产品概要：

MPI TS200-THZ手动探针系统具有很强的功能。这些高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置，附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

基本信息：

TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计，例如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，医疗保健设备以及短距离汽车雷达等，其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。可结合毫米波，太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求，以较好的测量方向性提供准确的测试。

1、可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成;

2、扩展器/调谐器集成的新颖设计，可实现很好的测量动态;

3、较强的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作。

技术优势：

气浮式移到系统

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了很好的的操作便利性，同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。

卡盘Z调整

TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利，可以轻松快速地进行设置。

微型定位器

专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

MP80-DX

市场上另一个MPI开拓性解决方案——独特的MP80-DX，具有低至1µm的简单、精确的精确度，是精确且经济高效的多线TRL的理想选择，即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内的RF校准方法。

多种光学选项

提供专用的MPI光学元件，可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制，要求与DUT的距离较短，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmw应用。

扩频器集成

TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了很好地减少到DUT的距离并提供较佳的测量方向性，MPI引入了一种新颖的概念，将扩展器悬停在整个200mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松，便捷和快速地重新配置。

多种卡盘选项

TS200-THZ提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求，例如MPI：带BNC连接器的标准RF卡盘;专用mmW卡盘，完全内置具有高导热率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷;甚至ERS AirCool射频卡盘(从20°C到200°C或更高)，带有集成的镀金顶面和小的真空孔。所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准，尤其是在40 GHz以上的范围内

应用方向：