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能量范围: 100 eV 至 10 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:10 nA 至 100 μA/标准:0.5 mm 至 25 mm
小光斑选项:1 nA 至 10 μA/60 μm 至 10 mm
高电流选项:1 μA至 1 mA/高电流选项:1.5 mm 至 25 mm
安装: 2?CF
特性/选项:操作时可调节光束对准、准直光束、静电聚焦和偏转、消隐、脉冲、光栅、安装气动法拉第杯
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 首次
免费仪器保养: 视情况而定
保内维修承诺: 非人为原因,免费维修并更换所需配件
报修承诺: 24小时内给出回应
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