MPI全自动探针台TS2500
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¥100万

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MPI

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TS2500

--

港澳台

  • 金牌
  • 第2年
  • 授权经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品类别: RF探针台

操作类型: 全自动

可测圆片尺寸: 8"晶圆

产品概要:

MPI的200毫米/8寸全自动探针台系统系列是专门为解决射频(RF)和大功率晶圆测试而开发的,该系统旨在保证生产可靠性,并与所有MPI系统附件兼容。

基本信息:

薄晶圆处理

TS2500 RF卡盘独特的设计可以安全地处理厚度为50微米的晶圆,从而能够测试具有挑战性的III-Vs化合物薄片。射频卡盘包括两个完全由特殊陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准。辅助卡盘也可以用来固定探针清洁材料。

自动化装卸系统

自动化包括双末端执行器和双晶圆盒,适用于150或200mm晶圆,可提供高效率的晶圆交换并提高测试速度。TS2500的速度可以达到10 Die /s(取决于最终系统配置),使其成为在高功率,分立RF器件以及集成电路(IC)上进行生产电气测试的理想选择。

自动校准系统

TS2500具有先进的对准功能,例如离轴和安装在卡盘上的上视摄像头,使TS2500成为在复杂的RF和高功率测量配置中进行测试的理想平台。

超大功率探头

MPI高功率探测解决方案包括专用的大电流探头,该探头使用MPI适当的多触点尖端来降低接触电阻。MPI的高压探头能够在高达3 kV三轴或5 kV和10 kV同轴设置的高压测试期间进行低泄漏电流测量。 此外,MPI超高功率探头为高达10kV / 600A的超高功率设备的晶片测量提供了解决方案。

完整的测试解决方案

TS2500可以配置MPI的高性能RF探针 /高功率附件,例如MicroPositioners,RF线缆,校准片,TITAN™RF 探针,大功率仪器连接套件,Taiko晶圆支架或防电弧LiquidTray™,以确保安全和准确射频/大功率测量。随着VNA与DUT的集成更紧密,与Rohde&Schwarz合作新的先进校准技术,使TS2500-RF成为了解决RF生产测试复杂性的完整测量解决方案。

技术优势:

1、射频量测 - 至高 67 GHz

2、可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测

3、标准配备有偏心轴晶圆对准镜头

4、可支持配至薄50um薄晶圆选项

5、可支持温度区间:20℃到300℃

应用方向:

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用。


售后服务承诺

产品货期: 180天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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MPI探针台TS2500的工作原理介绍

探针台TS2500的使用方法?

MPITS2500多少钱一台?

探针台TS2500可以检测什么?

探针台TS2500使用的注意事项?

MPITS2500的说明书有吗?

MPI探针台TS2500的操作规程有吗?

MPI探针台TS2500报价含票含运吗?

MPITS2500有现货吗?

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