产地类别: 国产
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1、微米级局域激光退火系统产品简介
微米级局域激光退火系统可定向修饰量子比特的频率参数 ,提高量子芯片的良品率,解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题。该系统可配置高真空退火腔体和惰性气体退火腔体,实现量子芯片的真空局域退火和惰性气体氛围退火功能。该系统亦可适用于半导体芯片、材料表面改性处理等领域。
2、微米级局域激光退火系统产品特点
比特频率修饰准确性超过99%(300个比特样品)
激光功率0~2.5W可调,功率稳定性RMS优于0.5%(10h内)
退火目标区域定位精度达百纳米级
系统全自动化控制,可多点一键退火,人机交互便捷
微米级光斑,激光光斑形状尺寸可定制
3、微米级局域激光退火系统产品参数
退火重复性:常温电阻修饰准确性超过 99%(300 个比 特退火比例标准差)
激光波长:532 nm
激光输出功率:支持可变功率 0-2.5W,最小调节单位 0.01W
功率稳定性:激光功率稳定性 RMS 0.5% (10h 内)
激光光斑:直径 20μm±2μm(有效退火范围),支持 定制形状尺寸
退火时间控制:最短退火时间 40ms
可处理芯片尺寸:2inch(其他规格形状可定制)
芯片定位精度:±0.25μm (X/Y 方向)
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 保修期内共计一次免费培训
免费仪器保养: 保修期内免费保养1次
保内维修承诺: 免费调试校准
报修承诺: 72小时内到达现场进行调试
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