大负载通孔·扫描运动 Carrier.HS100/200.zTxTy.C
➡ 针对Z 方向扫描运动,两轴摇摆调节,保证真正准直
• 三维度Z, θxy扫描运动;
• 100/200 um 行程,1/2 mrad & 1/2 mrad;
• 闭环分辨率优于 1 nm;
• 最大负载 5 kg;
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案;
• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级;
压电陶瓷偏转台,高负载通孔型,zTxTy方向——详细参数:
压电陶瓷偏转台,高负载通孔型,zTxTy方向——尺寸图:
多场科技“压电扫描台·通孔型"解决方案包括Carrier.SL 系列(轻量型)和Carrier.S 系列(标准型)。Carrier.SL & S系列主要针对精密光学,半导体表征等应用场景,覆盖载物台“大行程·高精度·重负载"等需求,核心特点包括:
• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动
• X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持
• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试
• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级
产品货期: 365天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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