产地类别: 国产
靶材材质: 金
靶材尺寸: 直径57mm x 0.1mm厚
控制方式: 触摸屏控制,手动和自动模式可选,操作简便
样品仓尺寸: 直径150mm x高度120mm
样品台尺寸: 可以装载样品8-15个,高度可调范围为40mm
溅射气体: 空气或氩气
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磁控溅射仪 SSG-50M
为了使电子显微镜中的样品能够成像,它们需要有导电性,通过在样品上形成导电层的镀膜,用来抑制电荷,减少热损伤,并提高在SEM中定位检查所需的二次电子信号。
测试原理:
在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,在磁力的束缚下在一定范围内沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。
平时使用时,最常见靶材的是金靶。正是这个原因,离子溅射仪也俗称“喷金仪”。然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬、铂金、铜)。
产品概览
产品特点
样品腔尺寸:圆柱形,直径150mm x高度120mm;
样品腔真空度:极限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa,恒压控制;
样品台:可以装载样品8-15个,高度可调范围为40mm;
靶材:Au 靶为标配,Pt,Cu(选件)规格:直径57mm x 0.1mm厚;
溅射电流:微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流200mA,程序化数字控制;
溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩;
真空计:皮拉尼真空计,测量范围:0.01Pa-常压;
真空泵:双级直连式高速真空泵,抽速:66L/min,真空度:10-2Pa;
厚度监控:使用高分辨厚度监控仪,精确测定所镀膜的厚度;(选配)
操作方式:触摸屏控制,手动和自动模式可选,操作简便;
机箱设计:长宽高40*35*50cm,坚固防腐蚀的箱体,带有电源、电压、电流、真空度等显示。
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 3天
核心零部支持时间: 10年
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册
无理由退换货: 不支持
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