仪器种类： 在线
产地类别： 进口
适用领域： 高纯气体分析专用
控制温度范围： +5°C … +40°C (+41°F … +104°F)
载气流量范围及控制： 90 … 810ml/分钟
载气压力范围及控制： O2背景气 = 85psig，其他背景气 = 80psig
进样口压力设定范围： 30psig（具体视应用而定）
进样口总流量设定范围： 0 … 300ml/分钟（具体视应用而定）
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创新型ULTRA系列产品中的一员，用于半导体过程应用的超微量级分析仪，可测量H2、CH4、CO、 CO2、N2、Ar和NMHC气体.
卓越性能:
创新的高灵敏度等离子发射检 测仪 (PED)，可测量超微量级 Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHC
ProPeak锁峰技术，确保超高测量灵敏度
直接分析法，可避免FID和RGD的测量不确定性
主要应用:
半导体生产 - 质量控制
半导体生产 - 台式分析系统
UHP气体生产 - 质量控制
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 无
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 48小时内到达现场
综合评分：9.4分
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操作方便，能满足高精度检测要求。