适用气体： N2、H2、O2、Ar、He、Kr、Ne、CH4、CDA
脱除杂质： H2O、CO2、organics
脱除深度： ＜1 ppb
使用流量： 2-2000 slpm
使用温度： 常温
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华邦化学气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式，可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下，配备316L EP级吸附管，洁净施工，并且内置0.003微米316L颗粒过滤器；配备高质量元器件、洁净装配、出场前测试；严格的质量管控、周到的质量跟踪服务。
华邦化学气体纯化器的产品参数：
华邦化学气体纯化器适用气体与脱除杂质及指标：
华邦化学对气体纯化器的出厂检验严格把控，我们多种分析仪器全方位保证检测方式科学性与严谨性，保障产品质量。
华邦化学掌握所有产品型号的核心技术，自行开发生产的催化剂、吸附剂，并不断开发更高性能的催化剂。公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项，形成较为完善的自主知识产权体系。
常规型号纯化器常备库存，能保证用户需要就有现货，通过顺丰快递以最快速度到达用户手中，详情可咨询大连华邦。
产品货期: 3天
整机质保期: 1年
培训服务: 额外提供免费培训
安装调试时间: 到货后30天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 2天内
实现4N5N（99.99%~99.999%）气体纯度纯化到7N-9N（99.99999%~99.9999999%），减少半导体行业器件、光电器件的工艺杂质。
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