产品概要：

MPI TS150-THZ是150 mm高频专用探针台，旨在对基板和150 mm晶圆进行精确分析。

基本信息：

TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用，例如高达1.5THz的宽带，带状波导，次THz，负载牵引和RF噪声。它提供了很强的功能：

1、无缝集成任何高达1.5 THz的宽带，差分或宽带扩频器

2、不错的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作

3、小化测量路径以获得较佳的测量方向性

技术优势：

卡盘移动系统

TS150-THZ具有10mm的精确卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案进行设置时极为有利，可以轻松快速地进行设置。

MicroPositioners的多种配置

专用且极坚固的探针压板设计可容纳两个东西方向固定的MP80大面积MicroPositioner。 通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

探针座系统

独特的MP80-DX具有低至1µm精确的清晰度，搭配三丰数显千分尺。

成像系统

可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成测试头/调谐器固有的空间限制，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmW应用。

多种卡盘选项

TS150-THZ提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求，例如MPI的标准RF，带BNC连接器;专用mmW 卡盘，完全内置具有高导热率(> 180W / Km)的特殊陶瓷;ERS AirCool射频卡盘(温度范围从20°C到200°C，或更高)，带有集成的镀金顶面和小的真空孔。每个卡盘包括两个用陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准。

应用方向：

TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用，例如高达1.5THz的宽带，带状波导，次THz，负载牵引和RF噪声。