产地类别: 国产
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研发型Desktop纳米压印光刻设备UniPrinter
UniPrinter是一种专门为大学、科研院所和企业产品研发所设计,操作简单、功能强大的台面型纳米压印光刻设备。可实现4英寸以下基底面积上高精度(优于10nm * )、高深宽比(优于10比1 * )纳米结构压印,适合用作紫外纳米压印光刻工艺开发,器件原型快速验证,纳米压印材料测试等研发。它沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,在UniPrinter上开发的工艺可以无障碍转移到天仁微纳其它量产设备上进行生产。
UniPrinter纳米压印设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED等应用领域的研发。
主要功能
● 沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产
● 直径100mm以下面积高精度、高深宽比纳米压印
● 设备内自动复制柔性复合工作模具
● 自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程无需人工干预
● 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>300mW/cm2 ),完美支持各种纳米压印材料
● 随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程,帮助客户零门槛达到高质量的纳米压印水平
兼容基底尺寸 | 直径≤100mm |
支持基底材料 | 硅片、玻璃、石英、塑料、金属等 |
纳米压印技术 | 适合高精度、高深宽比纳米结构压印 |
压印精度 | 优于10纳米* |
结构深宽比 | 优于10比1* |
残余层控制 | 可小于10nm* |
紫外固化光源 | 紫外LED(365nm)面光源,光强>300mW/cm2 |
自动压印 | 支持 |
自动脱模 | 支持 |
自动工作模具复制 | 支持 |
上下片方式 | 手动上下片 |
如想了解更多产品信息,可通过仪器信息网和我们取得联系 400-860-5168转6144
产品货期: 120天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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纳米压印设备UniPrinter的使用方法?
天仁微纳UniPrinter多少钱一台?
纳米压印设备UniPrinter可以检测什么?
纳米压印设备UniPrinter使用的注意事项?
天仁微纳UniPrinter的说明书有吗?
天仁微纳纳米压印设备UniPrinter的操作规程有吗?
天仁微纳纳米压印设备UniPrinter报价含票含运吗?
天仁微纳UniPrinter有现货吗?
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