自动化度: 全自动
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光伏测试专用美国ResMap四点探针 CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与 传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良 好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳 (铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精 确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配 合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且 可以Recipe设定更换 CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。
美国Sinton WCT-120少子寿命测试仪器采用了独特的测量和分析技术,包括类似平稳状态photoconductance (QSSPC)测量方法。可灵敏地反映单晶体重金属污染及陷阱效应表面复合效应等缺陷情况。WCT一个高度被看待的研究和过程工具。QSSPC终身测量也产生含蓄的打开电路电压(对照明)曲线,与最后的I-V曲线是可比较的在一个太阳能电池过程的每个阶段。 --------------------------------------------------------------------------------
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