产品概要：

MPI TS50 手动探头系统专为 IC 工程、单芯片探测和 DC/CV 和 RF 测量应用中的学术用途而设计。

基本信息：

TS50 的占地面积 (300 x 300 mm)较小，设计形式也较为简单，方便操作并可以提供快速设置，而且不会影响功能和测量能力。

技术优势：

简易载物台

TS50 可以配置两种不同版本的卡盘平台控制。Easy Stage 是非常简单的真空控制、单手操作单元，可实现非常快速和直观的 XY-Theta 运动。这是简单 DC/CV 应用的典型配置。

线性50×50mmXY载物台

线性 50×50 mm XY 载物台可实现快速且独立的轴移动，并具有额外的精细和准确的 25×25 mm XY-Theta 千分尺定位。RF 或与热卡盘结合使用的必备选项。

20毫米高度调整

探针台具有支持各种应用所需的 20 mm 微调高度，可用于所有 MicroPositioner 的接触/分离控制。

三轴卡盘

对于射频应用，TS50 的 50 毫米三轴卡盘安装有一个内置陶瓷材料的辅助卡盘，用于精确的射频校准。

MicroPositioners的矩形调整

此外，两个端口 RF MicroPositioner 的矩形调整是保证 RF 探头之间对齐的标准功能。

微定位器的多种配置

它可以配置多达 8 个 MPI MP25 或 6 个 MPI MP40 MicroPositioner，以满足多个焊盘和设备布局要求。

各种光学选项

提供多种光学器件，可选择适用于所有常见 DC/CV 应用的立体显微镜或适用于射频或负载牵引配置的单管高放大倍率显微镜。

集成电路座

可选的单个 IC 支架将 TS50 转变为理想的平台，用于测试小至 1×1 mm 的单个 DUT。它包括一个稳定且方便的真空开关，可正确固定大至 10×10 mm 的芯片尺寸。在平行高度上集成了一个集成校准基板支架，可以进行射频测量，并且可以安装在任何卡盘上，包括各种热卡盘。

应用方向：

专为 IC 工程、单芯片探测和 DC/CV 和 RF 测量应用中的学术用途而设计。