产地类别： 国产
可生长晶体： 碳化硅
硅单晶等径长度： 2~3cm
生长晶体的直径范围： 6/8英寸
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Intelligent PVT SiC System (IPS)系列SiC晶体生长系统是实现高质量SiC晶体生长、高纯度原料合成、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于SiC晶体生长、原料合成、晶体热处理领域。可以生长6/8英寸的晶锭。
特点
．真空炉腔系统较为限本底真空值达到≤5.0E-5Pa，升压率≤3Pa/12h，保证晶体生长的稳定性．智能化生长及监测系统，实现多种制程精确定制，工艺优化，长晶全过程实时监控，数据可视化存档
．新型感应加热线圈设计，有效提高热场加热的均匀性和稳定性保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: I人技术服务
免费仪器保养: 暂无
保内维修承诺: 免费维修服务
报修承诺: 24小时内响应
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