产地类别： 国产
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低温液氦探针台特征
1.真空腔体：真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；
2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；
3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约280倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.5K；
5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；
6. 系统直流漏电低于1pA。
7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。
低温液氮探针台产品参数
| 型号 | LTZ-4H-06 |
| 外形 | 650*650*1260 |
| 系统功率 | 1KW |
| 电压 | 220V交流 |
| X-Y轴行程定位精度 | ±0.01mm |
| 探针调节精度 | ±0.01mm |
| 腔体真空度 | 1.0*10^-4pa |
| 重量 | 150kg |
| 测试直径 | 6/8/12寸 |
| 探针轴行程 | 110mm |
| 探针XY行程 | 50mm |
| 制冷方式 | 液氮制冷 |
| X-Y轴额定速度 | 手动调节 |
| 腔体直径 | 245mm |
| 探针臂数量 | 4（可选6个） |
| 温度下限 | 77K |
| 探针臂 | 每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆 |
| 显微镜倍率 | 0.58X~7X（使用1X附加物镜时） |
| 地脚 | 底部塑胶减震地脚 |
| 探针频率 | 26GHz—100GHz（可选） |
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保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
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