压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位,它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。
压电三轴纳米探针台应用案例:
通过压电纳米位移台的纳米精度定位,两个探针通过与样品接触,完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。
同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。
同时产品可以适配市面上绝大多数的SEM,例如:日本电子,日立,FEI,TESCAN等。
压电三轴纳米探针台尺寸参数 | ||
探针台外形尺寸(长*宽*高) | 107.0*75.6*43.3 | mm |
三轴外形尺寸(长*宽*高) | 48.6*33.2*38.6 | mm |
样品台面平面度 | 10 | μm |
探针台总重量 | 225 | g |
运动参数 | ||
三轴X行程 | ±10 | mm |
三轴Y行程 | ±10 | mm |
三轴Z行程 | 15.7 | mm |
运动分辨率 | 0.05 | nm |
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随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展,精密定位不仅在实验室用途广泛,工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上,发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品,填补了国产空白。
一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块,通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移,可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前,在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内,团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
维修响应时间: 2天内
是否支持上门巡检: 是
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