压电二维纳米位移台,XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位,具有分辨率高,行程大(XY轴行程±50mm),带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单,定位准确,能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。
压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,百分百真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作,并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。
尺寸参数 | ||
外形尺寸(长*宽*高) | 133.0*133.0*26.1 | mm |
台面平面度 | 10 | μm |
总重量 | 653.8 | g |
运动参数 | ||
X轴 | ±50 | mm |
Y轴 | ±50 | mm |
运动速度上限 | 3 | mm/s |
材料 | ||
机身 | 铝合金 | / |
驱动 | PZT压电陶瓷 | / |
驱动机构 | 铍青铜 | / |
导线 | 屏蔽线,铜线 | / |
运动控制 | ||
闭环位置传感器分辨率 | 2 | nm |
开环运动分辨率 | 0.05 | nm |
负载 | ||
垂直运动方向负载 | 20 | N |
沿运动方向负载 | 4 | N |
操作环境 | ||
操作温度 | 0~60 | ℃ |
操作湿度 | 温度达到40℃时,相对湿度95%。(非冷凝) | / |
是否适用真空 | 是 | |
其它 | ||
控制类型 | 开环/闭环 | / |
驱动电压上限 | 125 | V |
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产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
维修响应时间: 2天内
是否支持上门巡检: 是
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