁
2.真空度高
3.无噪声
4.无振动
5.操作方便
企业名称
北京中科科仪股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
股份有限公司(非上市、国有控股)
信用代码
91110108722617934K
成立日期
2000-12-28
注册资本
15000万元
经营范围
技术开发、技术服务;科学仪器设备(电子显微镜、质谱仪器、电子光学仪器、分析仪器及真空设备、机械设备)的研发、生产、销售和服务;半导体等产业设备核心零部件(各种真空泵.真空规计、真空阀门、真空系统配件及机械产品和零部件)的研发、生产、销售和服务;软件开发;销售软件;物业管理;出租办公用房;机动车公共停车场服务;货物进出口、代理进出口、技术进出口。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
北京中科科仪股份有限公司
公司地址
北京市海淀区中关村北二条13号
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公司名称： 北京中科科仪股份有限公司
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