仪器种类: 普通真空快速退火炉
产地类别: 国产
样品尺寸: 4-12英寸
温度范围: 室温~1250摄氏度
最高升温速率: ≤25℃/s(Sic载盘)
退火温度均匀性: <500℃温度均匀性:±5℃,>500'C时温度均匀性:±1%
为您推荐相似的退火炉
半自动快速退火炉RTP-SA-12
RTP-SA-12半自动快速退火炉红外卤素灯管加热,灯管功率PID控温,可精准控制温度升温,可测最大样品尺寸为12寸。
产品特点:
①红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;
②灯管功率PID控温,可精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性;
③采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在WAFER表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好的温度均匀性;
④大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理;
⑤标配两组工艺气体,最多可扩展至6组工艺气体;
⑥可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸(300*300mm);
⑦采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,全方位保障仪器使用安全。
产品应用范围:
其他快速热处理工艺 砷化镓工艺
氧化物、氮化物生长 欧姆接触快速合金
硅化物合金退火 氧化回流
技术参数 | |
最大产品尺寸 | 4-12英寸晶圆或者最大支持300*300mm产品,兼容12寸及以下晶圆 |
温度范围 | 室温~1250℃ |
最高升温速度 | ≤25℃/s(Sic载盘) |
温度均匀度 | <500℃温度均匀性:±5℃,>500℃时温度均匀性:±1% |
温度控制重复性 | ±1℃ |
温控方式 | 快速PID温控 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 可享受3次免费电话培训
免费仪器保养: 1年一次
保内维修承诺: 免费更换小型配件,免费测试样品
报修承诺: 全国24小时内电话响应
晟鼎退火炉RTP-SA-12的工作原理介绍
退火炉RTP-SA-12的使用方法?
晟鼎RTP-SA-12多少钱一台?
退火炉RTP-SA-12可以检测什么?
退火炉RTP-SA-12使用的注意事项?
晟鼎RTP-SA-12的说明书有吗?
晟鼎退火炉RTP-SA-12的操作规程有吗?
晟鼎退火炉RTP-SA-12报价含票含运吗?
晟鼎RTP-SA-12有现货吗?
最多添加5台